[發明專利]讀數頭安裝工裝及其集成方法、讀數頭安裝方法

在審

• 申請號: 202111597218.6
• 申請日: 2021-12-24
• 公開（公告）號: CN114279338A
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 付大為;解昊;焦健
• 申請（專利權）人: 北京華卓精科科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B21/00
• 代理公司: 北京薈英捷創知識產權代理事務所(普通合伙) 11726
• 代理人: 王獻茹

本發明涉及光柵測量領域，具體而言，涉及一種讀數頭安裝工裝及其集成方法、讀數頭安裝方法。讀數頭安裝工裝包括基板、若干平面光柵和微調組件；基板用于安裝到工件臺的讀數頭安裝盤上，微調組件安裝于基板，平面光柵安裝于微調組件，微調組件至少用于調節平面光柵相對基板的位姿，平面光柵與讀數頭安裝盤上的讀數頭一一對應。讀數頭安裝工裝的集成方法，用于實現上述讀數頭安裝工裝的集成裝配。讀數頭安裝方法，應用上述讀數頭安裝工裝實現讀數頭的精準安裝。本發明提供的讀數頭安裝工裝及其集成方法、讀數頭安裝方法，可提高讀數頭的安裝精度及安裝一致性，從而，保證了對雙工件臺、調平調焦、硅片對準等分系統的定位精度。

技術領域

本發明涉及光柵測量領域，具體而言，涉及一種讀數頭安裝工裝及其集成方法、讀數頭安裝方法。

背景技術

工件臺的位移主要是依靠工件臺平面光柵測量系統來測量的，因此，工件臺平面光柵位置測量系統的測量精度直接會影響到工件臺定位精度，而讀數頭是工件臺平面光柵位置測量系統的主要部件，其安裝位置的精度，直接影響著測量精度。

現有工件臺平面光柵位置測量系統中的讀數頭在安裝時，只能通過螺釘與工件臺卡盤安裝定位，讀數頭安裝孔的加工精度決定了讀數頭的安裝精度，由于工件臺卡盤讀數頭安裝孔位的加工誤差及讀數頭安裝誤差的影響，讀數頭與工件臺的相對安裝精度較低，一致性較差，直接影響了工件臺平面光柵位置測量系統的測量信號強度，對雙工件臺、調平調焦、硅片對準等分系統的定位精度產生了嚴重影響。

綜上，如何克服現有的讀數頭安裝方法的上述缺陷是本領域技術人員亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種讀數頭安裝工裝及其集成方法、讀數頭安裝方法，以緩解現有技術中讀數頭安裝方法存在的讀數頭與工件臺的相對安裝精度較低，一致性較差的技術問題。

本發明提供的讀數頭安裝工裝，包括基板、平面光柵和微調組件；

所述基板用于安裝到工件臺的讀數頭安裝盤上，所述微調組件安裝于所述基板，所述微調組件安裝于所述基板的邊緣部位，所述平面光柵安裝于所述微調組件，所述微調組件用于調節所述平面光柵與所述基板的相對位置及平行度，所述平面光柵與讀數頭安裝盤上的讀數頭一一對應。

與現有技術相比，本發明的有益效果在于：

本發明提供的讀數頭安裝工裝，可利用微調組件對平面光柵相對基板的位姿進行調節，使得平面光柵相對基板的位置及姿態符合精度要求，此時，各個平面光柵位于同一平面上，且各個平面光柵相對基板在垂直于基板的方向上的間距相同，各個平面光柵的柵線走向符合要求。

在基板安裝到工件臺的讀數頭安裝盤上之后，平面光柵能夠為安裝于讀數頭安裝盤的讀數頭的信號提供高精度的參考基準，以對讀數頭進行調節，如此，即便讀數頭安裝孔位存在誤差，也能通過調節讀數頭，使讀數頭的位姿調節到符合安裝精度的范圍內，從而，利用本發明提供的讀數頭安裝工裝調試好的讀數頭，安裝精度及一致性較高，保證了對雙工件臺、調平調焦、硅片對準等分系統的定位精度。

優選地，作為一種可實施方式，所述微調組件包括安裝座、線性調整滑臺、轉接座和轉角調整滑臺。

所述線性調整滑臺的一側與所述安裝座固定連接，所述轉接座與所述線性調整滑臺的另一側固定連接，所述轉角調整滑臺安裝于所述轉接座，所述平面光柵固定于所述轉角調整滑臺的轉動臺面，所述安裝座固定于所述基板。

優選地，作為一種可實施方式，所述線性調整滑臺包括第一固定臺、移動臺和鎖緊組件，所述第一固定臺與所述安裝座固定連接，所述移動臺與所述轉接座固定連接。

所述第一固定臺與所述移動臺之間連接有位移調節螺栓，所述位移調節螺栓用于調節所述移動臺相對所述第一固定臺的位移；所述鎖緊組件用于將所述移動臺鎖緊到所述第一固定臺上。