[發明專利]一種調校裝置及其調校方法

在審

• 申請號: 202111428098.7
• 申請日: 2021-11-26
• 公開（公告）號: CN114114603A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 王朋輝;李璟;陳進新;盧增雄;馬敬;齊威
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G02B7/18
• 分類號: G02B7/18
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王文思

1.一種調校裝置，其特征在于，包括：

底座(10)；以及

棱鏡定位模塊(20)，設置于所述底座(10)上，包括：下棱鏡定位模塊(21)和上棱鏡定位模塊(22)，其中，

所述下棱鏡定位模塊(21)用于將下棱鏡進行定位，并使所述下棱鏡的膠合面保持水平狀態；

所述上棱鏡定位模塊(22)用于將上棱鏡定位，并使所述上棱鏡的膠合面與所述下棱鏡的膠合面貼合。

2.根據權利要求1所述的調校裝置，其特征在于，所述下棱鏡定位模塊(21)包括：

定位架(211)，位于所述底座(10)上，其中，所述下棱鏡位于所述定位架(211)的凹槽內；

多個下棱鏡定位塊(212)，位于所述定位架(211)上，用于將所述下棱鏡進行定位及夾緊；以及

下棱鏡壓塊(213)，位于所述定位架(211)上，用于在所述下棱鏡被所述多個下棱鏡定位塊(212)定位及夾緊之后，壓緊所述下棱鏡，使所述下棱鏡位置固定。

3.根據權利要求1所述的調校裝置，其特征在于，所述上棱鏡定位模塊(22)包括：

上棱鏡初始定位模塊，位于所述下棱鏡定位模塊(21)上，用于對所述上棱鏡進行初始位置定位；以及

上棱鏡位置調整模塊(222)，位于所述底座(10)上，包括：夾持機構(2221)、位于所述底座(10)上的調整位移臺(2222)及配重(2223)，其中，所述夾持機構(2221)位于所述調整位移臺(2222)上，所述夾持機構(2221)一端用于夾持所述上棱鏡，其另一端與所述配重(2223)連接；其中，所述調整位移臺(2222)用于驅動所述夾持機構(2221)，以調整所述上棱鏡的位置。

4.根據權利要求3所述的調校裝置，其特征在于，所述夾持機構(2221)包括：

夾持塊(2226)，其上設置所述配重(2223)；

與所述夾持塊(2226)連接的夾持臂(2224)；以及

多個夾持部(2225)，分別位于所述夾持臂(2224)上，用于夾持所述上棱鏡。

5.根據權利要求3所述的調校裝置，其特征在于，所述上棱鏡初始定位模塊包括：

X方向初始定位塊(2211)，位于所述定位架(211)上，且所述X方向初始定位塊(2211)的定位面與所述下棱鏡的前棱貼合；以及

多個Y方向初始定位塊(2212)，分別位于所述定位架(211)上，且所述多個Y方向初始定位塊(2212)的定位面分別與所述下棱鏡的側面貼合。

6.根據權利要求5所述的調校裝置，其特征在于，所述多個Y方向初始定位塊(2212)上均設置導膠槽，所述導膠槽用于將溢出的多余膠水導出。

7.根據權利要求4所述的調校裝置，其特征在于，所述夾持部(2225)包括：

螺紋套(2225II)，套設于所述夾持臂(2224)的第一內孔中；

多個導向桿(2225III)，分別套設于所述夾持臂(2224)的第二內孔中，并貫穿至夾持塊(2225I)；以及

調節螺釘(2225IV)，套設于所述螺紋套(2225II)內且貫穿至所述夾持塊(2225I)，用于支撐所述夾持塊(2225I)。

8.根據權利要求7所述的調校裝置，其特征在于，所述多個導向桿(2225III)與所述夾持臂(2224)之間設置復位彈簧(2225V)，所述復位彈簧(2225V)用于所述夾持塊(2225I)的自動復位。

9.根據權利要求3所述的調校裝置，其特征在于，該調校裝置還包括：

監測模塊，與所述調整位移臺(2222)電連接，用于對所述調整位移臺(2222)電控制，以控制所述上棱鏡的位置調整。

10.根據權利要求2所述的調校裝置，其特征在于，所述定位架(211)的凹槽為類V型。