[發(fā)明專利]晶圓自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111507046.9
• 申請(qǐng)日: 2021-12-10
• 公開（公告）號(hào): CN114334761B
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王琪;趙洪建;鄭旭海
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山銘馳自動(dòng)化科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/673
• 代理公司: 蘇州周智專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32312
• 代理人: 陶韜

本發(fā)明公開了一種晶圓自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)，包括抓取機(jī)構(gòu)、固定機(jī)構(gòu)和搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，抓取機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑽挥诠潭C(jī)構(gòu)上的物料抓取至搬運(yùn)機(jī)構(gòu)上，所述物料包括蓋板、圈架和晶圓，固定機(jī)構(gòu)用于定位圈架和晶圓，固定機(jī)構(gòu)包括底座和升降臺(tái)，底座上設(shè)有能夠?qū)⑷芄潭ǖ淖ナ郑簧蹬_(tái)連接于底座，且升降臺(tái)能夠沿圈架的軸向上升或下降，以將位于升降臺(tái)上的晶圓放置在圈架內(nèi)；搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括圓鍋和基座，基座內(nèi)設(shè)有一連接件，且連接件能夠伸出基座的表面并與圓鍋定位連接；且圓鍋與連接件通過鎖止件固定；還設(shè)有第二驅(qū)動(dòng)件，第二驅(qū)動(dòng)件能夠驅(qū)動(dòng)圓鍋旋轉(zhuǎn)。采用自動(dòng)化的搬運(yùn)方式，解決了人工搬運(yùn)導(dǎo)致的效率低下和容易出現(xiàn)磨損的技術(shù)問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓上片領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)。

背景技術(shù)

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。晶圓在生產(chǎn)加工過程中，依據(jù)加工工藝需求，需要進(jìn)行晶圓的ICP刻蝕加工，ICP刻蝕工藝前，通常需要將晶圓排列放置到料盤內(nèi)，此過程稱為晶圓的上片，以便于在刻蝕加工時(shí)，將承載有晶圓的整個(gè)料盤放入等離子刻蝕機(jī)中進(jìn)行刻蝕加工。

目前現(xiàn)有技術(shù)中公開了一種晶圓自動(dòng)上片裝置，公開號(hào)為CN111618885B，提供了一種晶圓自動(dòng)上片裝置，包括機(jī)架，機(jī)架工作臺(tái)上設(shè)有一上片機(jī)械臂，上片機(jī)械臂執(zhí)行端設(shè)有晶圓取放機(jī)構(gòu)，工作臺(tái)上還開設(shè)有攝片孔，下方安裝有拍攝機(jī)構(gòu)；上片機(jī)械臂兩側(cè)均滑動(dòng)安裝有第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)的定位托板，機(jī)架上分別對(duì)應(yīng)設(shè)有第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)的料筐，定位托板上表面設(shè)有若干定位軸，一端安裝有插桿；工作臺(tái)上沿定位托板的滑動(dòng)方向還依次設(shè)有載具抬升機(jī)構(gòu)、料盤取蓋機(jī)構(gòu)、自動(dòng)上螺絲機(jī)構(gòu)、螺絲供料器和上片機(jī)械臂，且料盤取蓋機(jī)構(gòu)與載具抬升機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)設(shè)置，螺絲供料器與自動(dòng)上螺絲機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)設(shè)置。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的自動(dòng)上片，上片效率大大提高，且有效避免了在上片過程中意外劃傷晶圓現(xiàn)象的發(fā)生。該上片裝置實(shí)現(xiàn)了晶圓一體化自動(dòng)上片，相較于人工上片，不僅提高了工作效率，而且還降低了人員運(yùn)輸時(shí)的失誤率。但是該晶圓通過機(jī)械臂放置在料盤內(nèi)時(shí)，由于該料盤的位置是固定的，因此需要不斷的是變換位置，從而才能將晶圓放置在料盤內(nèi)，機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)的行程較長，而且由于晶圓位于機(jī)械臂的執(zhí)行端，使得機(jī)械臂在運(yùn)行時(shí)動(dòng)作較為緩慢，這樣大大的增加了晶圓放置的時(shí)間，雖然相對(duì)于人工是提高了工作的效率，以及降低了晶圓的損壞率，但是對(duì)于企業(yè)的體量來講，還有待提高。

因此，我們需要提供一種料盤能夠相對(duì)于機(jī)械臂轉(zhuǎn)動(dòng)，使得機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)行程變短，這樣可以降低了晶圓的放置時(shí)間，提高了工作效率。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種晶圓自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)，該搬運(yùn)機(jī)采用自動(dòng)化的作業(yè)流程，不僅提高了晶圓的上片效率，同時(shí)解決了晶圓在搬運(yùn)時(shí)容易出現(xiàn)損壞的問題。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種晶圓自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)，包括抓取機(jī)構(gòu)、固定機(jī)構(gòu)和搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，所述抓取機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑽挥谒龉潭C(jī)構(gòu)上的物料抓取至所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，所述物料包括蓋板、圈架和晶圓，

所述固定機(jī)構(gòu)用于定位圈架和晶圓，所述固定機(jī)構(gòu)包括底座和升降臺(tái)，所述底座上設(shè)有能夠?qū)⑷芄潭ǖ淖ナ郑凰錾蹬_(tái)連接于所述底座，且所述升降臺(tái)能夠沿所述圈架的軸向上升或下降，以將位于升降臺(tái)上的晶圓放置在所述圈架內(nèi)；

所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括圓鍋和基座，所述基座內(nèi)設(shè)有一連接件，且所述連接件能夠伸出所述基座的表面并與所述圓鍋定位連接；且所述圓鍋與所述連接件通過鎖止件固定；

還設(shè)有第二驅(qū)動(dòng)件，所述第二驅(qū)動(dòng)件能夠驅(qū)動(dòng)所述圓鍋旋轉(zhuǎn)。

進(jìn)一步的，所述抓取機(jī)構(gòu)包括第一抓取組件和第二抓取組件，所述第一抓取組件和第二抓取組件依次將物料抓取至所述固定機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述升降臺(tái)上固定有弧形支撐塊，且所述弧形支撐塊的一側(cè)設(shè)有一開口，所述開口能夠供所述第二抓取組件將所述晶圓搬運(yùn)至升降臺(tái)上。

進(jìn)一步的，所述圓鍋包括曲面板，所述曲面板的軸線位置固定有將所述曲面板貫穿的固定桿，所述固定桿與所述連接件相連接。