[發(fā)明專(zhuān)利]晶棒脫膠裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111549984.5
• 申請(qǐng)日: 2021-12-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114161592A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃兆皓
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/00
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/00
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 廖葉子

本發(fā)明涉及一種晶棒脫膠裝置，包括能夠容納待脫膠的晶棒組件的箱體；所述箱體內(nèi)容納有溶解劑，待脫膠的晶棒組件容納于所述箱體內(nèi)時(shí)，連接于所述晶棒上的固體膠浸沒(méi)于所述溶解劑內(nèi)；加熱結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述箱體內(nèi)，用于加速所述固體膠與晶棒的分離。通過(guò)溶解劑溶解和加熱的方式相配合，加速晶棒脫膠，提高脫膠效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶棒脫膠裝置。

背景技術(shù)

硅片(Wafer)作為半導(dǎo)體行業(yè)的重要原材料，是目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)緊缺的資源。一般情況下，硅片由晶棒(Block)切割而成，在切割之前需要使用膠水將晶棒、支撐材料、工件板粘接在一起進(jìn)行切割。但是在粘膠過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)粘接操作不當(dāng)，或者粘接晶向錯(cuò)誤等問(wèn)題，需要進(jìn)行脫膠操作。

目前的脫膠工藝使用的方法是加熱脫膠，將粘接后的晶棒放置在一個(gè)加熱臺(tái)上，通過(guò)加熱軟化膠水，實(shí)現(xiàn)脫膠。此方法需要的設(shè)備簡(jiǎn)單，操作容易，但是效率極低，進(jìn)行一次脫膠作業(yè)往往需要2～4天，甚至更長(zhǎng)時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種晶棒脫膠裝置，解決晶棒脫膠效率低的問(wèn)題。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明實(shí)施例采用的技術(shù)方案是：一種晶棒脫膠裝置，包括

能夠容納待脫膠的晶棒組件的箱體；

所述箱體內(nèi)容納有溶解劑，待脫膠的晶棒組件容納于所述箱體內(nèi)時(shí)，連接于所述晶棒上的固體膠浸沒(méi)于所述溶解劑內(nèi)；

加熱結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述箱體內(nèi)，用于加速所述固體膠與晶棒的分離。

可選的，還包括超聲結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述箱體內(nèi)，用于產(chǎn)生超聲波以加速所述固體膠與晶棒的分離。

可選的，所述溶解劑包括超純水和丙酮。

可選的，所述箱體頂部設(shè)置有排氣口，以用于排出固體膠溶解過(guò)程中產(chǎn)生的氣體。

可選的，所述箱體內(nèi)設(shè)置有用于夾持固定晶棒的夾持結(jié)構(gòu)。

可選的，所述夾持結(jié)構(gòu)將所述晶棒夾持固定于第一位置，使得在初始狀態(tài)，所述晶棒組件與所述箱體底部之間具有間隙。

可選的，所述夾持結(jié)構(gòu)包括相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)弧形抱爪，兩個(gè)所述弧形抱爪的凹面相對(duì)設(shè)置，且所述弧形抱爪的凹面的形狀與所述晶棒的外周面的形狀相符。

可選的，所述箱體內(nèi)還設(shè)置有用于控制所述夾持結(jié)構(gòu)移動(dòng)的移動(dòng)結(jié)構(gòu)。

可選的，所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括水平移動(dòng)單元，所述水平移動(dòng)單元包括設(shè)置于所述箱體頂部的導(dǎo)軌，所述夾持結(jié)構(gòu)可移動(dòng)的設(shè)置于所述導(dǎo)軌上。

可選的，所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括升降運(yùn)動(dòng)單元，所述升降運(yùn)動(dòng)單元包括設(shè)置于所述導(dǎo)軌和所述夾持結(jié)構(gòu)之間的伸縮桿，所述伸縮桿的一端設(shè)置有與兩個(gè)所述抱爪對(duì)應(yīng)連接的兩個(gè)連接桿。

本發(fā)明的有益效果是：通過(guò)溶解劑溶解和加熱的方式相配合，加速晶棒脫膠，提高脫膠效率。

附圖說(shuō)明

圖1表示相關(guān)技術(shù)中晶棒組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2表示相關(guān)技術(shù)中的脫膠結(jié)構(gòu)的示意圖；

圖3表示本發(fā)明實(shí)施例中的晶棒脫膠裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

01晶棒；02支撐板；03工件板；04加熱板；05底座；11箱體；1排氣口；2導(dǎo)軌；3連接桿；4晶棒；5溶解劑；6加熱結(jié)構(gòu)；7超聲結(jié)構(gòu)；8第一進(jìn)液口；9第二進(jìn)液口；10伸縮桿；12抱爪。

具體實(shí)施方式