[發明專利]一種器件的制造方法及承載板

在審

• 申請號: 202111544524.3
• 申請日: 2021-12-16
• 公開（公告）號: CN114203623A
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發明（設計）人: 李衛東;李新連;趙志國;趙東明;張赟;夏淵;秦校軍;熊繼光;梁思超
• 申請（專利權）人: 華能新能源股份有限公司;中國華能集團清潔能源技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L31/0224;H01L31/0463;H01L31/0465;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 柳虹

1.一種承載板，其特征在于，包括：

框架，用于承載待處理襯底，所述待處理襯底具有多個條狀的柵線區域以及所述柵線區域之間的非柵區域，所述柵線區域用于形成導電柵線；

與所述框架連接的多個橫梁；在所述框架上承載有所述待處理襯底時，所述橫梁位于所述待處理襯底的下方，且覆蓋所述非柵區域中的部分區域，以阻止所述導電柵線的材料形成于所述橫梁覆蓋的區域。

2.根據權利要求1所述的承載板，其特征在于，多個所述柵線區域平行設置，多個所述橫梁平行設置。

3.根據權利要求2所述的承載板，其特征在于，所述導電柵線的寬度范圍為5～50μm，相鄰的所述柵線區域之間的間距范圍為0.5～5mm，所述橫梁的寬度小于相鄰的所述柵線區域之間的間距。

4.一種器件的制造方法，其特征在于，包括：

提供待處理襯底；所述待處理襯底上形成有透明導電膜層，以及所述透明導電膜層上的有機涂層，以及位于柵線區域且貫穿所述有機涂層的刻蝕槽；

利用如權利要求1-3任意一項所述的承載板承載所述待處理襯底，形成覆蓋所述有機涂層和所述刻蝕槽的導電材料層；所述承載板的橫梁覆蓋部分有機涂層，以阻止所述導電材料層形成于所述橫梁覆蓋的區域；

利用有機溶劑溶解所述有機涂層，以去除所述有機涂層和所述有機涂層上的導電材料層，位于所述柵線區域的導電材料層作為導電柵線；所述透明導電膜層和所述導電柵線作為下電極材料層。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，還包括：在所述下電極材料層上依次形成功能材料層和上電極材料層；所述功能材料層用于產生和傳輸光生載流子。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述功能材料層包括依次層疊的電子傳輸層、光吸收層和空穴傳輸層。

7.根據權利要求4-6任意一項所述的方法，其特征在于，所述刻蝕槽還貫穿部分或全部透明導電膜層。

8.根據權利要求4-6任意一項所述的方法，其特征在于，所述導電柵線的材料為以下材料的一種或多種：金、銀、銅、鋁、鎳、石墨烯。

9.根據權利要求4-6任意一項所述的方法，其特征在于，所述有機涂層為光刻膠層，所述有機溶劑為DMSO。

10.根據權利要求5或6所述的方法，其特征在于，太陽能電池器件包括多個電池單元；在所述透明導電膜層上依次形成功能材料層和上電極材料層，包括：

對所述下電極材料層進行刻劃，以形成第一溝槽，所述第一溝槽將所述下電極材料層分為所述多個電池單元的下部電極；

在所述下電極材料層上以及所述第一溝槽中形成功能材料層；

對所述功能材料層進行刻劃，以形成第二溝槽；所述第二溝槽將所述功能材料層分為所述多個電池單元的功能層；

在所述功能材料層上以及所述第二溝槽中形成上電極材料層；

對所述上電極材料層進行刻劃，以形成第三溝槽，所述第三溝槽將所述上電極材料層分為多個電池單元的上部電極；上部電極的至少一部分透過所述第二溝槽與相鄰的電池單元中的下部電極連接，以實現多個電池單元的串聯。