[發(fā)明專利]用于供應(yīng)液體的設(shè)備及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111612794.3
• 申請日: 2021-12-27
• 公開（公告）號: CN114695189A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 河道炅;梁承太
• 申請（專利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 北京市中倫律師事務(wù)所 11410
• 代理人: 鐘錦舜;張玫

1.一種用于供應(yīng)液體的液體供應(yīng)單元，包括：

罐，所述罐具有用于儲存所述液體的內(nèi)部空間；

入口管線，所述入口管線用于將所述液體從液體供應(yīng)源供應(yīng)至所述內(nèi)部空間且所述入口管線上安裝有入口閥；

出口管線，所述出口管線用于將所述液體從所述罐供應(yīng)至噴嘴或用于將所述液體回收至所述罐，且所述出口管線上安裝有出口閥；

氣體供應(yīng)管線，所述氣體供應(yīng)管線用于供應(yīng)氣體至所述內(nèi)部空間且所述氣體供應(yīng)管線上安裝有氣體控制閥；

排氣管線，所述排氣管線用于從所述內(nèi)部空間排氣且所述排氣管線上安裝有排氣閥；

循環(huán)管線，所述循環(huán)管用于使儲存于所述內(nèi)部空間中的液體循環(huán)；以及

控制器；

其中，所述控制器被構(gòu)造為控制所述液體供應(yīng)單元，使得當(dāng)液體被供應(yīng)至所述內(nèi)部空間時，所述循環(huán)管線被加壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)單元，其中所述控制器進(jìn)一步被構(gòu)造為控制所述氣體控制閥與所述排氣閥，使得當(dāng)液體被供應(yīng)至所述內(nèi)部空間時，所述內(nèi)部空間被加壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體供應(yīng)單元，其中所述控制器被構(gòu)造為控制所述氣體控制閥與所述排氣閥，使得當(dāng)液體被供應(yīng)至所述內(nèi)部空間時，所述氣體被供應(yīng)到所述內(nèi)部空間但所述排氣閥是關(guān)閉的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)單元，其中所述循環(huán)管線包含：

第一泵；

第一加熱器，所述第一加熱器用于加熱所述循環(huán)管線內(nèi)的液體；以及

壓力提供構(gòu)件，所述壓力提供構(gòu)件設(shè)置于所述第一加熱器的下游；

其中，所述液體通過所述壓力提供構(gòu)件所需的壓力被設(shè)置為高于所述液體通過所述第一加熱器所需的壓力。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液體供應(yīng)單元，其中所述壓力提供構(gòu)件設(shè)置為第一調(diào)節(jié)器，所述循環(huán)管線還包括第一壓力傳感器，所述第一壓力傳感器安裝于所述第一調(diào)節(jié)器的上游并感測所述循環(huán)管線內(nèi)的液體壓力，并且當(dāng)所述循環(huán)管線內(nèi)的液體壓力變成等于或高于預(yù)定壓力時，所述第一調(diào)節(jié)器打開以允許所述液體流動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液體供應(yīng)單元，其中所述第一加熱器設(shè)置有第一溫度傳感器，所述第一溫度傳感器用于測量與液體的接觸表面處的溫度，并且所述第一加熱器被控制成使得由所述第一溫度傳感器所測量的與所述液體的接觸表面處的溫度不超過所述液體在所述預(yù)定壓力下的沸點(diǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液體供應(yīng)單元，其中當(dāng)所述循環(huán)管線內(nèi)的液體壓力等于或高于所述預(yù)定壓力時，所述控制器控制所述排氣閥以從所述內(nèi)部空間排氣。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)單元，其中所述出口管線包括：

第二泵；

第二加熱器，所述第二加熱器用于加熱所述出口管線內(nèi)的液體；

第二調(diào)節(jié)器，所述第二調(diào)節(jié)器被構(gòu)造為當(dāng)所述出口管線上游的壓力等于或高于預(yù)定壓力時被開啟以允許所述液體流動；以及

第二壓力傳感器，所述第二壓力傳感器安裝于所述第二調(diào)節(jié)器的上游，以用于測量所述出口管線內(nèi)的液體壓力。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的液體供應(yīng)單元，還包括供應(yīng)管線，所述供應(yīng)管線在所述第二加熱器和所述第二調(diào)節(jié)器之間從所述出口管線分支，并連接至所述噴嘴。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的液體供應(yīng)單元，其中所述第二加熱器設(shè)置有第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器用于測量與液體的接觸表面處的溫度，且

所述控制器控制所述第二加熱器，使得由所述第二溫度傳感器測量的與所述液體的接觸表面處的溫度不超過所述液體在所述預(yù)定壓力下的沸點(diǎn)。