[發明專利]一種調校裝置及其調校方法

在審

• 申請號: 202111428098.7
• 申請日: 2021-11-26
• 公開（公告）號: CN114114603A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 王朋輝;李璟;陳進新;盧增雄;馬敬;齊威
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G02B7/18
• 分類號: G02B7/18
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王文思

本公開提供了一種調校裝置，包括：底座；棱鏡定位模塊，設置于底座上，包括：下棱鏡定位模塊和上棱鏡定位模塊，其中，下棱鏡定位模塊用于將下棱鏡進行定位，并使下棱鏡的膠合面保持水平狀態；上棱鏡定位模塊用于將上棱鏡定位，并使上棱鏡的膠合面與下棱鏡的膠合面貼合。本公開還提供了一種調校方法。

技術領域

本公開涉及光學裝備技術領域，具體涉及一種調校裝置及其調校方法。

背景技術

在光學工程應用方面，常利用異形棱鏡對光路進行折轉，完成光路的轉向、光學測量等工作。在異形棱鏡的制造過程中，經常涉及到異形棱鏡的膠合，而膠合過程帶來的棱鏡相對位置誤差、膠層厚度誤差等成為決定異形棱鏡膠合件質量的決定性因素。

從現有公開的異形棱鏡生產用工裝專利情況來看，工裝多數為固定式工裝，無法精密調整兩棱鏡的相對位置，棱鏡的定位精度決定于工裝的加工精度，對工裝的加工精度要求較高。

發明內容

為了解決現有技術中上述問題，本公開提供了一種調校裝置及其調校方法，該調校裝置有效提高了異形棱鏡膠合精度，降低膠合工裝的加工精度要求，有效減少了工裝的加工成本。

本公開的第一個方面提供了一種調校裝置，包括：底座；棱鏡定位模塊，設置于底座上，包括：下棱鏡定位模塊和上棱鏡定位模塊，其中，下棱鏡定位模塊用于將下棱鏡進行定位，并使下棱鏡的膠合面保持水平狀態；上棱鏡定位模塊用于將上棱鏡定位，并使上棱鏡的膠合面與下棱鏡的膠合面貼合。

進一步地，下棱鏡定位模塊包括：定位架，位于底座上，其中，下棱鏡位于定位架的凹槽內；多個下棱鏡定位塊，位于定位架上，用于將下棱鏡進行定位及夾緊；下棱鏡壓塊，位于定位架上，用于在下棱鏡被多個下棱鏡定位塊定位及夾緊之后，壓緊下棱鏡，使其位置固定。

進一步地，上棱鏡定位模塊包括：上棱鏡初始定位模塊，位于下棱鏡定位模塊上，用于對上棱鏡進行初始位置定位；以及，上棱鏡位置調整模塊，位于底座上，包括：夾持機構、位于底座上的調整位移臺及配重，其中，夾持機構位于調整位移臺上，夾持機構一端用于夾持上棱鏡，其另一端與配重連接，其中，調整位移臺用于驅動夾持機構，以調整上棱鏡的位置。

進一步地，夾持機構包括：夾持塊，其上設置配重；與夾持塊連接的夾持臂；多個夾持部，分別位于夾持臂上，用于夾持上棱鏡。

進一步地，上棱鏡初始定位模塊包括：X方向初始定位塊，位于定位架上，且X方向初始定位塊的定位面與下棱鏡的前棱貼合；多個Y方向初始定位塊，分別位于定位架上，且多個Y方向初始定位塊的定位面分別與下棱鏡的側面貼合。

進一步地，多個Y方向初始定位塊上均設置導膠槽，導膠槽用于將溢出的多余膠水導出。

進一步地，夾持部包括：螺紋套，套設于夾持臂的第一內孔中；多個導向桿，分別套設于夾持臂的第二內孔中，并貫穿至夾持塊；調節螺釘，套設于螺紋套內且貫穿至夾持塊，用于支撐夾持塊。

進一步地，多個導向桿與夾持臂之間設置復位彈簧，復位彈簧用于夾持塊的自動復位。

進一步地，該調校裝置還包括：監測模塊，與調整位移臺電連接，用于對調整位移臺電控制，以控制上棱鏡的位置調整。

進一步地，定位架的凹槽為類V型。

本公開的第二個方面提供了一種基于本公開第一個方面提供的調校裝置的調校方法，包括：利用下棱鏡定位模塊將下棱鏡進行定位，并使下棱鏡的膠合面保持水平狀態；在下棱鏡的膠合面上點涂粘合膠；將上棱鏡放置于下棱鏡上，并使上棱鏡的膠合面與下棱鏡的膠合面貼合；以及，采用調整位移臺驅動上棱鏡定位模塊中的上棱鏡位置調整模塊，以調整上棱鏡的位置，使上棱鏡的膠合面與下棱鏡的膠合面完全重疊。