[發明專利]圓心對稱型3D基板鍍膜方法

在審

• 申請號: 202111486929.6
• 申請日: 2021-12-07
• 公開（公告）號: CN114150278A
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發明（設計）人: 吳景揚;高維笛;簡昆峰;周宗震
• 申請（專利權）人: 業成科技（成都）有限公司;業成光電（深圳）有限公司;業成光電（無錫）有限公司;英特盛科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/54
• 代理公司: 成都希盛知識產權代理有限公司 51226
• 代理人: 張錫軍

本發明提供一種圓心對稱型3D基板鍍膜方法，包含：將一3D基板、一遮罩以及一濺鍍靶材配置于一中軸線上，其中所述遮罩具有一中央開口且配置于所述3D基板與所述濺鍍靶材之間，而所述3D基板具有一圓形截面；以及以所述中軸線為轉軸，使所述遮罩與所述3D基板相對轉動，并執行一濺鍍步驟，以讓所述濺鍍靶材的物質濺射并通過所述中央開口而沉積到所述3D基板上。

技術領域

本發明有關于一種基板鍍膜方法，尤其指一種圓心對稱型3D基板鍍膜方法。

背景技術

在鍍膜實務上，針對不同的基板會采用不同的鍍膜技術。例如，針對曲率較小的3D基板，可采平面濺鍍制程進行鍍膜，但基板中央與周圍處的膜厚會有不均勻的問題。至于曲率較大的3D基板，則會采蒸鍍制程并搭配行星式公/自轉的方式進行鍍膜，但基板中央與周圍膜厚仍舊容易有不均勻的問題。

也就是說，在現有的3D基板鍍膜技術中，因不易達到曲面上鍍膜膜厚均勻，而導致有光學效果不佳或膜質特性差異的問題。另外，若是球面型3D基板，因有多維曲度，使得鍍膜均勻性更難控制。

綜上所述，如何提供一個能提高曲面鍍膜膜厚均勻性的3D基板鍍膜方法，乃是業界所需思考的重要課題。

發明內容

本發明主要提供一種圓心對稱型3D基板鍍膜方法，可有效地提升車輛續航力。

鑒于上述內容，本揭露之一態樣系提供一種圓心對稱型3D基板鍍膜方法，包含：將一3D基板、一遮罩以及一濺鍍靶材配置于一中軸線上，其中所述遮罩具有一中央開口且配置于所述3D基板與所述濺鍍靶材之間，而所述3D基板具有一圓形截面；以及以所述中軸線為轉軸，使所述遮罩與所述3D基板相對轉動，并執行一濺鍍步驟，以讓所述濺鍍靶材的物質濺射并通過所述中央開口而沉積到所述3D基板上。

根據本揭露之一個或多個實施方式，其中所述3D基板靜止不動，而所述遮罩以所述中軸線為轉軸且相對于所述3D基板轉動。

根據本揭露之一個或多個實施方式，其中所述遮罩靜止不動，而所述3D基板以所述中軸線為轉軸且相對于所述遮罩轉動。

根據本揭露之一個或多個實施方式，其中所述3D基板與所述遮罩皆以所述中軸線為轉軸而彼此相對轉動。

根據本揭露之一個或多個實施方式，其中所述濺鍍靶材為方形或圓形平面。

根據本揭露之一個或多個實施方式，其中所述3D基板面對所述遮罩之表面為一凸面。

根據本揭露之一個或多個實施方式，其中所述3D基板面對所述遮罩之表面為一凹面。

根據本揭露之一個或多個實施方式，其中所述3D基板、所述遮罩以及所述濺鍍靶材之中心配置于所述中軸線。

根據本揭露之一個或多個實施方式，其中所述3D基板之表面由不同深度平面、不規則平面或曲面構成。

根據本揭露之一個或多個實施方式，其中根據所述3D基板之形狀與尺寸而設計所述遮罩之所述中央開口，以利用所述遮罩修正所述3D基板之表面上各位置的膜厚分布。

附圖說明

為讓本發明的上述與其他目的、特征、優點與實施例能更淺顯易懂，所附圖式之說明如下：

圖1系繪示本發明一實施例中圓心對稱型3D基板鍍膜系統的部份組件示意圖。

圖2系繪示本發明另一實施例中圓心對稱型3D基板鍍膜系統的部份組件示意圖。

圖3A～3D系繪示本發明之不同實施例中3D基板的示意圖。

圖4A～4C系繪示本發明之實施例中3D基板與遮罩的相對位置與作動關系示意圖。

圖5系繪示本發明又一實施例中圓心對稱型3D基板鍍膜系統的部份組件示意圖。