[發明專利]一種酸性蝕刻液在審
| 申請號： | 202111415342.6 | 申請日： | 2021-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN114016042A | 公開（公告）日： | 2022-02-08 |
| 發明（設計）人： | 葉順閔;林伯璋;蔡孟霖;許邦泓 | 申請（專利權）人： | 滁州鈺順企業管理咨詢合伙企業（有限合伙） |
| 主分類號： | C23G1/02 | 分類號： | C23G1/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京七夏專利代理事務所(普通合伙) 11632 | 代理人： | 劉毓珍 |
| 地址： | 239200 安徽省滁*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 酸性 蝕刻 | ||
【權利要求書】：
1.一種酸性蝕刻液，其特征在于，包括以下組分：
氫氟酸130-170ml；
醋酸6420-6580ml；
硝酸13900-14100ml；
純水4925-5075ml。
2.根據權利要求1所述的一種酸性蝕刻液，其特征在于，包括以下組分：
氫氟酸130ml；
醋酸6420ml；
硝酸13900ml；
純水4925ml。
3.根據權利要求1所述的一種酸性蝕刻液，其特征在于，包括以下組分：
氫氟酸170ml；
醋酸6580ml；
硝酸14100ml；
純水5075ml。
4.根據權利要求1中所述的一種酸性蝕刻液，其特征在于，包括以下組分：
氫氟酸150ml；
醋酸6500ml；
硝酸14000ml；
純水5000ml。
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