[發明專利]一種氯硅烷在線檢測裝置及方法

在審

• 申請號: 202111582920.5
• 申請日: 2021-12-22
• 公開（公告）號: CN114184709A
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發明（設計）人: 陳衛衛;張兆東;王倩;董越杰;李東東;王豪斌
• 申請（專利權）人: 新疆新特晶體硅高科技有限公司;新特能源股份有限公司
• 主分類號: G01N30/02
• 分類號: G01N30/02;G01N30/20;G01N30/12;G01N30/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

本發明公開一種氯硅烷在線檢測裝置以及使用該氯硅烷在線檢測裝置的檢測氯硅烷中二氯二氫硅的方法，氯硅烷在線檢測裝置包括進料單元與檢測單元，進料單元包括樣品管道、第一管道、第一連通閥、第二連通閥，樣品管道的輸入端與氯硅烷的工藝管線連通，樣品管道的輸出端接入第一連通閥的第一接口，第一管道的兩端分別接入第一連通閥的第二接口和第二連通閥的第二接口，檢測單元包括第二管道、色譜檢測閥、閃蒸箱，第二管道的輸入端接入第二連通閥的第一接口，閃蒸箱設于第二管道上，色譜檢測閥設于第二管道上并處于閃蒸箱的下游，用于對汽化后的氯硅烷樣品進行檢測。該氯硅烷在線檢測裝置能夠實時在線檢測氯硅烷樣品。

技術領域

本發明涉及一種氯硅烷在線檢測裝置以及使用該氯硅烷在線檢測裝置的檢測氯硅烷中二氯二氫硅的方法。

背景技術

多晶硅還原技術工藝的不斷深入研究表明，還原爐進料中TCS(三氯氫硅)中DOS(二氯二氫硅)組分的變化，對還原生長過程的能效影響巨大。

在現有技術中，測量TCS中DOS組分的變化通常采用人工取樣，然后運輸至實驗室進行化驗，測量TCS中DOS組分的含量，采用這種方法進行測量花費時間長，并且無法對TCS中DOS組分的含量進行實時在線檢測，無法為還原爐生長調整提供有效的數據。

由于氯硅烷中含有二氯硅烷、三氯硅烷等化學性質/物理性質不穩定的組分，在檢測時，需要對其溫度進行控制，以及保持氯硅烷樣品與空氣隔離，并且需要保持檢測裝置內部的干燥性，對于檢測裝置具有較高的要求，因此現有的檢測裝置無法滿足氯硅烷的實時在線檢測。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是針對現有技術中的上述不足，提供一種氯硅烷在線檢測裝置以及使用該氯硅烷在線檢測裝置的檢測氯硅烷中二氯二氫硅的方法。所述氯硅烷在線檢測裝置能夠實時在線檢測氯硅烷樣品。

為解決上述問題，本發明采用以下技術方案：

一種氯硅烷在線檢測裝置，包括進料單元與檢測單元，所述進料單元包括樣品管道、第一管道、第一連通閥、第二連通閥，所述樣品管道的輸入端與氯硅烷的工藝管線連通，用于接收實時在線取樣的氯硅烷樣品，所述樣品管道的輸出端接入所述第一連通閥的第一接口，所述第一管道的兩端分別接入第一連通閥的第二接口和第二連通閥的第二接口，所述檢測單元包括第二管道、色譜檢測閥、閃蒸箱，所述第二管道的輸入端接入所述第二連通閥的第一接口，所述閃蒸箱設于所述第二管道上，用于將液態的氯硅烷樣品汽化，所述色譜檢測閥設于所述第二管道上并處于所述閃蒸箱的下游，用于對汽化后的氯硅烷樣品進行檢測。

優選的，所述氯硅烷在線檢測裝置還包括壓力控制單元與流量控制單元，所述壓力控制單元包括減壓閥與壓力表，所述減壓閥設置于所述樣品管道上，用于減小樣品管道中氯硅烷樣品的壓力，所述壓力表設置在所述第一管道上，用于實時監測第一管道中氯硅烷樣品的壓力，所述流量控制單元包括限流閥，所述限流閥設置在第一管道上，且位于所述壓力表的下游，用于調節控制進入第二管道的氯硅烷樣品的流量。

優選的，所述氯硅烷在線檢測裝置還包括吹掃單元，所述吹掃單元包括第三管道、第四管道、吹掃氣儲存罐，所述第一連通閥與所述第二連通閥均為三通閥，其中，所述第一連通閥的第一接口與第三接口不連通，所述第二連通閥的第二接口與第三接口不連通，所述吹掃氣儲存罐用于提供吹掃氣，所述第三管道的輸入端與所述吹掃氣儲存罐相連通，所述第三管道的輸出端接入所述第二連通閥連的第三接口，并且第三管道從第一節點處旁開一個分支以構成第四管道，所述第四管道的輸出端接入所述第一連通閥的第三接口。

優選的，所述吹掃單元還包括單向閥與吹掃氣控制閥，所述單向閥設于所述第三管道上，所述吹掃氣控制閥設于所述第三管道上，并且位于單向閥與第一節點之間。