[發明專利]一種光刻機掩膜版的智能存取方法

在審

• 申請號: 202111515215.3
• 申請日: 2021-12-13
• 公開（公告）號: CN114287753A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 牛立久;張雪奎;劉增增;周一雷;徐金鑫
• 申請（專利權）人: 山東華楷微電子裝備有限公司
• 主分類號: A47B81/00
• 分類號: A47B81/00;A47B67/04;A47B88/453;A47B97/00
• 代理公司: 蘇州金項專利代理事務所(普通合伙) 32456
• 代理人: 金星

1.一種光刻機掩膜版的智能存取方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1、準備工作

提供一個智能存取裝置，智能存取裝置包括柜體，所述柜體內安裝上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板將所述柜體分隔成上腔體、中間腔體和下腔體，所述上水平分隔板和下水平分隔板之間安裝有豎直分隔板，該豎直分隔板將所述中間腔體分隔為前腔體和后腔體，所述前腔體內抽拉安裝有若干個用于放置對應規格掩膜版盒的收納盒，所述后腔體內安裝有過濾器，所述后腔體上設置有進氣口，所述下腔體上設置有電控柜和抽氣風機，所述抽氣風機的進氣口與后腔體聯通，所述抽氣風機的出氣口與前腔體連通，所述前腔體與上腔體連通，所述上腔體上設置有排氣口，所述前腔體內位于豎直分隔板的前側安裝有頂推機構，所述頂推機構在前腔體內移動頂推任意一個收納盒，所述柜體的前面板上設置有操作面板；

S2、將各種規格的掩膜版放置在對應的掩膜版盒中，每個掩膜版盒對應一種規格的掩膜版，對掩膜版盒進行編號；

S3、將對收納盒進行編號，將各掩膜版盒一一對應放入到對應的收納盒中，其對應關系通過操作面板進行存儲；

S4、電控柜控制抽氣風機啟動，使柜體內的空氣潔凈；

S5、當需要取出某一規格的掩膜版時，從操作面板中輸入所要取出掩膜版的規格；

S6、電控柜驅動頂推機構移動到與該規格掩膜版所對應的收納盒的后方；

S7、頂推機構動作將該收納盒推出；

S8、取出該收納盒中的掩膜版盒并關閉收納盒。

2.如權利要求1所述的一種光刻機掩膜版的智能存取方法，其特征在于：所述收納盒利用磁吸組件關閉將收納盒關閉，并設置了用于檢測收納盒是否關閉到位的位置檢測傳感器，若工人忘記關閉收納盒，提示報警。

3.如權利要求2所述的一種光刻機掩膜版的智能存取方法，其特征在于：所述操作面板上還設置有外置條形碼掃碼裝置，所述掩膜版盒上設置有條形碼，該條形碼儲存了掩膜版盒的編號信息，工人在放回掩膜版盒時，外置條碼掃碼裝置掃碼得出該掩膜版盒對應的收納盒的編號，電控柜控制頂推機構移動到該收納盒的后方頂推收納盒。

4.如權利要求3所述的一種光刻機掩膜版的智能存取方法，其特征在于：每個收納盒內還安裝有用于檢測收納盒內掩膜版盒上條形碼的內置條形碼掃碼裝置，當掩膜版盒放入到收納盒后，內置條形碼掃碼裝置對掩膜版盒的條碼進行掃碼，并將該掃碼得到掩膜版盒編號與收納盒編號的對應關系進行核對，若出現對應關系錯誤，發出報警提示，并且頂推機構移動到該收納盒的后方將該收納盒推出。

5.如權利要求4所述的一種光刻機掩膜版的智能存取方法，其特征在于：所述頂推機構與收納盒的頂推接觸為彈性接觸。