[發(fā)明專利]讀數(shù)頭安裝工裝及其集成方法、讀數(shù)頭安裝方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111597218.6 | 申請日： | 2021-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN114279338A | 公開（公告）日： | 2022-04-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 付大為;解昊;焦健 | 申請（專利權）人： | 北京華卓精科科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02;G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京薈英捷創(chuàng)知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 王獻茹 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)科創(chuàng)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 讀數(shù) 安裝 工裝 及其 集成 方法 | ||
1.一種讀數(shù)頭安裝工裝，其特征在于，包括基板(1100)、若干平面光柵(1300)和微調(diào)組件(1200)；
所述基板(1100)用于安裝到工件臺的讀數(shù)頭安裝盤(2000)上，所述微調(diào)組件(1200)安裝于所述基板(1100)，所述平面光柵(1300)安裝于所述微調(diào)組件(1200)，所述微調(diào)組件(1200)至少用于調(diào)節(jié)所述平面光柵(1300)相對所述基板(1100)的位姿，所述平面光柵(1300)與讀數(shù)頭安裝盤(2000)上的讀數(shù)頭(3000)一一對應。
2.根據(jù)權利要求1所述的讀數(shù)頭安裝工裝，其特征在于，所述微調(diào)組件(1200)包括安裝座(1210)、線性調(diào)整滑臺(1220)、轉(zhuǎn)接座(1230)和轉(zhuǎn)角調(diào)整滑臺(1240)；
所述線性調(diào)整滑臺(1220)的一側(cè)與所述安裝座(1210)固定連接，所述轉(zhuǎn)接座(1230)與所述線性調(diào)整滑臺(1220)的另一側(cè)固定連接，所述轉(zhuǎn)角調(diào)整滑臺(1240)安裝于所述轉(zhuǎn)接座(1230)，所述平面光柵(1300)固定于所述轉(zhuǎn)角調(diào)整滑臺(1240)的轉(zhuǎn)動臺面，所述安裝座(1210)固定于所述基板(1100)。
3.根據(jù)權利要求2所述的讀數(shù)頭安裝工裝，其特征在于，所述線性調(diào)整滑臺(1220)包括第一固定臺(1221)、移動臺(1222)和鎖緊組件(1223)，所述第一固定臺(1221)與所述安裝座(1210)固定連接，所述移動臺(1222)與所述轉(zhuǎn)接座(1230)固定連接；
所述第一固定臺(1221)與所述移動臺(1222)之間連接有位移調(diào)節(jié)螺栓，所述位移調(diào)節(jié)螺栓用于調(diào)節(jié)所述移動臺(1222)相對所述第一固定臺(1221)的位移；所述鎖緊組件(1223)用于將所述移動臺(1222)鎖緊到所述第一固定臺(1221)上。
4.根據(jù)權利要求3所述的讀數(shù)頭安裝工裝，其特征在于，所述位移調(diào)節(jié)螺栓包括Z向調(diào)節(jié)螺栓(1224)，所述Z向調(diào)節(jié)螺栓(1224)的長度方向與所述基板(1100)垂直，所述第一固定臺(1221)的邊緣部位設置有第一側(cè)耳(1225)，所述第一側(cè)耳(1225)上開設有第一螺紋孔，所述移動臺(1222)的邊緣部位設置有第一調(diào)節(jié)板(1226)，所述Z向調(diào)節(jié)螺栓(1224)與所述第一螺紋孔配合，所述Z向調(diào)節(jié)螺栓(1224)的尾端與所述第一調(diào)節(jié)板(1226)抵接；
和/或，所述位移調(diào)節(jié)螺栓包括Y向調(diào)節(jié)螺栓(1227)，所述Y向調(diào)節(jié)螺栓(1227)的長度方向與所述基板(1100)的板面平行，所述第一固定臺(1221)的邊緣部位設置有第二側(cè)耳(1228)，所述第二側(cè)耳(1228)上開設有第二螺紋孔，所述移動臺(1222)的邊緣部位設置有第二調(diào)節(jié)板(1229)，所述Y向調(diào)節(jié)螺栓(1227)與所述第二螺紋孔配合，所述Y向調(diào)節(jié)螺栓(1227)的尾端與所述第二調(diào)節(jié)板(1229)抵接。
5.根據(jù)權利要求2所述的讀數(shù)頭安裝工裝，其特征在于，所述轉(zhuǎn)角調(diào)整滑臺(1240)包括第二固定臺(1241)和轉(zhuǎn)動臺(1242)，所述第二固定臺(1241)與所述轉(zhuǎn)接座(1230)固定連接；所述轉(zhuǎn)動臺(1242)與所述第二固定臺(1241)相對設置，且所述轉(zhuǎn)動臺(1242)與所述第二固定臺(1241)之間連接有彈性連接件，所述平面光柵(1300)安裝于所述轉(zhuǎn)動臺(1242)的背對所述第二固定臺(1241)的臺面；
所述第二固定臺(1241)與所述轉(zhuǎn)動臺(1242)之間設置有轉(zhuǎn)角調(diào)節(jié)螺栓，所述轉(zhuǎn)角調(diào)節(jié)螺栓用于調(diào)節(jié)所述轉(zhuǎn)動臺(1242)相對所述第二固定臺(1241)的偏轉(zhuǎn)角度。
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