[發(fā)明專利]一種硬盤驅(qū)動器的軸承的鍍膜方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111428808.6 | 申請日: | 2021-11-29 |
| 公開(公告)號: | CN116180024A | 公開(公告)日: | 2023-05-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 楊理 | 申請(專利權(quán))人: | 東莞新科技術(shù)研究開發(fā)有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/35 | 分類號: | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝傳鑫 |
| 地址: | 523087 *** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 硬盤驅(qū)動器 軸承 鍍膜 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種硬盤驅(qū)動器的軸承的鍍膜方法,所述方法包括:將待鍍膜的硬盤驅(qū)動器的軸承放置在鍍膜夾具上,并置于真空室內(nèi);將真空室內(nèi)的真空度抽至8.0×10supgt;?4/supgt;Pa,向真空室內(nèi)通入氬氣,使真空度保持在0.5Pa,對所述軸承的表面進行預(yù)清洗處理;將真空室內(nèi)的真空度抽至5.0×10supgt;?6/supgt;Pa,向真空室內(nèi)通入乙炔,使真空度保持在9.0Pa~10.0Pa,通過離子濺射在所述軸承的表面沉積形成金屬層。采用本發(fā)明的技術(shù)方案能夠有效減少硬盤驅(qū)動器內(nèi)的金屬粉塵的產(chǎn)生,從而防止金屬粉塵掉落在硬盤上造成硬盤的劃傷。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種硬盤驅(qū)動器的軸承的鍍膜方法。
背景技術(shù)
硬盤驅(qū)動器在封裝的時候,需要無塵的環(huán)境,如果有灰塵被封裝在硬盤驅(qū)動器中,就會在實際使用時造成硬盤的劃傷。此外,由于硬盤驅(qū)動器內(nèi)部的音圈馬達帶動磁頭的懸臂件,使磁頭進行讀寫,金屬粉塵極易通過摩擦而產(chǎn)生,如果掉落在硬盤上,同樣會造成硬盤的劃傷。
但是,在傳統(tǒng)的磁盤驅(qū)動器的封裝過程中,過多的著眼點在于如何防止環(huán)境中的灰塵的影響,卻忽視了硬盤內(nèi)部很多零部件的摩擦也能產(chǎn)生大量的金屬粉塵。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例所要解決的技術(shù)問題在于,提供一種硬盤驅(qū)動器的軸承的鍍膜方法,能夠有效減少硬盤驅(qū)動器內(nèi)的金屬粉塵的產(chǎn)生,從而防止金屬粉塵掉落在硬盤上造成硬盤的劃傷。
為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明實施例提供了一種硬盤驅(qū)動器的軸承的鍍膜方法,包括:
將待鍍膜的硬盤驅(qū)動器的軸承放置在鍍膜夾具上,并置于真空室內(nèi);
將真空室內(nèi)的真空度抽至8.0×10-4Pa,向真空室內(nèi)通入氬氣,使真空度保持在0.5Pa,對所述軸承的表面進行預(yù)清洗處理;
將真空室內(nèi)的真空度抽至5.0×10-6Pa,向真空室內(nèi)通入乙炔,使真空度保持在9.0Pa~10.0Pa,通過離子濺射在所述軸承的表面沉積形成金屬層。
進一步地,所述對所述軸承的表面進行預(yù)清洗處理,具體為:
通過射頻磁控濺射儀對所述軸承的表面進行預(yù)清洗處理,其中,所述射頻磁控濺射儀的頻率為15MHz,功率為2.5kW。
進一步地,所述通過離子濺射在所述軸承的表面沉積形成金屬層,具體為:
通過偏壓電源向所述軸承施加1000V~1500V的負(fù)電壓;
通過100mA~120mA的直流電源產(chǎn)生輝光放電,以將金屬靶材原子通過濺射沉積于所述軸承的表面,形成所述金屬層。
進一步地,所述偏壓電源為高頻脈沖電源,電壓為-5kV,頻率為800kHz~1000kHz。
進一步地,所述金屬層的濺射時間為60min,所述金屬層的厚度為2μm~3μm。
進一步地,所述金屬靶材的材質(zhì)為鎳,所述金屬層為鎳層。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明實施例提供了一種硬盤驅(qū)動器的軸承的鍍膜方法,首先,將待鍍膜的硬盤驅(qū)動器的軸承放置在鍍膜夾具上,并置于真空室內(nèi);接著,將真空室內(nèi)的真空度抽至8.0×10-4Pa,向真空室內(nèi)通入氬氣,使真空度保持在0.5Pa,對所述軸承的表面進行預(yù)清洗處理;最后,將真空室內(nèi)的真空度抽至5.0×10-6Pa,向真空室內(nèi)通入乙炔,使真空度保持在9.0Pa~10.0Pa,通過離子濺射在所述軸承的表面沉積形成金屬層;通過在硬盤驅(qū)動器的軸承的表面鍍一層金屬層,相應(yīng)增加其硬度,能夠有效減少硬盤驅(qū)動器內(nèi)的金屬粉塵的產(chǎn)生,從而防止金屬粉塵掉落在硬盤上造成硬盤的劃傷,進而延長了硬盤的使用壽命。
附圖說明
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





