[發(fā)明專利]一種雙結(jié)雙面PERC電池及其制作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111438169.1
• 申請(qǐng)日: 2021-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN114335225A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜歡;吳兢;薛超;糜宇亮;趙興國
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇輝倫太陽能科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/0687
• 分類號(hào): H01L31/0687;H01L31/068;H01L31/0352;H01L31/18
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.一種雙結(jié)雙面PERC電池，其特征在于，包括：

P型硅片基底，所述P型硅片基底兩側(cè)設(shè)有通過高溫磷擴(kuò)散形成的N型層；所述兩個(gè)N型層其中之一遠(yuǎn)離P型硅片基底的一面設(shè)有通過離子注入硼擴(kuò)散形成的P型層。

2.一種雙結(jié)雙面PERC電池的制作方法，其特征在于，包括：

步驟一、在P型硅片上進(jìn)行高溫磷擴(kuò)散，此時(shí)硅片結(jié)構(gòu)為N-P-N；

步驟二、在N型層的單面進(jìn)行去PSG處理；

步驟三、去PSG的一面使用離子注入進(jìn)行大劑量硼擴(kuò)散，此時(shí)硅片結(jié)構(gòu)為N-P-N-P；

步驟四、對(duì)硅片N-P-N-P型結(jié)構(gòu)的硅片雙面進(jìn)行去PSG/BSG處理；

步驟五、對(duì)去PSG/BSG處理后的雙面進(jìn)行鍍膜處理；

步驟六、對(duì)鍍膜后的雙面進(jìn)行印刷并燒結(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙結(jié)雙面PERC電池的制作方法，其特征在于：所述步驟三中，離子注入的入射能量范圍為60～180KEV，擴(kuò)散方阻為70～140Ω/sq。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙結(jié)雙面PERC電池的制作方法，其特征在于：所述步驟一中，磷擴(kuò)散的擴(kuò)散溫度在850～950℃，推結(jié)時(shí)間為60～90分鐘，擴(kuò)散方阻為90～150Ω/sq。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙結(jié)雙面PERC電池的制作方法，其特征在于：所述步驟五中，雙面鍍膜為富氫含氮鈍化膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙結(jié)雙面PERC電池的制作方法，其特征在于：所述步驟六中，雙面印刷中N型面的主柵線和副柵線均使用銀漿，P型面的主柵線為銀漿，副柵線為鋁漿。