[發明專利]一種紫外光刻物鏡

在審

• 申請號: 202111525964.4
• 申請日: 2021-12-14
• 公開（公告）號: CN116263568A
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 洪小苗
• 申請（專利權）人: 蘇州艾線光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B13/00
• 代理公司: 北京方圓嘉禾知識產權代理有限公司 11385
• 代理人: 程華

本發明涉及一種紫外光刻物鏡，該光刻投影物鏡包括從物面到像面依次排列的第一鏡組、第二鏡組和第三鏡組，第一鏡組包含第一正透鏡組，第二鏡組包含從物面到像面依次排列的第一負透鏡組、第二正透鏡組和第二負透鏡組，第三鏡組包含從物面到像面依次排列的第三正透鏡組、第三負透鏡組和第四負透鏡組。本發明通過設置三組透鏡組，使得整個系統的成像質量良好，實現亞微米級別的光刻成像，無需增加管鏡，不僅可以使得物鏡的成像視場擴大，還能使得系統整體光路變短。

技術領域

本發明涉及光學領域，特別是涉及一種紫外光刻物鏡。

背景技術

目前市面上常見的紫外物鏡，成像倍率一般是0.5-3倍之間，主要用于制作10um-50um的印刷電路板級別的線路。比較常見的微縮倍率鏡頭，如顯微物鏡鏡頭和制版鏡頭，為實現亞微米級別的光刻，采取的方式是增加管鏡。管鏡的增加會導致兩方面的問題：一方面其整體光路較長；另一方面其成像視野比較小，屬于小視場，全視場普遍不超過10mm。因此，目前的紫外物鏡的成像視場較小，且整體光路較長。

發明內容

本發明的目的是提供一種紫外光刻物鏡，不僅可以使得物鏡的成像視場擴大，還能使得系統整體光路變短。

為實現上述目的，本發明提供了如下方案：

一種紫外光刻物鏡，包括：從物面到像面依次排列的第一鏡組、第二鏡組和第三鏡組；

所述第一鏡組用于將從物面發射的紫外光匯聚；所述第二鏡組用于對所述第一鏡組匯聚后的紫外光進行發散；所述第三鏡組用于對所述第二鏡組發散后的紫外光在像面進行匯聚成像；

所述第一鏡組包括第一正透鏡組，所述第二鏡組包括從物面到像面依次排列的第一負透鏡組、第二正透鏡組和第二負透鏡組，所述第三鏡組包括從物面到像面依次排列的第三正透鏡組、第三負透鏡組和第四正透鏡組。

可選地，所述紫外光刻物鏡，還包括：光闌，所述光闌設置在所述第二鏡組和第三鏡組之間，所述光闌用于將所述第二鏡組發散后的紫外光限制為設定光束直徑的紫外光，并使所述設定光束直徑的紫外光射入所述第三鏡組。

可選地，所述第一正透鏡組包括第一正透鏡，所述第一正透鏡為雙凸正透鏡。

可選地，所述第一負透鏡組包括：第一負透鏡和第二負透鏡；所述第二正透鏡組包括：第二正透鏡；所述第二負透鏡組包括：第三負透鏡；

所述第一負透鏡、所述第二負透鏡和所述第三負透鏡均為彎月形負透鏡；所述第二正透鏡為彎月形正透鏡。

可選地，所述第三正透鏡組，包括：第三正透鏡和第四正透鏡；所述第三負透鏡組，包括：第四負透鏡；所述第四正透鏡組，包括：第五正透鏡、第六正透鏡、第七正透鏡、第八正透鏡和第九正透鏡；

所述第四正透鏡和所述第五正透鏡均為雙凸正透鏡；所述第四負透鏡為彎月形負透鏡；所述第三正透鏡、所述第六正透鏡、所述第七正透鏡、所述第八正透鏡和所述第九正透鏡均為彎月形正透鏡。

可選地，所述紫外光刻物鏡，還包括：光源；所述光源設置在所述物面上，所述光源用于向所述第一鏡組發出紫外光。

可選地，所述光源發出的紫外光的工作波長的范圍為360nm-370nm。

可選地，所述第一鏡組的焦距為60mm；所述第二鏡組的焦距為-35mm；所述第三鏡組的焦距為30mm。

可選地，從所述物面到所述像面的距離為206.128mm。

可選地，所述雙凸正透鏡、所述彎月形負透鏡和所述彎月形正透鏡均為球面透鏡。

根據本發明提供的具體實施例，本發明公開了以下技術效果：