[發明專利]一種功能器件陣列及其制作裝置和制作方法

在審

• 申請號: 202111593568.5
• 申請日: 2021-12-23
• 公開（公告）號: CN114284178A
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 吳雙;柯志杰;談江喬;艾國齊;柯毅東
• 申請（專利權）人: 廈門乾照半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H01L33/50
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 林哲生

1.一種功能器件陣列的制作裝置，其特征在于，包括：

產生系統，所述產生系統用于將生成的聲表面駐波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液體尖峰陣列；

定位系統，所述定位系統用于將目標基板移動至所述功能材料溶液的液體尖峰處，且將所述目標基板的功能區表面陣列與功能材料溶液的液體尖峰陣列對位設置，其中，所述功能材料溶液的液體尖峰與所述目標基板的功能區表面接觸，而在所述目標基板的功能區表面處形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴揮發后形成所述功能器件。

2.根據權利要求1所述的功能器件陣列的制作裝置，其特征在于，所述產生系統包括：

波生成單元，所述波生成單元用于生成所述聲表面駐波；

材料容器，所述材料容器用于盛放所述功能材料溶液且所述功能材料溶液根據所述聲表面駐波在所述材料容器的開口側形成液體尖峰陣列。

3.根據權利要求2所述的功能器件陣列的制作裝置，其特征在于，所述波生成單元包括：

壓電基底；

設置于所述壓電基底一側表面上的聲學器件和波導層，所述聲學器件用于生成所述聲學表面駐波，所述波導層用于將所述聲學表面駐波傳輸至位于所述波導層背離所述壓電基底一側的材料容器中。

4.根據權利要求3所述的功能器件陣列的制作裝置，其特征在于，所述聲學器件包括多對叉指換能器。

5.根據權利要求2所述的功能器件陣列的制作裝置，其特征在于，所述材料容器為玻璃容器。

6.根據權利要求1所述的功能器件陣列的制作裝置，其特征在于，所述定位系統包括：

可控固定架，所述可控固定架用于固定所述目標基板；

與所述可控固定架相連的定位驅動器件，所述定位驅動器件用于控制所述可控固定架將所述目標基板移動至所述功能材料溶液的液體尖峰處，且將所述目標基板的功能區表面陣列與功能材料溶液的液體尖峰陣列對位設置。

7.根據權利要求1所述的功能器件陣列的制作裝置，其特征在于，所述目標基板的功能區表面與所述功能材料溶液的親疏水性一致；

及所述目標基板的功能區表面之外的區域表面與所述功能材料溶液的親疏水性相反。

8.根據權利要求1所述的功能器件陣列的制作裝置，其特征在于，所述功能材料溶液為量子點溶液、OLED溶液、光刻膠溶液、聚集誘導發光材料溶液、熒光材料溶液、細胞培養液或鈣鈦礦前驅物材料溶液。

9.一種功能器件陣列的制作方法，其特征在于，采用權利要求1-8任意一項所述的功能器件陣列的制作裝置，制作方法包括：

所述定位系統將所述目標基板移動至所述功能材料溶液側，且將所述目標基板的功能區表面陣列與功能材料溶液形成液體尖峰陣列的區域對位設置；

所述產生系統生成聲表面駐波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液體尖峰陣列；

所述功能材料溶液的液體尖峰與所述目標基板的功能區表面接觸，而在所述目標基板的功能區表面處形成功能材料液滴；

待所述功能材料液滴揮發后形成所述功能器件。

10.一種功能器件陣列，其特征在于，所述功能器件陣列采用權利要求9所述的功能器件陣列的制作方法制作而成。