[發(fā)明專(zhuān)利]一種去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111549879.1
• 申請(qǐng)日: 2021-12-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114211405A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 穆帥帥;張代龍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 富樂(lè)德科技發(fā)展（天津）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24C1/08
• 分類(lèi)號(hào): B24C1/08;B24C7/00;B24B1/00;C23G1/12;B08B3/02;B08B3/12
• 代理公司: 天津市新天方專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 12104
• 代理人: 王偉

1.一種去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：

a來(lái)貨檢查

對(duì)待清洗部件進(jìn)行表面檢查，確認(rèn)表面有無(wú)缺損；

b純水浸泡

將待清洗的部件浸入純水中，浸泡30分鐘以上；

c異丙醇擦拭

使用無(wú)塵布蘸取異丙醇對(duì)部件表面進(jìn)行整體擦拭，擦至無(wú)塵布表面沒(méi)有黑色印痕，對(duì)擦拭完畢的部件，使用水槍對(duì)部件進(jìn)行全面沖洗，然后使用氣槍將部件表面水分吹掃干凈；

d第一次表面噴砂

對(duì)加熱器部件進(jìn)行噴砂處理，去除加熱器表面氟化物；

e第一次高壓水洗

將噴砂完畢的加熱器部件放入高壓水洗槽中，使用高壓水槍對(duì)部件進(jìn)行整體沖洗，沖洗完畢后，使用氣槍將部件表面水跡吹干；

f硝酸和氫氟酸清洗

將高壓水洗完畢的部件浸入硝酸和氫氟酸的混合溶液中浸泡1-2分鐘，然后立即取出，使用純水進(jìn)行沖洗；

g純水浸泡

將部件浸入純水中浸泡30分鐘以上，然后使用壓縮空氣吹干表面水份；

h表面研磨

使用360#、800#氧化鋁磨料的打磨片，研磨加熱器表面，保證加熱器表面無(wú)凸起，至粗糙度達(dá)到Ra≤2um；

i第二次表面噴砂

對(duì)加熱器部件進(jìn)行噴砂處理，增加加熱器表面粗糙度；

j表面檢查

依次使用粗糙度測(cè)量?jī)x、膜厚測(cè)量?jī)x、平面度測(cè)量?jī)x測(cè)試加熱器表面的粗糙度、膜厚、平面度；

k第二次高壓水洗

將測(cè)量合格的部件轉(zhuǎn)入高壓水洗工段，使用高壓水槍對(duì)加熱器部件，進(jìn)行高壓水洗，然后使用壓縮空氣吹干表面水份；

l超聲波清洗

對(duì)部件進(jìn)行超聲波清洗；

m氮?dú)獯祾?/p>

對(duì)沖洗完畢的部件，使用99.999％純度的氮?dú)膺M(jìn)行表面吹掃，去除部件表面的水跡；

n干燥

將吹掃完畢的部件轉(zhuǎn)移至潔凈的干燥箱中，使用150℃的溫度干燥2個(gè)小時(shí)，待部件自然冷卻后，將部件取出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，步驟d中，對(duì)加熱器部件進(jìn)行噴砂處理用的噴砂機(jī)的參數(shù)為：壓力：3-4kg/cm²,噴砂槍頭離部件距離15-20厘米，角度60-90度；時(shí)間：5-10分鐘；噴砂介質(zhì)：氧化鋁；粒徑：0.06-0.08毫米。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，步驟i中，對(duì)加熱器部件進(jìn)行噴砂處理用的噴砂機(jī)的參數(shù)為：壓力：3-4kg/cm²，噴砂槍頭離部件距離15-20厘米，角度60-90度；時(shí)間：3-5分鐘；噴砂介質(zhì)：氧化鋁；粒徑：0.06-0.08毫米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，步驟f中，硝酸、氫氟酸和水的體積比為硝酸：氫氟酸：水＝1：1：2。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，步驟l中，將部件流轉(zhuǎn)至100級(jí)潔凈間，然后將部件放入超聲波清洗槽中，清洗30分鐘。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的去除鋁基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，超聲波清洗的參數(shù)如下：超聲波頻率：40KHz；超聲波的功率密度：6-10瓦/平方英寸，槽內(nèi)純水保持溢流；溢流流量：20升/分鐘。