[發明專利]一種去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法

在審

• 申請號: 202111549879.1
• 申請日: 2021-12-17
• 公開（公告）號: CN114211405A
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發明（設計）人: 穆帥帥;張代龍
• 申請（專利權）人: 富樂德科技發展（天津）有限公司
• 主分類號: B24C1/08
• 分類號: B24C1/08;B24C7/00;B24B1/00;C23G1/12;B08B3/02;B08B3/12
• 代理公司: 天津市新天方專利代理有限責任公司 12104
• 代理人: 王偉

本發明是一種去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法，包括以下步驟：a來貨檢查；b純水浸泡；c異丙醇擦拭；d第一次表面噴砂；e第一次高壓水洗；f硝酸和氫氟酸清洗；g純水浸泡；h表面研磨；i第二次表面噴砂；j表面檢查；k第二次高壓水洗。本發明使用物理噴砂可以去除表面沉積的氟化物，并減少部件的損耗；使用硝酸和氫氟酸浸泡部件，可以去除部件表面玷污的微量金屬；使用表面研磨加表面噴砂處理的方式，可以使部件表面的平面度及粗糙度的均勻性更好；使用超聲波清洗和超純氮氣清掃部件表面，可以有效減少表面的顆粒污染物。

技術領域

本發明涉及半導體設備精密備件清洗領域，尤其涉及一種去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法。

背景技術

目前，應用于半導體制程設備中化學氣相沉積工藝腔體中，沉積在備件上的膜質一般都是氧化物和氮化物，針對氧化物和氮化物的清洗工藝已比較成熟，而清洗氧化物和氮化物的清洗溶劑對清洗氟化物的清洗效果較差，并且沉積氟化物的部件基材是鋁，鋁的耐腐蝕性很差，這就給部件的清洗帶來很大困難。

發明內容

本發明旨在解決現有技術的不足，而提供一種去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法。

本發明為實現上述目的，采用以下技術方案：一種去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法，包括以下步驟：

a來貨檢查

對待清洗部件進行表面檢查，確認表面有無缺損；

b純水浸泡

將待清洗的部件浸入純水中，浸泡30分鐘以上；

c異丙醇擦拭

使用無塵布蘸取異丙醇對部件表面進行整體擦拭，擦至無塵布表面沒有黑色印痕，對擦拭完畢的部件，使用水槍對部件進行全面沖洗，然后使用氣槍將部件表面水分吹掃干凈；

d第一次表面噴砂

對加熱器部件進行噴砂處理，去除加熱器表面氟化物；

e第一次高壓水洗

將噴砂完畢的加熱器部件放入高壓水洗槽中，使用高壓水槍對部件進行整體沖洗，沖洗完畢后，使用氣槍將部件表面水跡吹干；

f硝酸和氫氟酸清洗

將高壓水洗完畢的部件浸入硝酸和氫氟酸的混合溶液中浸泡1-2分鐘，然后立即取出，使用純水進行沖洗；

g純水浸泡

將部件浸入純水中浸泡30分鐘以上，然后使用壓縮空氣吹干表面水份；

h表面研磨

使用360#、800#氧化鋁磨料的打磨片，研磨加熱器表面，保證加熱器表面無凸起，至粗糙度達到Ra≤2um；

i第二次表面噴砂

對加熱器部件進行噴砂處理，增加加熱器表面粗糙度；

j表面檢查

依次使用粗糙度測量儀、膜厚測量儀、平面度測量儀測試加熱器表面的粗糙度、膜厚、平面度；

k第二次高壓水洗

將測量合格的部件轉入高壓水洗工段，使用高壓水槍對加熱器部件，進行高壓水洗，然后使用壓縮空氣吹干表面水份；

l超聲波清洗

對部件進行超聲波清洗；

m氮氣吹掃

對沖洗完畢的部件，使用99.999％純度的氮氣進行表面吹掃，去除部件表面的水跡；

n干燥