[發明專利]晶圓自動搬運機

有效

• 申請號: 202111507046.9
• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN114334761B
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 王琪;趙洪建;鄭旭海
• 申請（專利權）人: 昆山銘馳自動化科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/673
• 代理公司: 蘇州周智專利代理事務所(特殊普通合伙) 32312
• 代理人: 陶韜

1.一種晶圓自動搬運機，包括抓取機構、固定機構(300)和搬運機構(700)，所述抓取機構能夠將位于所述固定機構(300)上的物料抓取至所述搬運機構(700)，所述物料包括蓋板(900)、圈架(1000)和晶圓(1100)，其特征在于，

所述固定機構(300)用于定位圈架(1000)和晶圓(1100)，所述固定機構(300)包括底座(301)和升降臺(302)，所述底座上設有能夠將圈架固定的抓手(303)；所述升降臺(302)連接于所述底座，且所述升降臺能夠沿所述圈架的軸向上升或下降，以將位于升降臺上的晶圓放置在所述圈架內；

所述搬運機構包括圓鍋(701)和基座(702)，所述基座內設有一連接件，且所述連接件能夠伸出所述基座的表面并與所述圓鍋(701)定位連接；且所述圓鍋與所述連接件通過鎖止件(704)固定；

還設有第二驅動件(707)，所述第二驅動件能夠驅動所述圓鍋旋轉。

2.根據權利要求1所述的晶圓自動搬運機，其特征在于，所述抓取機構包括第一抓取組件(200)和第二抓取組件(400)，所述第一抓取組件和第二抓取組件依次將物料抓取至所述固定機構(300)。

3.根據權利要求2所述的晶圓自動搬運機，其特征在于，所述升降臺(302)上固定有弧形支撐塊(3021)，且所述弧形支撐塊的一側設有一開口，所述開口能夠供所述第二抓取組件(400)將所述晶圓(1100)搬運至升降臺上。

4.根據權利要求1所述的晶圓自動搬運機，其特征在于，所述圓鍋(701)包括曲面板(7011)，所述曲面板的軸線位置固定有將所述曲面板貫穿的固定桿(7012)，所述固定桿與所述連接件相連接。

5.根據權利要求4所述的晶圓自動搬運機，其特征在于，所述曲面板(7011)的頂部沿著軸線的周向均勻設有多個放置口(7013)，多個所述放置口(7013)用以放置晶圓(1100)。

6.根據權利要求1所述的晶圓自動搬運機，其特征在于，所述連接件包括鎖緊套(706)和卡接件(705)，所述卡接件的一端與所述鎖緊套螺紋連接，所述卡接件的另一端與所述圓鍋(701)相連接，并通過所述鎖止件(704)進行固定。

7.根據權利要求6所述的晶圓自動搬運機，其特征在于，所述鎖止件(704)包括直線模塊(7041)和固定于所述直線模塊上的卡套(7042)，所述卡套套設于所述卡接件(705)的表面，所述直線模塊驅動所述卡套豎直向下運動，使得所述卡套對卡接件進行鎖止或解鎖。

8.根據權利要求1所述的晶圓自動搬運機，其特征在于，所述基座(702)的側壁滑動連接有一支撐組件(703)，所述支撐組件能夠沿著所述基座的高度方向豎直上下運動，以對圓鍋的邊緣進行支撐。

9.根據權利要求8所述的晶圓自動搬運機，其特征在于，所述支撐組件(703)包括支撐臺和支撐件(7033)，所述支撐件位于所述支撐臺的外側且位于所述圓鍋的下方，以對圓鍋的邊緣進行支撐。

10.根據權利要求9所述的晶圓自動搬運機，其特征在于，所述支撐件包括連桿(70331)和輥套(70333)，所述輥套套設于所述連桿的表面，并能夠沿著所述連桿的軸向轉動。