[發(fā)明專利]一種光刻機(jī)掩膜版的智能存取方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111515215.3
• 申請日: 2021-12-13
• 公開（公告）號: CN114287753A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牛立久;張雪奎;劉增增;周一雷;徐金鑫
• 申請（專利權(quán)）人: 山東華楷微電子裝備有限公司
• 主分類號: A47B81/00
• 分類號: A47B81/00;A47B67/04;A47B88/453;A47B97/00
• 代理公司: 蘇州金項(xiàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32456
• 代理人: 金星

本發(fā)明公開了一種光刻機(jī)掩膜版的智能存取方法，包括以下步驟：S1、提供一個智能存取裝置；S2、將各種規(guī)格的掩膜版放置在對應(yīng)的掩膜版盒中；S3、將各掩膜版盒放入到對應(yīng)的收納盒中，其對應(yīng)關(guān)系通過操作面板進(jìn)行存儲；S4、抽氣風(fēng)機(jī)啟動；S5、從操作面板中輸入所要取出掩膜版的規(guī)格；S6、電控柜驅(qū)動頂推機(jī)構(gòu)移動到收納盒的后方；S7、頂推機(jī)構(gòu)動作將該收納盒推出；S8、取出該收納盒中的掩膜版盒并關(guān)閉收納盒。該智能存取方法能夠更好更迅速的存取掩膜版，避免灰塵的附著，避免掩膜版放錯。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種智能存取方法，用于智能存取光刻機(jī)掩膜版。

背景技術(shù)

光刻機(jī)是一種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，在光刻的過程中會利用到掩膜版，而由于晶圓進(jìn)行光刻的圖案有非常多種，因此就需要使用非常多的掩膜版，這樣就導(dǎo)致掩膜版的規(guī)格也非常多，而目前的掩膜版的儲存方式是放置在一個掩膜版盒內(nèi)，掩膜版盒堆放在一個區(qū)域，當(dāng)需要使用對應(yīng)的掩膜版時需要人工翻動掩膜版盒，找到對應(yīng)的掩膜版盒后取出掩膜版使用，這種儲存方式存在以下弊端：1、這種存放方式在尋找對應(yīng)規(guī)格的掩膜版時是比較繁瑣的，尋找時間長；2、目前的掩膜版雖然放置在掩膜版盒內(nèi)，但是掩膜版盒是放置在工作空間內(nèi)，空間中可能有灰塵會進(jìn)入到掩膜版盒內(nèi)，從而附著在掩膜版上，這樣就會影響光刻的精度和光刻質(zhì)量；3、目前的這種儲存方式可以在存放掩膜版時可以弄錯，由于有非常多的掩膜版盒堆放在一起，當(dāng)使用完掩膜版時需要放回時，工人可能因?yàn)槟缅e掩膜版盒，這樣掩膜版盒和掩膜版就沒有一一對應(yīng)，這樣下次使用時難以尋找或者直接使用錯的掩膜版，這樣就會造成大量的晶圓在光刻時圖形出錯，造成非常大的經(jīng)濟(jì)損失。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：提供一種光刻機(jī)掩膜版的智能存取方法，該智能存取方法能夠更好更迅速的存取掩膜版，避免灰塵的附著，避免掩膜版放錯。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種光刻機(jī)掩膜版的智能存取方法，包括以下步驟：

S1、準(zhǔn)備工作

提供一個智能存取裝置，智能存取裝置包括柜體，所述柜體內(nèi)安裝上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板將所述柜體分隔成上腔體、中間腔體和下腔體，所述上水平分隔板和下水平分隔板之間安裝有豎直分隔板，該豎直分隔板將所述中間腔體分隔為前腔體和后腔體，所述前腔體內(nèi)抽拉安裝有若干個用于放置對應(yīng)規(guī)格掩膜版盒的收納盒，所述后腔體內(nèi)安裝有過濾器，所述后腔體上設(shè)置有進(jìn)氣口，所述下腔體上設(shè)置有電控柜和抽氣風(fēng)機(jī)，所述抽氣風(fēng)機(jī)的進(jìn)氣口與后腔體聯(lián)通，所述抽氣風(fēng)機(jī)的出氣口與前腔體連通，所述前腔體與上腔體連通，所述上腔體上設(shè)置有排氣口，所述前腔體內(nèi)位于豎直分隔板的前側(cè)安裝有頂推機(jī)構(gòu)，所述頂推機(jī)構(gòu)在前腔體內(nèi)移動頂推任意一個收納盒，所述柜體的前面板上設(shè)置有操作面板；

S2、將各種規(guī)格的掩膜版放置在對應(yīng)的掩膜版盒中，每個掩膜版盒對應(yīng)一種規(guī)格的掩膜版，對掩膜版盒進(jìn)行編號；

S3、將對收納盒進(jìn)行編號，將各掩膜版盒一一對應(yīng)放入到對應(yīng)的收納盒中，其對應(yīng)關(guān)系通過操作面板進(jìn)行存儲；

S4、電控柜控制抽氣風(fēng)機(jī)啟動，使柜體內(nèi)的空氣潔凈；

S5、當(dāng)需要取出某一規(guī)格的掩膜版時，從操作面板中輸入所要取出掩膜版的規(guī)格；

S6、電控柜驅(qū)動頂推機(jī)構(gòu)移動到與該規(guī)格掩膜版所對應(yīng)的收納盒的后方；

S7、頂推機(jī)構(gòu)動作將該收納盒推出；

S8、取出該收納盒中的掩膜版盒并關(guān)閉收納盒。

優(yōu)選的，所述收納盒利用磁吸組件關(guān)閉將收納盒關(guān)閉，并設(shè)置了用于檢測收納盒是否關(guān)閉到位的位置檢測傳感器，若工人忘記關(guān)閉收納盒，提示報警，這樣保證了收納盒關(guān)閉準(zhǔn)確可靠的同時，也能避免意外的發(fā)生。