[發明專利]一種氯硅烷在線檢測裝置及方法

在審

• 申請號: 202111582920.5
• 申請日: 2021-12-22
• 公開（公告）號: CN114184709A
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發明（設計）人: 陳衛衛;張兆東;王倩;董越杰;李東東;王豪斌
• 申請（專利權）人: 新疆新特晶體硅高科技有限公司;新特能源股份有限公司
• 主分類號: G01N30/02
• 分類號: G01N30/02;G01N30/20;G01N30/12;G01N30/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

1.一種氯硅烷在線檢測裝置，其特征在于，包括進料單元與檢測單元，

所述進料單元包括樣品管道(1)、第一管道(2)、第一連通閥(6)、第二連通閥(8)，

所述樣品管道(1)的輸入端與氯硅烷的工藝管線連通，用于接收實時在線取樣的氯硅烷樣品，所述樣品管道(1)的輸出端接入所述第一連通閥(6)的第一接口，

所述第一管道(2)的兩端分別接入第一連通閥(6)的第二接口和第二連通閥(8)的第二接口，

所述檢測單元包括第二管道(27)、色譜檢測閥(13)、閃蒸箱(10)，

所述第二管道(27)的輸入端接入所述第二連通閥(8)的第一接口，

所述閃蒸箱(10)設于所述第二管道(27)上，用于將液態的氯硅烷樣品汽化，

所述色譜檢測閥(13)設于所述第二管道(27)上并處于所述閃蒸箱(10)的下游，用于對汽化后的氯硅烷樣品進行檢測。

2.根據權利要求1所述的氯硅烷在線檢測裝置，其特征在于，還包括壓力控制單元與流量控制單元，

所述壓力控制單元包括減壓閥(4)與壓力表(17)，所述減壓閥(4)設置于所述樣品管道(1)上，用于減小樣品管道(1)中氯硅烷樣品的壓力，

所述壓力表(17)設置在所述第一管道(2)上，用于實時監測第一管道(2)中氯硅烷樣品的壓力，

所述流量控制單元包括限流閥(7)，所述限流閥(7)設置在第一管道(2)上，且位于所述壓力表(17)的下游，用于調節控制進入第二管道(27)的氯硅烷樣品的流量。

3.根據權利要求2所述的氯硅烷在線檢測裝置，其特征在于，還包括吹掃單元，所述吹掃單元包括第三管道(28)、第四管道(29)、吹掃氣儲存罐，

所述第一連通閥(6)與所述第二連通閥(8)均為三通閥，其中，所述第一連通閥(6)的第一接口與第三接口不連通，所述第二連通閥(8)的第二接口與第三接口不連通，

所述吹掃氣儲存罐用于提供吹掃氣，所述第三管道(28)的輸入端與所述吹掃氣儲存罐相連通，所述第三管道(28)的輸出端接入所述第二連通閥(8)的第三接口，并且第三管道(28)從第一節點(33)處旁開一個分支以構成第四管道(29)，所述第四管道(29)的輸出端接入所述第一連通閥(6)的第三接口。

4.根據權利要求3所述的氯硅烷在線檢測裝置，其特征在于，所述吹掃單元還包括單向閥(3)與吹掃氣控制閥(5)，

所述單向閥(3)設于所述第三管道(28)上，

所述吹掃氣控制閥(5)設于所述第三管道(28)上，并且位于單向閥(3)與第一節點(33)之間。

5.根據權利要求4所述的氯硅烷在線檢測裝置，其特征在于，還包括回流單元，所述回流單元包括回流管道(15)、第五管道(30)、第三連通閥(18)，

所述第一管道(2)在第二節點(34)處旁開一個支路以構成第五管道(30)，所述第二節點(34)位于所述壓力表(17)與限流閥(7)之間，所述第五管道(30)的輸出端接入所述第三連通閥(18)的第一接口，

所述回流管道(15)的輸入端接入所述第三連通閥(18)的第二接口，所述回流管道(15)的輸出端與工藝管線的下游相連通，經過第五管道(30)流入第三連通閥(18)的第一接口的氯硅烷樣品，從第三連通閥(18)的第二接口流入回流管道(15)，再進入工藝管線的下游。

6.根據權利要求5所述的氯硅烷在線檢測裝置，其特征在于，還包括排放單元，所述排放單元包括第六管道(31)、第七管道(14)、汽化阱(19)，

所述第六管道(31)的輸入端與第二管道(27)的輸出端通過所述色譜檢測閥(13)相連通，

所述汽化阱(19)設置在第六管道(31)上，用于汽化第二管道(27)中殘存的液態的氯硅烷樣品，

所述第七管道(14)的輸入端與所述第六管道(31)的輸出端通過所述汽化阱(19)相連通，所述第七管道(14)的輸出端與廢氣收集室相連通，經色譜檢測閥(13)檢測后的氯硅烷樣品再經汽化阱(19)汽化后排放至廢氣收集室。