[發(fā)明專利]一種晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)及涂膠方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111497362.2
• 申請(qǐng)日: 2021-12-09
• 公開（公告）號(hào): CN114042598A
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 苗銀成;陳勝;江勇;殷晨輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州科陽(yáng)半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C9/14;B05C11/10;B05C13/02;B05D3/02;H01L21/67;B05D1/26
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 陳宏

1.一種晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)，用于對(duì)玻璃本體(900)涂膠，其特征在于，包括：

第一操作平臺(tái)(500)，所述第一操作平臺(tái)(500)具有第一工位、第二工位和加熱工位，所述第一操作平臺(tái)(500)上安裝有第一涂膠模塊(200)、第二涂膠模塊(300)、加熱模塊和兩個(gè)支撐組件(110)；所述第一涂膠模塊(200)用于向位于所述第一工位的所述玻璃本體(900)涂抹IPA和ADP；所述第二涂膠模塊(300)用于向位于所述第二工位的所述玻璃本體(900)涂抹PR；兩個(gè)所述支撐組件(110)中的一個(gè)用于鋪勻位于所述第一工位的所述玻璃本體(900)上的所述IPA和所述ADP，另一個(gè)用于鋪勻位于所述第二工位的所述玻璃本體(900)上的所述PR；所述加熱模塊用于加熱位于所述加熱工位的所述玻璃本體(900)；

搬運(yùn)模塊(400)，用于在所述第一工位、所述第二工位和所述加熱工位之間搬運(yùn)所述玻璃本體(900)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)，其特征在于，所述支撐組件(110)包括處理腔，所述處理腔內(nèi)設(shè)有玻璃支撐臺(tái)(113)，所述玻璃支撐臺(tái)(113)用于驅(qū)動(dòng)所述玻璃本體(900)繞所述玻璃本體(900)的軸線旋轉(zhuǎn)；

所述第一操作平臺(tái)(500)上還安裝有蓋板組件(120)，所述蓋板組件(120)包括蓋板本體(121)，所述蓋板本體(121)能夠封閉或打開收納有位于所述第二工位的所述玻璃本體(900)的所述處理腔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)，其特征在于，所述玻璃支撐臺(tái)(113)的頂面設(shè)有摩擦面(114)，所述摩擦面(114)支撐所述玻璃本體(900)的底面；所述玻璃支撐臺(tái)(113)通過繞所述玻璃支撐臺(tái)(113)軸向旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)所述玻璃本體(900)旋轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)，其特征在于，所述處理腔由支撐臺(tái)底座(112)形成，所述玻璃支撐臺(tái)(113)能夠相對(duì)所述支撐臺(tái)底座(112)沿垂直于所述第一操作平臺(tái)(500)所在平面的方向上升降。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)，其特征在于，所述處理腔通過加工口與外部環(huán)境連通，所述加工口套接有凹口墊圈(111)，當(dāng)所述蓋板本體(121)封閉所述處理腔時(shí)，所述蓋板本體(121)的一側(cè)抵壓于所述凹口墊圈(111)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)，其特征在于，所述蓋板本體(121)背離所述凹口墊圈(111)的一側(cè)固連有蓋板連接件(122)，所述蓋板連接件(122)轉(zhuǎn)動(dòng)連接于蓋板連接架(123)上，所述蓋板連接架(123)用于帶動(dòng)所述蓋板連接件(122)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)，其特征在于，所述搬運(yùn)模塊(400)包括升降底座(430)、轉(zhuǎn)動(dòng)柱(420)和搬運(yùn)架(410)；

所述升降底座(430)固連于所述第一操作平臺(tái)(500)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱(420)能夠相對(duì)所述升降底座(430)沿垂直于所述第一操作平臺(tái)(500)所在平面的方向上升降，所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱(420)還能繞所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱(420)的軸向旋轉(zhuǎn)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱(420)上穿設(shè)有搬運(yùn)架(410)，所述搬運(yùn)架(410)的一端設(shè)有搬運(yùn)爪(411)，所述搬運(yùn)爪(411)能在平行于所述第一操作平臺(tái)(500)所在平面的方向上靠近或遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱(420)，所述搬運(yùn)爪(411)用于支撐所述玻璃本體(900)的底面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的晶圓玻璃涂膠系統(tǒng)，其特征在于，所述第一涂膠模塊(200)包括平行于所述第一操作平臺(tái)(500)延伸的第一滑軌(220)和滑設(shè)于所述第一滑軌(220)的第一涂膠臂(210)；所述第一涂膠臂(210)包括滑設(shè)于所述第一滑軌(220)的第一滑塊(211)以及能夠相對(duì)所述第一滑塊(211)沿垂直于所述第一操作平臺(tái)(500)所在平面的方向上升降的第一定位桿(212)，所述第一定位桿(212)上固連有用于涂抹IPA的第一管路(231)和用于涂抹ADP的第二管路(232)。