[發(fā)明專利]卡具工裝、組裝臺、基板組件及其組裝方法、固定方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111652092.8
• 申請日: 2021-12-30
• 公開（公告）號: CN114438466A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 范玉嬌;石佩茹;楊月舳;孫展;康帥帥
• 申請（專利權(quán)）人: 北京華卓精科科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/30
• 代理公司: 北京聿宏知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;馮景多

本申請?zhí)峁┝艘环N卡具工裝、組裝臺、基板組件及其組裝方法、固定方法。其中，該卡具工裝包括卡具框一部、卡具框二部和楔塊，卡具框一部和卡具框二部能夠通過組裝形成卡具框主體；楔塊與卡具框一部、卡具框二部可拆卸地連接；卡具框一部和卡具框二部用于在組裝過程中與基板相對的兩側(cè)貼合；使得卡具框主體環(huán)繞基板設(shè)置；楔塊用于在組裝過程中伸入基板的側(cè)壁凹槽中，其中，楔塊的配合端面與基板的側(cè)壁凹槽的配合端面間具有間隙。利用該卡具工裝，有利于實現(xiàn)基板的零邊緣，避免卡具工裝與基板表面接觸部分受熱產(chǎn)生劃傷，并能夠滿足鍍膜機裝載以及鍍膜過程中卡具工裝承載較大質(zhì)量基板運動的需求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種卡具工裝、組裝臺、基板組件及其組裝方法、固定方法。

背景技術(shù)

異形大尺寸光柵基板應(yīng)用于光刻機光柵尺測量系統(tǒng)。光柵基板包括光柵面及安裝面，光柵面上制作光柵，安裝面通過光膠與光柵安裝板固定連接。光柵面對光柵邊緣精度要求較高，部分區(qū)域要求零邊緣。光柵基板的光柵面和安裝面均對面型、粗糙度以及表面質(zhì)量等有較高精度要求。

現(xiàn)有技術(shù)中，由于異形大尺寸光柵基板的尺寸大、質(zhì)量大、形狀特殊，其僅能通過放置于平面以濺射法進行薄膜制備。該方法存在濺射速度慢，材料種類有限，靶材利用率低等缺點使得產(chǎn)品制備周期長、價格昂貴。

電子束蒸發(fā)法鍍膜可有效克服現(xiàn)有濺射法鍍膜的缺點，電子束蒸發(fā)法鍍膜具有材料選擇廣泛、制作方式靈活、制備周期短、成本低等優(yōu)點。但現(xiàn)有技術(shù)中尚無適用于異形大尺寸光柵基板的電子束沉積的工裝。

現(xiàn)有技術(shù)中的工裝包括壓邊式工裝和彈片式工裝。現(xiàn)有技術(shù)中的壓邊式工裝在裝載過程中不可避免的會接觸基板的光柵面并產(chǎn)生遮擋，且工裝和基板受熱膨脹從而導(dǎo)致工裝與基板表面接觸部分產(chǎn)生劃傷?，F(xiàn)有技術(shù)中的彈片式工裝可以實現(xiàn)工裝與基板的表面不接觸和無遮擋固定，但其只適用于小尺寸、常規(guī)形狀、自重較小的光柵基板。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本申請?zhí)岢隽艘环N卡具工裝、組裝臺、基板組件及其組裝方法、固定方法。其中，卡具工裝能夠固定異形大尺寸基板，其能夠?qū)崿F(xiàn)在電子束沉積過程中不遮擋基板表面，且其不與基板接觸，同時具有較大的載荷，從而有利于實現(xiàn)基板的零邊緣，避免工裝與基板表面接觸部分受熱產(chǎn)生劃傷，并能夠滿足鍍膜機裝載以及鍍膜過程中卡具工裝承載較大質(zhì)量基板運動的需求。

第一方面，本發(fā)明提供了一種卡具工裝，該卡具工裝包括卡具框一部、卡具框二部和楔塊，所述卡具框一部和卡具框二部能夠通過組裝形成卡具框主體；楔塊與卡具框一部、卡具框二部可拆卸地連接；所述卡具框一部和所述卡具框二部用于在組裝過程中與基板相對的兩側(cè)貼合；使得所述卡具框主體環(huán)繞基板設(shè)置；楔塊用于在組裝過程中伸入所述基板的側(cè)壁凹槽中，其中，楔塊的配合端面與所述基板的所述側(cè)壁凹槽的配合端面間具有間隙。利用該卡具工裝，能夠固定異形大尺寸基板，該卡具工裝能夠?qū)崿F(xiàn)在電子束沉積過程中不遮擋基板表面，且其不與基板接觸，同時具有較大的載荷，從而有利于實現(xiàn)基板的零邊緣，避免卡具工裝與基板表面接觸部分受熱產(chǎn)生劃傷，并能夠滿足鍍膜機裝載以及鍍膜過程中卡具工裝承載較大質(zhì)量基板運動的需求。

在第一方面的一個實施方式中，所述卡具工裝還包括倒角塊組件，所述倒角塊組件包括倒角塊和倒角塊螺栓，所述倒角塊通過所述倒角塊螺栓固定在所述卡具框主體上，所述倒角塊的倒角配合面與所述基板的倒角平面平行設(shè)置。通過該實施方式，倒角塊起到了限位的作用，其能夠限制基板垂向移動，有利于使基板在鍍膜過程中保持穩(wěn)定狀態(tài)，從而有利于保護基板。

在第一方面的一個實施方式中，所述卡具工裝還包括連接塊組件，所述連接塊組件包括連接塊、連接塊縱向螺釘和連接塊垂向螺釘；連接塊縱向螺釘用于連接所述連接塊和卡具框主體；連接塊通過連接塊垂向螺釘將卡具工裝固定在轉(zhuǎn)接卡盤上。通過該實施方式，有利于將卡具工裝牢固地固定在轉(zhuǎn)接卡盤上。