[發明專利]一種自動引線鍵合弧形量化控制方法

在審

• 申請號: 202111412643.3
• 申請日: 2021-11-25
• 公開（公告）號: CN113962189A
• 公開（公告）日: 2022-01-21
• 發明（設計）人: 郝立峰;侯奇峰;曾策;趙雪峰;文澤海;馮國彪
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二十九研究所
• 主分類號: G06F30/394
• 分類號: G06F30/394;G06F30/398;H01L21/48
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 羅強

本發明提供了一種自動引線鍵合弧形量化控制方法，包括以下過程：步驟1、確定引線鍵合工藝中影響引線弧形的設備可控工藝參數；步驟2、基于實驗數據的量化多元插值算法獲取設備可控工藝參數與引線鍵合幾何參數的映射關系，從而實現引線鍵合弧形量化控制。本發明提出的方案通過基于實測數據的引線鍵合弧形控制方法可以對引線的弧形進行數據量化精準控制，提升產品引線鍵合工藝的加工控制精度，改善設計端與制造端的加工一致性。

技術領域

本發明涉及混合集成電路生產自動引線鍵合工藝領域，特別涉及一種自動引線鍵合弧形量化控制方法。

背景技術

混合集成電路產品在其制造工藝過程中廣泛采用引線鍵合技術實現射頻信號的傳輸。混合集成電路產品集成度的提高以及工作頻段的提升，對引線鍵合工序金絲的弧形提出了較高要求，特別是毫米波級別的工作頻段，其射頻傳輸性性能、幅相一致性、駐波性能對引線鍵合工藝中弧形十分敏感，但實際生產制造過程中，自動或半自動的引線鍵合設備均無法直接通過設備加工參數直接精準控制引線鍵合結構的弧形。

隨著電子制造技術的發展，混合集成電路產品的工作頻段越來越高，可達40GHZ以上。引線鍵合工藝對于射頻信號傳輸級聯具有很強的靈活性，其在毫米波級混合集成電路產品制造過程中是不可缺少的工藝手段。對于基于引線鍵合工藝的高頻段(40GHZ以上)射頻信號的傳輸，引線的弧形對其射頻性能有很大影響，但目前針對引線弧形的控制主要是根據人工經驗，通過控制劈刀路徑參數來間接控制引線弧形；尚未有成熟有效的引線弧形量化控制的解決方案。

發明內容

針對現有技術中存在的問題，提供了一種自動引線鍵合弧形量化控制方法，建立引線鍵合工藝中引線弧形的量化控制的通用解決方案，提升引線鍵合工藝的射頻傳輸性能。

本發明采用的技術方案如下：一種自動引線鍵合弧形量化控制方法，其特征在于，包括以下過程：

步驟1、確定引線鍵合工藝中影響引線弧形的設備可控工藝參數；

步驟2、基于實驗數據的量化多元插值算法獲取設備可控工藝參數與引線鍵合幾何參數的映射關系，從而實現引線鍵合弧形量化控制。

進一步的，所述步驟1包括以下子步驟：

步驟1.1、確定引線鍵合設備中可控工藝參數和弧形量化控制參數；

步驟1.2、通過正交試驗分析法確定影響弧形量化控制參數的主要可控工藝參數。

進一步的，所述步驟2包括以下子步驟：

步驟2.1、針對確定的主要可控工藝參數，對單個工藝參數及引線鍵合幾何參數進行控制變量試驗；并基于插值算法獲取單個工藝參數與引線鍵合幾何參數的映射函數；

步驟2.2、根據映射算法影響線性累加原則，得到多個工藝參數與引線鍵合幾何參數的映射關系。

進一步的，所述步驟1.2的具體過程為：在鍵合強度滿足指標需求的前提下，以極差作為可控工藝參數重要度的量化指標，得到設備可控工藝參數對引線鍵合幾何參數的影響度排名，最后參考實際工藝管控需求，根據重要度選取設備的主要可控工藝參數。

進一步的，所述步驟2.1的具體過程為：

假設主要可控工藝參數集合為根據設備加工能力以及控制顆粒度的需求設置工藝參數xⁿ的實驗樣本數量k；

根據已確定的設備工藝加工參數的常用經驗值作為基準參數方案；

針對工藝參數x¹的實驗參數可選集合其中單樣本取值表達式為：

其中，m的確定方式為：存在唯一m，在集合中，使得取最小值；