[發明專利]一種雙結雙面PERC電池及其制作方法

在審

• 申請號: 202111438169.1
• 申請日: 2021-11-30
• 公開（公告）號: CN114335225A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 杜歡;吳兢;薛超;糜宇亮;趙興國
• 申請（專利權）人: 江蘇輝倫太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0687
• 分類號: H01L31/0687;H01L31/068;H01L31/0352;H01L31/18
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

本發明公開了一種離子注入選擇性擴散制備雙結雙面PERC電池的方法，其制備方法為：1、在P型硅片上進行高溫磷擴散，此時硅片結構為N?P?N；2、單面去PSG；3、去PSG的一面使用離子注入進行大劑量硼擴散，此時硅片結構為N?P?N?P；4、雙面去PSG/BSG；5、雙面進行富氫含氮鈍化膜鍍膜；6、雙面印刷并燒結。因為硼在硅中的擴散系數比磷小，屬于慢擴散，所以使用常規擴散爐高溫擴散無法實現新的P型層的設計，必須使用離子注入進行大劑量硼烷注入。此N?P?N?P雙結雙面電池設計相比常規的N?P單結雙面設計，其電壓可以得到大幅提升，同時背面受光時，其光的轉化率可以更高，提升電池片的電流，故電池片的效率得到大幅提升。

技術領域

本發明涉及一種雙結雙面PERC電池及其制作方法，屬于光伏電池技術領域。

背景技術

傳統的PERC電池制備工藝成熟，市場占有率約為90％，但由于單結效率提升已經接近理論值，提升空間很小，但市場對于更高效率產品的需求越來越大，PERC電池廠商則面臨要轉型做其他類型的電池才能繼續生存，如HIT、N型TOPCON等，但此類技術的應用必須購買新的設備及產線，投入巨大。

為了提升PERC電池的效率，為光伏行業技術升級提供一種低成本高效率的選擇，開發了本發明講述的離子注入選擇性擴散制備雙結雙面PERC電池的方法。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術中的不足，提供一種雙結雙面PERC電池及其制作方法，電池片的效率得到大幅提升，且在現有的PERC生產線上無需進行大幅度改動，改造成本低，實施方案方便可行，可大規模應用。

為達到上述目的，本發明是采用下述技術方案實現的：

第一方面，本發明提供了一種雙結雙面PERC電池及其制作方法，包括：

P型硅片基底，所述P型硅片基底兩側設有通過高溫磷擴散形成的N型層；所述兩個N型層其中之一遠離P型硅片基底的一面設有通過離子注入硼擴散形成的P型層。

第二方面，本發明提供一種雙結雙面PERC電池的制作方法，包括：

步驟一、在P型硅片上進行高溫磷擴散，此時硅片結構為N-P-N；

步驟二、在N型層的單面進行去PSG處理；

步驟三、去PSG的一面使用離子注入進行大劑量硼擴散，此時硅片結構為N-P-N-P；

步驟四、對硅片N-P-N-P型結構的硅片雙面進行去PSG/BSG處理；

步驟五、對去PSG/BSG處理后的雙面進行鍍膜處理；

步驟六、對鍍膜后的雙面進行印刷并燒結。

進一步的，所述步驟三中，離子注入的入射能量范圍為60～180KEV，擴散方阻為70～140Ω/sq。

進一步的，所述步驟一中，磷擴散的擴散溫度在850～950℃，推結時間為60～90分鐘，擴散方阻為90～150Ω/sq。

進一步的，所述步驟五中，雙面鍍膜為富氫含氮鈍化膜。

進一步的，所述步驟六中，雙面印刷中N型面的主柵線和副柵線均使用銀漿，P型面的主柵線為銀漿，副柵線為鋁漿。

與現有技術相比，本發明所達到的有益效果：

本發明提供的一種雙結雙面PERC電池及其制作方法，由于其雙結設計其電壓可以得到大幅提升，而且在背面受光時，由于背面的PN結更接近背表面，其光的轉化率可以更高，提升了電池片的電流，故電池片的效率得到大幅提升，且在現有的PERC生產線上無需進行大幅度改動，改造成本低，實施方案方便可行，可大規模應用。

附圖說明