[發明專利]一種紫外光刻物鏡

在審

• 申請號: 202111525964.4
• 申請日: 2021-12-14
• 公開（公告）號: CN116263568A
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 洪小苗
• 申請（專利權）人: 蘇州艾線光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B13/00
• 代理公司: 北京方圓嘉禾知識產權代理有限公司 11385
• 代理人: 程華

1.一種紫外光刻物鏡，其特征在于，包括：從物面到像面依次排列的第一鏡組、第二鏡組和第三鏡組；

所述第一鏡組用于將從物面發射的紫外光匯聚；所述第二鏡組用于對所述第一鏡組匯聚后的紫外光進行發散；所述第三鏡組用于對所述第二鏡組發散后的紫外光在像面進行匯聚成像；

所述第一鏡組包括第一正透鏡組，所述第二鏡組包括從物面到像面依次排列的第一負透鏡組、第二正透鏡組和第二負透鏡組，所述第三鏡組包括從物面到像面依次排列的第三正透鏡組、第三負透鏡組和第四正透鏡組。

2.根據權利要求1所述的紫外光刻物鏡，其特征在于，所述紫外光刻物鏡，還包括：光闌，所述光闌設置在所述第二鏡組和第三鏡組之間，所述光闌用于將所述第二鏡組發散后的紫外光限制為設定光束直徑的紫外光，并使所述設定光束直徑的紫外光射入所述第三鏡組。

3.根據權利要求1所述的紫外光刻物鏡，其特征在于，所述第一正透鏡組包括第一正透鏡，所述第一正透鏡為雙凸正透鏡。

4.根據權利要求1所述的紫外光刻物鏡，其特征在于，所述第一負透鏡組包括：第一負透鏡和第二負透鏡；所述第二正透鏡組包括：第二正透鏡；所述第二負透鏡組包括：第三負透鏡；

所述第一負透鏡、所述第二負透鏡和所述第三負透鏡均為彎月形負透鏡；所述第二正透鏡為彎月形正透鏡。

5.根據權利要求1所述的紫外光刻物鏡，其特征在于，所述第三正透鏡組，包括：第三正透鏡和第四正透鏡；所述第三負透鏡組，包括：第四負透鏡；所述第四正透鏡組，包括：第五正透鏡、第六正透鏡、第七正透鏡、第八正透鏡和第九正透鏡；

所述第四正透鏡和所述第五正透鏡均為雙凸正透鏡；所述第四負透鏡為彎月形負透鏡；所述第三正透鏡、所述第六正透鏡、所述第七正透鏡、所述第八正透鏡和所述第九正透鏡均為彎月形正透鏡。

6.根據權利要求1所述的紫外光刻物鏡，其特征在于，所述紫外光刻物鏡，還包括：光源；所述光源設置在所述物面上，所述光源用于向所述第一鏡組發出紫外光。

7.根據權利要求6所述的紫外光刻物鏡，其特征在于，所述光源發出的紫外光的工作波長的范圍為360nm-370nm。

8.根據權利要求1所述的紫外光刻物鏡，其特征在于，所述第一鏡組的焦距為60mm；所述第二鏡組的焦距為-35mm；所述第三鏡組的焦距為30mm。

9.根據權利要求1所述的紫外光刻物鏡，其特征在于，從所述物面到所述像面的距離為206.128mm。

10.根據權利要求5所述的紫外光刻物鏡，其特征在于，所述雙凸正透鏡、所述彎月形負透鏡和所述彎月形正透鏡均為球面透鏡。