[發(fā)明專利]一種晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)及涂膠方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111497362.2
• 申請日: 2021-12-09
• 公開（公告）號: CN114042598A
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 苗銀成;陳勝;江勇;殷晨輝
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州科陽半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C9/14;B05C11/10;B05C13/02;B05D3/02;H01L21/67;B05D1/26
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 陳宏

本發(fā)明涉及電子元器件加工技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)及涂膠方法。該系統(tǒng)用于對玻璃本體涂膠，包括搬運(yùn)模塊和具有第一工位和第二工位的第一操作平臺；第一操作平臺安裝有第一涂膠模塊、第二涂膠模塊、兩個(gè)支撐組件和用于加熱位于加熱工位的玻璃本體的加熱模塊；第一涂膠模塊用于向位于第一工位的玻璃本體涂抹IPA和ADP；第二涂膠模塊用于向位于第二工位的玻璃本體涂抹PR；兩個(gè)支撐組件中一個(gè)用于鋪勻玻璃本體上的IPA和ADP，另一個(gè)用于鋪勻玻璃本體上的PR；搬運(yùn)模塊用于搬運(yùn)玻璃本體。通過上述設(shè)計(jì)，能夠規(guī)避ADP涂抹前晶圓玻璃表面污染的風(fēng)險(xiǎn)，從而提升了涂膠的潔凈度，改善了晶圓玻璃顯影不潔的情況。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子元器件加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)及涂膠方法。

背景技術(shù)

在攝像頭芯片的封裝操作中，需要在晶圓上鍵合圍堰的玻璃,使晶圓本體與晶圓玻璃之間形成一個(gè)有厚度的密封腔體，從而達(dá)到保護(hù)影像傳感器的感光區(qū)的目的。晶圓本體與晶圓玻璃之間的支撐件為圍堰，圍堰周圍的空腔為感光區(qū)，通過光學(xué)玻璃光刻工藝而形成。顯影后若感光區(qū)的PR(Photoresist，光刻膠)清除不凈，后制程無法通過清洗去除。從而會(huì)造成的感光區(qū)污染，影響感光區(qū)像素點(diǎn)成像，導(dǎo)致封裝不良的情況發(fā)生。

如圖1所示，在現(xiàn)有技術(shù)中，玻璃本體900的涂膠操作由晶圓玻璃涂膠設(shè)備完成，晶圓玻璃涂膠設(shè)備包括第二操作平臺600，玻璃本體900放置于第二操作平臺600上，且晶圓玻璃涂膠設(shè)備能驅(qū)動(dòng)玻璃本體900繞自身的軸向旋轉(zhuǎn)，第三涂膠臂700滑設(shè)于第二操作平臺600，第三涂膠臂700用于調(diào)整涂膠組件的位置，涂膠組件包括用于涂抹IPA(iso-Propylalcohol，異丙醇)的第四管路810、用于涂抹ADP(adhension promoter，附著力促進(jìn)劑)的第五管路820和用于涂抹PR的第六管路830。通過IPA的涂布，能夠完成對玻璃表面的預(yù)處理操作，實(shí)現(xiàn)對去油劑及其他雜質(zhì)的清洗，從而保證了玻璃表面的清潔。由于PR疏水，而玻璃表面的羥基和殘留的水分子親水，直接涂抹PR無法保證漆涂膜的效果；為此通過先涂抹ADP的方式，能使ADP與羥基和水分子反應(yīng)生成以硅氧硅氧烷為主體的化合物，該化合物是一種表面活性劑，能夠?qū)⒉ＡП砻嬗捎H水變?yōu)槭杷涫杷膳cPR相結(jié)合；涂布的PR作為直接物料，形成了圍堰。以上各管路的涂布過程均在一個(gè)腔體內(nèi)完成，作業(yè)時(shí)，第三涂膠臂700上同時(shí)設(shè)置有第四管路810、第五管路820和第六管路830；涂布時(shí)由于PR的涂抹量大且揮發(fā)性較強(qiáng)，涂布時(shí)PR的高速旋轉(zhuǎn)會(huì)產(chǎn)生存在PR飛濺的情況，從而造成腔體嚴(yán)重污染，由于上述隱患，玻璃本體900在作業(yè)過程會(huì)存在PR污染，在軟烤固化之后，會(huì)導(dǎo)致顯影不潔的情況發(fā)生。而在涂ADP時(shí)，玻璃本體900可能會(huì)因PR的存在而產(chǎn)生污染。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)及涂膠方法，以降低玻璃表面顯影不潔的隱患。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)，用于對玻璃本體涂膠，包括第一操作平臺和搬運(yùn)模塊；所述第一操作平臺具有第一工位、第二工位和加熱工位，所述第一操作平臺上安裝有第一涂膠模塊、第二涂膠模塊、加熱模塊和兩個(gè)支撐組件；所述第一涂膠模塊用于向位于所述第一工位的所述玻璃本體涂抹IPA和ADP；所述第二涂膠模塊用于向位于所述第二工位的所述玻璃本體涂抹PR；兩個(gè)所述支撐組件中的一個(gè)用于鋪勻位于所述第一工位的所述玻璃本體上的所述IPA和所述ADP，另一個(gè)用于鋪勻位于所述第二工位的所述玻璃本體上的所述PR；所述加熱模塊用于加熱位于所述加熱工位的所述玻璃本體；所述搬運(yùn)模塊用于在所述第一工位、所述第二工位和所述加熱工位之間搬運(yùn)所述玻璃本體。

作為晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)的優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐組件包括處理腔，所述處理腔內(nèi)設(shè)有玻璃支撐臺，所述玻璃支撐臺用于驅(qū)動(dòng)所述玻璃本體繞所述玻璃本體的軸線旋轉(zhuǎn)；所述第一操作平臺上還安裝有蓋板組件，所述蓋板組件包括蓋板本體，所述蓋板本體能夠封閉或打開收納有位于所述第二工位的所述玻璃本體的所述處理腔。