[發(fā)明專利]測(cè)試丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111474323.0
• 申請(qǐng)日: 2021-12-02
• 公開（公告）號(hào): CN114136910A
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 房彩琴;李冰;孫嘉;魯代仁;董棟;張寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海彤程電子材料有限公司;北京彤程創(chuàng)展科技有限公司;北京科華微電子材料有限公司;彤程化學(xué)（中國(guó)）有限公司;彤程新材料集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/35
• 分類號(hào): G01N21/35;G01N21/3563
• 代理公司: 北京柏杉松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413
• 代理人: 李婷;劉繼富

本申請(qǐng)涉及光刻膠樹脂技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種測(cè)試丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)的方法，通過(guò)獲得已知兩種重復(fù)單元的摩爾比的丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物樣品中羰基的特征峰高度和苯環(huán)對(duì)位取代基的特征峰高度的比值，建立得到標(biāo)準(zhǔn)曲線的回歸方程；將待測(cè)樣品中羰基的特征峰高度和苯環(huán)對(duì)位取代基的特征峰高度的比值代入上述回歸方程，即可計(jì)算得到待測(cè)樣品中兩種重復(fù)單元的摩爾比，進(jìn)而換算得到待測(cè)樣品中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)。該方法能夠準(zhǔn)確獲得丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物待測(cè)樣品中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)，且不需要使用毒性較大的良溶劑，具有簡(jiǎn)便、分析速度快、準(zhǔn)確度高、誤差小、檢測(cè)成本低、安全環(huán)保等優(yōu)勢(shì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及光刻膠樹脂技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種測(cè)試丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)的方法。

背景技術(shù)

光刻膠是微電子制造光刻工藝的關(guān)鍵性材料，而光刻膠樹脂是光刻膠的主要組分。在248nm光刻膠膠體系中，丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物為高活化能的光刻膠樹脂，可提高環(huán)境穩(wěn)定性。丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物結(jié)構(gòu)式如式(I)所示：

目前測(cè)定丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)的方法主要是采用核磁分析方法，通過(guò)核磁氫譜和核磁碳譜，計(jì)算不同結(jié)構(gòu)的氫和碳的摩爾分?jǐn)?shù)，進(jìn)而確定重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)。然而，丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物的共振峰比單體的共振峰寬，導(dǎo)致準(zhǔn)確度不夠高；并且丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物通常保存在溶劑中，因此需要除去保存溶劑后溶解在良溶劑中進(jìn)行測(cè)試，而有些良溶劑毒性較大。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)的目的在于提供一種測(cè)試丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)的方法，以準(zhǔn)確獲得丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)，且不需要采用良溶劑，安全環(huán)保。

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N測(cè)試丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)的方法，其中，丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物的結(jié)構(gòu)式如式(I)所示：

m與n為丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物中兩種重復(fù)單元的個(gè)數(shù)；兩種重復(fù)單元的摩爾比為

包括以下步驟：

S1、取5-10個(gè)不同已知摩爾比Y的丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物樣品，在相同的光譜條件下進(jìn)行紅外光譜檢測(cè)，分別得到各個(gè)樣品的紅外光譜圖，獲得各個(gè)樣品中羰基的特征峰高度和苯環(huán)對(duì)位取代基的特征峰高度的比值；

S2、以所述羰基的特征峰高度和苯環(huán)對(duì)位取代基的特征峰高度的比值為橫坐標(biāo)，所述兩種重復(fù)單元的摩爾比為縱坐標(biāo)，建立標(biāo)準(zhǔn)曲線，得到標(biāo)準(zhǔn)曲線的回歸方程Y＝aX+b；

其中，X為羰基的特征峰高度和苯環(huán)對(duì)位取代基的特征峰高度的比值，Y為兩種重復(fù)單元的摩爾比，a、b為常數(shù)；

S3、取丙烯酸叔丁酯與對(duì)羥基苯乙烯共聚物待測(cè)樣品，在與步驟S1相同的光譜條件下進(jìn)行紅外光譜檢測(cè)，得到待測(cè)樣品的紅外光譜圖，獲得待測(cè)樣品中羰基的特征峰高度和苯環(huán)對(duì)位取代基的特征峰高度的比值；

S4、根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)曲線的回歸方程，由所述待測(cè)樣品中羰基的特征峰高度和苯環(huán)對(duì)位取代基的特征峰高度的比值，計(jì)算得到待測(cè)樣品中兩種重復(fù)單元的摩爾比Y；根據(jù)重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)計(jì)算得到待測(cè)樣品中重復(fù)單元的摩爾分?jǐn)?shù)。

在一些實(shí)施方式中，光譜掃描范圍為400-4000cm^-1，掃描次數(shù)為16-64次，分辨率為4cm^-1或8cm^-1。

在一些實(shí)施方式中，所述羰基的特征峰的波數(shù)為1725±5cm^-1，所述苯環(huán)對(duì)位取代基的特征峰的波數(shù)為830±5cm^-1。