[發(fā)明專利]MWT電池激光打孔隱裂測試方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111523734.4 | 申請日： | 2021-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN113921416A | 公開（公告）日： | 2022-01-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 逯好峰;吳仕梁;張鳳鳴;耿劉勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京日托光伏新能源有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66;H01L31/18;G01N21/95 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237 | 代理人： | 韓天宇 |
| 地址： | 211800 江蘇省南京市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | mwt 電池 激光 打孔 測試 方法 | ||
1.一種MWT電池激光打孔隱裂測試方法，其特征在于：采用激光打孔、背面布線的技術(shù)消除背接觸電池上正面電極的主柵線，正面電極細柵線收集的電流通過孔洞中的導(dǎo)電漿料引到背面，然后對打孔邊緣處噴灑霧化水，通過強光照射打孔邊緣判斷是否存在隱裂。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MWT電池激光打孔隱裂測試方法，其特征在于：所述的激光打孔、背面布線過程具體工藝如下：在背接觸電池正面利用高強度激光進行激光打孔處理，形成N*N個矩陣錐形孔洞，向孔洞中填充入導(dǎo)電漿料，導(dǎo)電漿料穿過孔洞與正面電極細柵線接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MWT電池激光打孔隱裂測試方法，其特征在于：所述的隱裂判斷過程具體包括以下步驟：
1）將激光打孔后的MWT電池取出，放置在測試平臺上，背面面朝上；
2）使用霧化裝至對水進行霧化，通過噴頭將霧化水噴在背接觸電池背面；
3）利用強光依次照射每個孔洞，觀察孔洞附近硅片縮水情況，若硅片縮水不均勻則判斷存在隱裂。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MWT電池激光打孔隱裂測試方法，其特征在于：檢測后若存在隱裂則將成品送入廢品區(qū)，若不存在隱裂則將成品送入合格品區(qū)。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
