[發明專利]負性光刻膠及其制備方法、顯示面板及其制作方法

在審

• 申請號: 202111414854.0
• 申請日: 2021-11-25
• 公開（公告）號: CN114114838A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 姜慶;楊文萍;廖輝華;李榮榮
• 申請（專利權）人: 長沙惠科光電有限公司;惠科股份有限公司
• 主分類號: G03F7/038
• 分類號: G03F7/038;G03F7/004;G09F9/30
• 代理公司: 深圳市隆天聯鼎知識產權代理有限公司 44232
• 代理人: 金云嵋

本申請屬于光刻膠技術領域，具體涉及負性光刻膠及其制備方法、顯示面板及其制作方法。其中，負性光刻膠的制備方法包括：獲取初始堿可溶性樹脂，所述初始堿可溶性樹脂中含有熱引發劑；去除熱引發劑，以制得目標堿可溶性樹脂；將所述目標堿可溶性樹脂與光刻膠基礎材料按照預設比例進行混合，以制得不含熱引發劑的負性光刻膠。本申請通過提純初始堿可溶性樹脂，減少或去除熱引發劑，可延緩或避免熱引發劑產生的小分子積聚在掩膜板上，保證了曝光精度和工廠的產能。

技術領域

本申請屬于光刻膠技術領域，具體涉及一種負性光刻膠及其制備方法、顯示面板及其制作方法。

背景技術

現有的負性光刻膠容易在TFT-LCD的黃光制程中的曝光工藝激發，產生低沸點的有機小分子，小分子升華后遇冷吸附在掩膜板上，隨著被曝光的玻璃基板的增多，產生的小分子積聚在掩膜板上，形成掩膜板缺陷并污染機臺，嚴重影響曝光精度和工廠產能的提升。

發明內容

本申請的目的在于提供一種負性光刻膠及其制備方法、顯示面板及其制作方法，避免負性光刻膠在曝光工藝中產生小分子污染掩膜板。

為了達到上述目的，本申請提供了一種負性光刻膠的制備方法，包括：

獲取初始堿可溶性樹脂，所述初始堿可溶性樹脂包括堿可溶性樹脂和混合在所述堿可溶性樹脂中的熱引發劑；

對所述初始堿可溶性樹脂進行提純處理，以制得目標堿可溶性樹脂，所述目標堿可溶性樹脂內熱引發劑的含量小于所述初始可溶性樹脂內熱引發劑的含量；

將所述目標堿可溶性樹脂與光刻膠基礎材料按照預設比例進行混合，以制得負性光刻膠。

可選的，所述目標堿可溶性樹脂內熱引發劑的含量為0。

可選的，所述初始堿可溶性樹脂在第一預設氣壓下制備而成；

其中，所述對所述初始堿可溶性樹脂進行提純處理，包括：

在第二預設氣壓下對所述初始堿可溶性樹脂進行加熱處理，所述第二預設氣壓小于所述第一預設氣壓；和/或

利于洗脫劑對所述初始堿可溶性樹脂進行洗脫處理。

可選的，所述第二預設壓力為80Pa～140Pa，所述加熱處理對應的加熱溫度為50℃～110℃。

可選的，所述利于洗脫劑對所述初始堿可溶性樹脂進行洗脫處理，包括：

利于多種不同配比的洗脫劑對所述初始堿可溶性樹脂進行多次洗脫處理；

其中，所述洗脫劑包括乙酸乙酯和石油醚，在所述多次洗脫處理中，所述乙酸乙酯與所述石油醚之間的比值按照預設梯度值從75％逐漸減小至0。

可選的，所述獲取初始堿可溶性樹脂，包括：按質量百分比計，將13％～18％的甲基丙烯酸、17％～23％的甲基丙烯酸甲酯、20％～28％的甲基丙烯酸丁酯、17％～23％的甲基丙烯酸芐酯、1％～3％的氫供體試劑、7％～10％熱引發劑和25％～40％的第一溶劑混合，制得所述初始堿可溶性樹脂。

可選的，所述光刻膠基礎材料包括：染料、單體、光引發劑、功能性添加劑和第二溶劑；

其中，所述將所述目標堿可溶性樹脂與光刻膠基礎材料按照預設比例進行混合，包括：按質量百分比計，將9％～11％的所述目標堿可溶性樹脂、5％～8％的所述染料、5.8％～11％的所述單體、0.1％～0.2％的所述光引發劑、0.1％～0.2％的所述功能性添加劑和69％～81％的所述第二溶劑混合，制得所述負性光刻膠。

本申請還提供了一種負性光刻膠，所述負性光刻膠通過以上任意一種所述的負性光刻膠的制備方法制得。

本申請還提供了一種顯示面板的制作方法，包括：