[發明專利]一種用于光刻機的壓緊裝置

在審

• 申請號: 202111503136.0
• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN114047674A
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發明（設計）人: 王華;甘泉
• 申請（專利權）人: 廣東科視光學技術股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所(普通合伙) 44231
• 代理人: 成偉

本發明公開了一種用于光刻機的壓緊裝置，涉及光刻機技術領域，包括壓邊升降機構、水平位移機構、壓邊滾輪和滾輪定位機構，水平位移機構可帶動壓邊升降機構水平位移，壓邊升降機構可帶動水平位移機構和滾輪定位機構做升降運動；壓邊升降機構包括升降氣缸和升降座，升降氣缸可驅動升降座做升降運動；水平位移機構包括位移馬達和位移絲桿，位移馬達可驅動位移絲桿水平移動；滾輪定位機構包括滾輪定位支架和滾輪定位座。本發明壓緊裝置的壓邊升降機構和水平位移機構聯動工作，使滾輪定位座和壓邊滾輪能夠做升降、水平運動，壓邊滾輪能夠將PCB在豎直方向壓平，保證PCB的穩定性，從而能夠保證光刻加工的質量。

技術領域

本發明涉及光刻機技術領域，具體是一種用于光刻機的壓緊裝置。

背景技術

光刻機稱為掩膜對準曝光機，常用的光刻機是采用掩膜對準光刻，一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等多道工序，高端的投影式光刻機可分為步進投影和掃描投影光刻機這兩種，分辨率通常在七納米至幾微米之間。

PCB中文名稱是印制電路板，又稱為印刷線路板，是非常重要的電子部件，是電子元器件的支撐體，也是是電子元器件電氣連接的載體。幾乎每種電子設備，小到電子手表、計算器、遙控器，大到計算機、通信電子設備、機床、軍用武器系統，只要有集成電路等電子元件，為了使各個元件之間的電氣互連，都要使用印制板，由于它是采用電子印刷術制作的，故被稱為“印刷”電路板。

現有技術中，光刻機吸盤是光刻機的重要組成部分。吸盤的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素對PCB制版的實際生產制造有著重要影響。現有的光刻機吸盤吸附比較薄的PCB時，尚且能將PCB吸附平整，具有一定的穩定性。但是當PCB比較厚時，由于吸盤的吸附力不夠，不足以使得PCB吸附平整，無法保證PCB的穩定性，PCB的位置容易發生松動偏移，從而不能保證光刻加工的質量。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于光刻機的壓緊裝置，具有壓邊滾輪能夠將PCB在豎直方向壓平，保證PCB的穩定性，能夠保證光刻加工的質量的有益效果，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種用于光刻機的壓緊裝置，包括壓邊升降機構、水平位移機構、壓邊滾輪和滾輪定位機構，所述水平位移機構設于所述壓邊升降機構之間，并與所述壓邊升降機構連接，所述水平位移機構可帶動壓邊升降機構水平位移，所述壓邊升降機構可帶動所述水平位移機構做升降運動，所述壓邊滾輪與所述滾輪定位機構連接，所述滾輪定位機構設于所述壓邊升降機構底部，并與所述壓邊升降機構連接，所述壓邊升降機構可帶動所述滾輪定位機構做升降運動；

所述壓邊升降機構包括升降氣缸和升降座，所述升降氣缸設于所述升降座頂側，所述升降氣缸與所述升降座連接，所述升降氣缸可驅動所述升降座做升降運動；

所述水平位移機構包括位移馬達和位移絲桿，所述位移絲桿設于所述位移馬達輸出端，并與位移馬達連接，所述位移馬達可驅動所述位移絲桿水平移動；

所述滾輪定位機構包括滾輪定位支架和滾輪定位座，所述壓邊滾輪連接于所述滾輪定位支架上，所述滾輪定位支架設于所述滾輪定位座上，并與所述滾輪定位座連接。

作為本發明再進一步的方案：所述壓邊升降機構設有兩個，分別設于所述滾輪定位座的兩端，并與所述滾輪定位座固定連接。

作為本發明再進一步的方案：所述壓邊升降機構還包括氣缸固定塊、升降滑軌和升降滑塊，所述氣缸固定塊、升降滑軌、升降滑塊依次設置、連接，所述氣缸固定塊底部與所述水平位移機構固定連接，所述升降氣缸連接于所述氣缸固定塊的頂部，所述升降滑軌固定連接于所述氣缸固定塊側面，所述升降滑塊可滑動地連接于所述升降滑軌上，所述升降滑塊與所述升降座固定連接。

作為本發明再進一步的方案：所述滾輪定位座設于所述升降座之間，所述滾輪定位座端部與所述升降座固定連接。