[發(fā)明專利]一種自動引線鍵合弧形量化控制方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202111412643.3
• 申請日: 2021-11-25
• 公開（公告）號: CN113962189A
• 公開（公告）日: 2022-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郝立峰;侯奇峰;曾策;趙雪峰;文澤海;馮國彪
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第二十九研究所
• 主分類號: G06F30/394
• 分類號: G06F30/394;G06F30/398;H01L21/48
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51214
• 代理人: 羅強

1.一種自動引線鍵合弧形量化控制方法，其特征在于，包括以下過程：

步驟1、確定引線鍵合工藝中影響引線弧形的設(shè)備可控工藝參數(shù)；

步驟2、基于實驗數(shù)據(jù)的量化多元插值算法獲取設(shè)備可控工藝參數(shù)與引線鍵合幾何參數(shù)的映射關(guān)系，從而實現(xiàn)引線鍵合弧形量化控制；

所述步驟2包括以下子步驟：

步驟2.1、針對確定的主要可控工藝參數(shù)，對單個工藝參數(shù)及引線鍵合幾何參數(shù)進行控制變量試驗；并基于插值算法獲取單個工藝參數(shù)與引線鍵合幾何參數(shù)的映射函數(shù)；

步驟2.2、根據(jù)映射算法影響線性累加原則，得到多個工藝參數(shù)與引線鍵合幾何參數(shù)的映射關(guān)系；

所述步驟2.1的具體過程為：

假設(shè)主要可控工藝參數(shù)集合為根據(jù)設(shè)備加工能力以及控制顆粒度的需求設(shè)置工藝參數(shù)xⁿ的實驗樣本數(shù)量k；

根據(jù)已確定的設(shè)備工藝加工參數(shù)的常用經(jīng)驗值作為基準參數(shù)方案；

針對工藝參數(shù)x¹的實驗參數(shù)可選集合其中單樣本取值表達式為：

其中，m的確定方式為：存在唯一m，在集合中，使得取最小值；

最終確定工藝參數(shù)x¹樣本數(shù)為k個實驗方案其中，j＝1,2...k，根據(jù)實驗方案得到對應(yīng)的引線鍵合幾何參數(shù)的實際加工數(shù)值集合

基于多項式插值算法，確定適當(dāng)插值維度數(shù)建立工藝參數(shù)x¹與引線鍵合幾何參數(shù)之間的多項式映射函數(shù)f(Δx¹),使得其中為設(shè)備加工工藝參數(shù)與該參數(shù)的樣本基準參數(shù)之差；按照與工藝參數(shù)x¹相同的流程分別建立起工藝參數(shù)x²,…,xⁿ和弧高參數(shù)H之間的映射函數(shù)f(Δx²),...,f(Δxⁿ)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動引線鍵合弧形量化控制方法，其特征在于，所述步驟1包括以下子步驟：

步驟1.1、確定引線鍵合設(shè)備中可控工藝參數(shù)和弧形量化控制參數(shù)；

步驟1.2、通過正交試驗分析法確定影響弧形量化控制參數(shù)的主要可控工藝參數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動引線鍵合弧形量化控制方法，其特征在于，所述步驟1.2的具體過程為：在鍵合強度滿足指標需求的前提下，以極差作為可控工藝參數(shù)重要度的量化指標，得到設(shè)備可控工藝參數(shù)對引線鍵合幾何參數(shù)的影響度排名，最后參考實際工藝管控需求，根據(jù)重要度選取設(shè)備的主要可控工藝參數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動引線鍵合弧形量化控制方法，其特征在于，所述步驟2.2的具體過程為：按照參數(shù)影響度線性疊加的原則，得到對于任意可控工藝參數(shù)集合和引線鍵合幾何參數(shù)H之間的映射關(guān)系為：

其中，