[發(fā)明專利]一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111503136.0
• 申請(qǐng)日: 2021-12-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114047674A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王華;甘泉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東科視光學(xué)技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 東莞市中正知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44231
• 代理人: 成偉

1.一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置，其特征在于，包括壓邊升降機(jī)構(gòu)、水平位移機(jī)構(gòu)、壓邊滾輪和滾輪定位機(jī)構(gòu)，所述水平位移機(jī)構(gòu)設(shè)于所述壓邊升降機(jī)構(gòu)之間，并與所述壓邊升降機(jī)構(gòu)連接，所述水平位移機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)壓邊升降機(jī)構(gòu)水平位移，所述壓邊升降機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)所述水平位移機(jī)構(gòu)做升降運(yùn)動(dòng)，所述壓邊滾輪與所述滾輪定位機(jī)構(gòu)連接，所述滾輪定位機(jī)構(gòu)設(shè)于所述壓邊升降機(jī)構(gòu)底部，并與所述壓邊升降機(jī)構(gòu)連接，所述壓邊升降機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)所述滾輪定位機(jī)構(gòu)做升降運(yùn)動(dòng)；

所述壓邊升降機(jī)構(gòu)包括升降氣缸和升降座，所述升降氣缸設(shè)于所述升降座頂側(cè)，所述升降氣缸與所述升降座連接，所述升降氣缸可驅(qū)動(dòng)所述升降座做升降運(yùn)動(dòng)；

所述水平位移機(jī)構(gòu)包括位移馬達(dá)和位移絲桿，所述位移絲桿設(shè)于所述位移馬達(dá)輸出端，并與位移馬達(dá)連接，所述位移馬達(dá)可驅(qū)動(dòng)所述位移絲桿水平移動(dòng)；

所述滾輪定位機(jī)構(gòu)包括滾輪定位支架和滾輪定位座，所述壓邊滾輪連接于所述滾輪定位支架上，所述滾輪定位支架設(shè)于所述滾輪定位座上，并與所述滾輪定位座連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置，其特征在于，所述壓邊升降機(jī)構(gòu)設(shè)有兩個(gè)，分別設(shè)于所述滾輪定位座的兩端，并與所述滾輪定位座固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置，其特征在于，所述壓邊升降機(jī)構(gòu)還包括氣缸固定塊、升降滑軌和升降滑塊，所述氣缸固定塊、升降滑軌、升降滑塊依次設(shè)置、連接，所述氣缸固定塊底部與所述水平位移機(jī)構(gòu)固定連接，所述升降氣缸連接于所述氣缸固定塊的頂部，所述升降滑軌固定連接于所述氣缸固定塊側(cè)面，所述升降滑塊可滑動(dòng)地連接于所述升降滑軌上，所述升降滑塊與所述升降座固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置，其特征在于，所述滾輪定位座設(shè)于所述升降座之間，所述滾輪定位座端部與所述升降座固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置，其特征在于，所述水平位移機(jī)構(gòu)還包括馬達(dá)定位座、位移組件、位移板和馬達(dá)驅(qū)動(dòng)座，所述馬達(dá)定位座、位移組件、位移板從上至下依次設(shè)置、連接，所述位移馬達(dá)固定于所述馬達(dá)定位座上；所述位移組件包括位移固定座、位移滑軌和位移滑塊，所述位移固定座固定于所述馬達(dá)定位座底側(cè)，所述位移滑軌固定于所述位移固定座底側(cè)，所述位移滑塊可滑動(dòng)地連接于所述位移滑軌上，所述位移板固定于所述位移滑塊底側(cè)，所述馬達(dá)驅(qū)動(dòng)座固定于所述位移絲桿一端，并與所述位移板頂部固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置，其特征在于，所述位移組件設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)位移組件均固定地設(shè)于所述位移板上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置，其特征在于，所述位移板設(shè)于所述氣缸固定塊之間，所述位移板的端部與所述氣缸固定塊固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置，其特征在于，所述滾輪定位支架設(shè)有兩個(gè)，均與所述滾輪定位座固定連接，每個(gè)滾輪定位支架上連接有兩個(gè)壓邊滾輪。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的壓緊裝置，其特征在于，所述滾輪定位座上設(shè)有支架容納槽和滾輪讓位孔，所述滾輪定位支架安裝于所述支架容納槽內(nèi)，所述壓邊滾輪頂部設(shè)于所述滾輪讓位孔內(nèi)。