[發明專利]一種可測結構精度的納米壓印設備及壓印方法

有效

• 申請號: 202111487129.6
• 申請日: 2021-12-07
• 公開（公告）號: CN114253066B
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發明（設計）人: 冀然
• 申請（專利權）人: 青島天仁微納科技有限責任公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 山東重諾律師事務所 37228
• 代理人: 王鵬里

本發明提出一種可測結構精度的納米壓印設備及壓印方法，包括腔體和位于腔體上的左側門、右側門，還包括壓印單元，檢測單元和傳輸單元；檢測單元位于腔體右側，與右側門相鄰，包括晶圓托盤，XY軸位移平臺，膜厚檢測探頭；傳輸單元位于壓印單元和檢測單元之間，簡化測試流程，提高工作效率，避免遺漏缺陷，實現檢測自動化節約人力物力。

技術領域

本發明涉及納米壓印技術領域，尤其涉及一種可測結構精度的納米壓印設備及壓印方法。

背景技術

納米壓印技術是通過光刻膠輔助，將模板上的微納結構轉移到待加工材料上的技術。隨著納米壓印技術的飛速發展，納米壓印產品尺寸越來越大，但元件的臨界尺寸越來越小，肉眼很難分辨出產品中存在的缺陷，如果壓印產品結構精度與原始模具偏差超出容差值，那么該產品無法用于刻蝕流程，傳統的測試只能做到抽檢，且時間長，效率低。

發明內容

本發明的目的在于克服以上技術缺陷，提出一種可測結構精度的納米壓印設備及壓印方法，簡化測試流程，提高工作效率。

本發明為實現其技術目的所采取的技術方案是：一種可測結構精度的納米壓印設備，包括腔體和位于所述腔體上的左側門、右側門，還包括壓印單元，檢測單元和傳輸單元；

所述壓印單元位于所述腔體左側，與所述左側門相鄰，所述壓印單元包括上下兩部分，上部分包括壓板和夾具，在所述壓板和夾具之間還設有軟模具，所述軟模具依靠真空吸附在所述壓板上，所述夾具依靠磁力吸附固定在所述壓板上，所述夾具將所述軟模具夾緊固定；

所述壓板通過支架固定在所述腔體頂部，在所述腔體頂部、所述壓板正上方還設有紫外燈，所述壓板中間設有用于通過紫外線的透明部分，所述夾具中間設置鏤空部分；

所述壓印單元下部分包括上下移動裝置，在所述上下移動裝置上方安裝有加熱裝置和托盤，在所述托盤上方通過真空吸附有基片；

所述檢測單元位于所述腔體右側，與所述右側門相鄰，包括晶圓托盤，位移平臺，檢測探頭；所述傳輸單元位于壓印單元和檢測單元之間，包括機械手，真空吸附基板。

優選的，所述壓板中間的透明部分寬度與所述托盤寬度一致。

優選的，所述夾具中間的鏤空部分寬度大于所述托盤寬度。

優選的，所述位移平臺為XY軸位移平臺，所述檢測探頭為膜厚檢測探頭。

一種可測結構精度的納米壓印設備，其壓印方法包括如下步驟：

A、右側門打開，原始模具放入檢測單元晶圓托盤；

B、膜厚檢測探頭根據設定好的路徑，在XY軸位移平臺上移動，測試多點結構深度，并實時傳輸到電腦上；

C、機械手臂運動，真空吸附原始模具，然后移動到壓印單元內托盤上，機械手臂回到原位；

D、壓印單元執行復制流程，左側門打開，固定PET，然后點膠，托盤緩慢向上移動；

E、直至膠均勻覆蓋在原始模具表面，隨后紫外燈對膠進行固化；

F、固化完成后脫模，脫模后將原始模具從左側門取出；

G、左側門關閉，右側門開啟，壓印基片放入檢測單元托盤，膜厚檢測探頭按程序測試相同點位基片厚度，并實時傳輸到電腦上，保證基片平整度符合壓印要求；

H、機械手臂運動，真空吸附基片，然后移動到壓印單元內托盤上，機械手臂回到原位；

I、壓印單元執行復制流程，左側門打開，固定PET，然后點膠，托盤緩慢向上移動；

J、直至膠均勻覆蓋在原始模具表面，隨后紫外燈對膠進行固化；