[發明專利]一種介質阻擋放電等離子體發生器

在審

• 申請號: 202111509907.7
• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN114126181A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 倪國華;李天成;隋書寶;孫斌
• 申請（專利權）人: 青島華云空氣科技有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 北京共騰律師事務所 16031
• 代理人: 姚星

1.一種介質阻擋放電等離子體發生器，其特征在于，所述介質阻擋放電等離子體發生器包括相對設置的上支架和下支架、位于所述上支架和所述下支架之間的第一電極組件和第二電極組件、與所述第一電極組件連接的上端子、與所述第二電極組件連接的下端子，其中，所述上端子貫穿所述上支架，所述下端子貫穿所述下支架，所述第一電極組件和所述第二電極組件均包括絕緣管和形成在所述絕緣管內壁上的金屬涂層，其中，所述金屬涂層采用如下制備方法附著在所述絕緣管的內壁上：

步驟一：將采用去離子水清洗和干燥之后的絕緣管放置在等離子體處理設備中，并針對絕緣管的表面進行清洗；

步驟二：將直徑為0.3mm~1mm的金屬絲沿著絕緣管的中軸線深入絕緣管的內部，其中，金屬絲的下端放置在絕緣管內壁需要制備涂層的起始處，金屬絲的上端位于絕緣管的外部并且金屬絲的上端連接射頻電源的接地線；

步驟三：在絕緣管的外側包覆設置感應線圈，感應線圈的上端與金屬絲的下端齊平，感應線圈的上端和下端分別接射頻電源的地端和輸出端；

步驟四：向絕緣管內通入氬氣和氫氣的混合氣體，接通射頻電源后，金屬絲下端的端點處呈現E模式放電，金屬絲濺射出金屬并附著在絕緣管內壁上，形成致密且結合牢固的金屬涂層；

步驟五：在金屬絲濺射過程中同步勻速向上移動金屬絲和感應線圈，控制在絕緣管內壁形成的金屬涂層的均勻性和厚度，直至完成后，關斷射頻電源和氣源。

2.根據權利要求要求1所述的介質阻擋放電等離子體發生器，其特征在于，所述絕緣管的一端封閉，另一端設置有金屬端子，其中，所述上端子和所述下端子均為金屬端子，所述金屬端子與所述金屬涂層電連接。

3.根據權利要求1所述的介質阻擋放電等離子體發生器，其特征在于，所述第一電極組件和所述第二電極組件之間的間隙是0.1mm~5mm。

4.根據權利要求1所述的介質阻擋放電等離子體發生器，其特征在于，氬氣和氫氣的混合氣體中氫氣含量為0.8‰-3.2‰，混合氣體的氣體流量為2500 sccm~7500sccm。

5.根據權利要求1所述的介質阻擋放電等離子體發生器，其特征在于，所述金屬涂層的厚度為1μm~200μm，所述絕緣管的材質為石英或陶瓷。