[發(fā)明專(zhuān)利]晶棒脫膠裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111549984.5
• 申請(qǐng)日: 2021-12-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114161592A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃兆皓
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/00
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/00
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 廖葉子

1.一種晶棒脫膠裝置，其特征在于，包括

能夠容納待脫膠的晶棒組件的箱體；

所述箱體內(nèi)容納有溶解劑，待脫膠的晶棒組件容納于所述箱體內(nèi)時(shí)，連接于所述晶棒上的固體膠浸沒(méi)于所述溶解劑內(nèi)；

加熱結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述箱體內(nèi)，用于加速所述固體膠與晶棒的分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒脫膠裝置，其特征在于，還包括超聲結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述箱體內(nèi)，用于產(chǎn)生超聲波以加速所述固體膠與晶棒的分離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒脫膠裝置，其特征在于，所述溶解劑包括超純水和丙酮。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒脫膠裝置，其特征在于，所述箱體頂部設(shè)置有排氣口，以用于排出固體膠溶解過(guò)程中產(chǎn)生的氣體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒脫膠裝置，其特征在于，所述箱體內(nèi)設(shè)置有用于夾持固定晶棒的夾持結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶棒脫膠裝置，其特征在于，所述夾持結(jié)構(gòu)將所述晶棒夾持固定于第一位置，使得在初始狀態(tài)，所述晶棒組件與所述箱體底部之間具有間隙。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶棒脫膠裝置，其特征在于，所述夾持結(jié)構(gòu)包括相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)弧形抱爪，兩個(gè)所述弧形抱爪的凹面相對(duì)設(shè)置，且所述弧形抱爪的凹面的形狀與所述晶棒的外周面的形狀相符。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶棒脫膠裝置，其特征在于，所述箱體內(nèi)還設(shè)置有用于控制所述夾持結(jié)構(gòu)移動(dòng)的移動(dòng)結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶棒脫膠裝置，其特征在于，所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括水平移動(dòng)單元，所述水平移動(dòng)單元包括設(shè)置于所述箱體頂部的導(dǎo)軌，所述夾持結(jié)構(gòu)可移動(dòng)的設(shè)置于所述導(dǎo)軌上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶棒脫膠裝置，其特征在于，所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括升降運(yùn)動(dòng)單元，所述升降運(yùn)動(dòng)單元包括設(shè)置于所述導(dǎo)軌和所述夾持結(jié)構(gòu)之間的伸縮桿，所述伸縮桿的一端設(shè)置有與兩個(gè)所述抱爪對(duì)應(yīng)連接的兩個(gè)連接桿。