[發明專利]一種應用于基板承載臺的可調位姿清洗裝置

有效

• 申請號: 202111509815.9
• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN114192454B
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 楊兆明;川嶋勇;張峰
• 申請（專利權）人: 浙江芯暉裝備技術有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B13/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張英英

1.一種應用于基板承載臺的可調位姿清洗裝置，其特征在于，包括架設于基板承載臺表面上方的安裝支架(1)、連接于所述安裝支架(1)底面的若干個球面副機構(2)、插設于各所述球面副機構(2)中并與其同步球面運動的若干根芯軸(3)、連接于各根所述芯軸(3)末端的固定支架(4)、設置于各所述固定支架(4)底面并朝向基板承載臺延伸的若干個刮板(5)；

還包括可滑動地設置于所述安裝支架(1)底面的滑動支架(6)，所述滑動支架(6)的滑動方向平行于所述安裝支架(1)的長度方向，且各所述球面副機構(2)均連接于所述滑動支架(6)的底面；

所述球面副機構(2)在所述滑動支架(6)的底面沿其長度方向分布，各所述固定支架(4)及各所述刮板(5)在所述滑動支架(6)的底面沿其長度方向分布；

相鄰兩個所述刮板(5)在所述滑動支架(6)的寬度方向上交錯分布，且相鄰兩個所述刮板(5)在所述滑動支架(6)的長度方向上的投影存在重疊區域，在進行清洗作業時，其中一個所述刮板(5)沿所述基板承載臺的徑向分布，以通過所述重疊區域確保在對所述基板承載臺的表面進行清洗作業時不會遺漏相鄰兩個所述刮板(5)的間隙區域。

2.根據權利要求1所述的應用于基板承載臺的可調位姿清洗裝置，其特征在于，所述球面副機構(2)包括與所述滑動支架(6)的底面相連的連接板(21)、設置于所述連接板(21)表面的球軸承外殼(22)、設置于所述球軸承外殼(22)內的球心(23)，所述芯軸(3)插設于所述球軸承外殼(22)內并與所述球心(23)相連。

3.根據權利要求1所述的應用于基板承載臺的可調位姿清洗裝置，其特征在于，所述滑動支架(6)的底面還連接有用于與各所述固定支架(4)相抵接、用于限制各所述刮板(5)的活動范圍的限位板(7)。

4.根據權利要求1所述的應用于基板承載臺的可調位姿清洗裝置，其特征在于，還包括設置于所述安裝支架(1)表面、用于驅動各所述刮板(5)沿其長度方向平移的水平驅動部件(8)，所述安裝支架(1)的表面開設有通孔(11)，且所述水平驅動部件(8)的輸出軸通過垂向貫穿所述通孔(11)的傳動板(81)與所述滑動支架(6)的頂部表面相連。

5.根據權利要求4所述的應用于基板承載臺的可調位姿清洗裝置，其特征在于，所述安裝支架(1)的底面開設有沿其長度方向延伸的導軌(12)，且所述滑動支架(6)的頂部可滑動地嵌設于所述導軌(12)內。

6.根據權利要求1所述的應用于基板承載臺的可調位姿清洗裝置，其特征在于，還包括架設于所述安裝支架(1)表面上方、用于驅動各所述刮板(5)壓緊基板承載臺表面的垂向驅動部件(9)，且所述垂向驅動部件(9)的輸出端通過壓緊板(91)與所述安裝支架(1)的表面抵接。

7.根據權利要求6所述的應用于基板承載臺的可調位姿清洗裝置，其特征在于，各所述固定支架(4)的頂部表面與所述滑動支架(6)的底面之間均連接有彈性件(10)。