[發明專利]一種可測結構精度的納米壓印設備及壓印方法有效
| 申請號： | 202111487129.6 | 申請日： | 2021-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN114253066B | 公開（公告）日： | 2023-07-11 |
| 發明（設計）人： | 冀然 | 申請（專利權）人： | 青島天仁微納科技有限責任公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山東重諾律師事務所 37228 | 代理人： | 王鵬里 |
| 地址： | 266000 山東省青島市城陽區城*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 結構 精度 納米 壓印 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種可測結構精度的納米壓印方法，其特征在于，包括如下步驟：
A、右側門打開，原始模具放入檢測單元晶圓托盤；
B、膜厚檢測探頭根據設定好的路徑，在XY軸位移平臺上移動，測試多點結構深度，并實時傳輸到電腦上；
C、機械手臂運動，真空吸附原始模具，然后移動到壓印單元內托盤上，機械手臂回到原位；
D、壓印單元執行復制流程，左側門打開，固定PET，然后點膠，托盤緩慢向上移動；
E、直至膠均勻覆蓋在原始模具表面，隨后紫外燈對膠進行固化；
F、固化完成后脫模，脫模后將原始模具從左側門取出；
G、左側門關閉，右側門開啟，壓印基片放入檢測單元托盤，膜厚檢測探頭按程序測試相同點位基片厚度，并實時傳輸到電腦上，保證基片平整度符合壓印要求；
H、機械手臂運動，真空吸附基片，然后移動到壓印單元內托盤上，機械手臂回到原位；
I、壓印單元執行復制流程，左側門打開，固定PET，然后點膠，托盤緩慢向上移動；
J、直至膠均勻覆蓋在壓印基片表面，隨后紫外燈對膠進行固化；
K、固化完成后脫模，機械手臂運動，真空吸附壓印片移動到檢測單元晶圓托盤上，由膜厚檢測探頭測試相同點位壓印結構深度，并通過軟件與原始模具結構深度進行比較，計算偏差；L、將壓印片從左側門取出，然后換下一片壓印基片，繼續壓印。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于青島天仁微納科技有限責任公司，未經青島天仁微納科技有限責任公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202111487129.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
