[發明專利]負性光刻膠及其制備方法、顯示面板及其制作方法

在審

• 申請號: 202111414854.0
• 申請日: 2021-11-25
• 公開（公告）號: CN114114838A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 姜慶;楊文萍;廖輝華;李榮榮
• 申請（專利權）人: 長沙惠科光電有限公司;惠科股份有限公司
• 主分類號: G03F7/038
• 分類號: G03F7/038;G03F7/004;G09F9/30
• 代理公司: 深圳市隆天聯鼎知識產權代理有限公司 44232
• 代理人: 金云嵋

1.一種負性光刻膠的制備方法，其特征在于，包括：

獲取初始堿可溶性樹脂，所述初始堿可溶性樹脂包括堿可溶性樹脂和混合在所述堿可溶性樹脂中的熱引發劑；

對所述初始堿可溶性樹脂進行提純處理，以制得目標堿可溶性樹脂，所述目標堿可溶性樹脂內熱引發劑的含量小于所述初始可溶性樹脂內熱引發劑的含量；

將所述目標堿可溶性樹脂與光刻膠基礎材料按照預設比例進行混合，以制得負性光刻膠。

2.根據權利要求1所述的負性光刻膠的制備方法，其特征在于，所述目標堿可溶性樹脂內熱引發劑的含量為0。

3.根據權利要求1所述的負性光刻膠的制備方法，其特征在于，所述初始堿可溶性樹脂在第一預設氣壓下制備而成；

其中，所述對所述初始堿可溶性樹脂進行提純處理，包括：

在第二預設氣壓下對所述初始堿可溶性樹脂進行加熱處理，所述第二預設氣壓小于所述第一預設氣壓；和/或

利于洗脫劑對所述初始堿可溶性樹脂進行洗脫處理。

4.根據權利要求3所述的負性光刻膠的制備方法，其特征在于，所述第二預設壓力為80Pa～140Pa，所述加熱處理對應的加熱溫度為50℃～110℃。

5.根據權利要求3所述的負性光刻膠的制備方法，其特征在于，所述利于洗脫劑對所述初始堿可溶性樹脂進行洗脫處理，包括：

利于多種不同配比的洗脫劑對所述初始堿可溶性樹脂進行多次洗脫處理；

其中，所述洗脫劑包括乙酸乙酯和石油醚，在所述多次洗脫處理中，所述乙酸乙酯與所述石油醚之間的比值按照預設梯度值從75％逐漸減小至0。

6.根據權利要求1所述的負性光刻膠的制備方法，其特征在于，所述獲取初始堿可溶性樹脂，包括：按質量百分比計，將13％～18％的甲基丙烯酸、17％～23％的甲基丙烯酸甲酯、20％～28％的甲基丙烯酸丁酯、17％～23％的甲基丙烯酸芐酯、1％～3％的氫供體試劑、7％～10％熱引發劑和25％～40％的第一溶劑混合，制得所述初始堿可溶性樹脂。

7.根據權利要求1所述的負性光刻膠的制備方法，其特征在于，所述光刻膠基礎材料包括：染料、單體、光引發劑、功能性添加劑和第二溶劑；

其中，所述將所述目標堿可溶性樹脂與光刻膠基礎材料按照預設比例進行混合，包括：按質量百分比計，將9％～11％的所述目標堿可溶性樹脂、5％～8％的所述染料、5.8％～11％的所述單體、0.1％～0.2％的所述光引發劑、0.1％～0.2％的所述功能性添加劑和69％～81％的所述第二溶劑混合，制得所述負性光刻膠。

8.一種負性光刻膠，其特征在于，所述負性光刻膠通過權利要求1～7中任意一項所述的負性光刻膠的制備方法制得。

9.一種顯示面板的制作方法，其特征在于，包括：

在襯底基板上形成負性光刻膠，所述負性光刻膠通過權利要求1～8中任意一項所述的負性光刻膠的制備方法制得；

利用掩膜板對所述負性光刻膠進行圖案化處理，以形成目標功能圖案。

10.一種顯示面板，其特征在于，包括襯底基板和如權利要求9所述的目標功能圖案，所述目標功能圖案形成在所述襯底基板上。