[發(fā)明專利]一種用于晶圓測試的高頻探針卡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111390168.4
• 申請日: 2021-11-22
• 公開（公告）號: CN114034895B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鹿時領(lǐng);湯慧敏
• 申請（專利權(quán)）人: 普鑠電子（上海）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;H01L21/66
• 代理公司: 上海博杰專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31358
• 代理人: 朱永梅

1.一種用于晶圓測試的高頻探針卡，包括連接座，其特征在于，所述連接座上滑動安裝有面板，所述連接座上固定安裝有連接測試機(jī)和集成芯片信號接點(diǎn)的探針組，所述探針組貫穿面板并和面板滑動連接在一起，所述面板上可拆卸安裝有矯正組件，所述矯正組件位于探針組的外側(cè)，所述矯正組件安裝于面板上端時對探針組工作狀態(tài)檢測，所述矯正組件拆卸時對探針組進(jìn)行捋直與矯正；

所述矯正組件包括矩形框，所述矩形框內(nèi)固定安裝有對損壞探針組檢測的指示組件，所述指示組件包括矩形板，所述矩形板上固定安裝有能夠?qū)澢奶结樈M進(jìn)行矯直的多個夾持組件，所述連接座上開設(shè)有凹槽，所述面板和凹槽的內(nèi)壁滑動連接在一起，所述凹槽的底部內(nèi)壁上固定安裝有多個導(dǎo)柱和多個彈簧，多個彈簧的頂端均和面板可拆卸式的連接在一起，所述面板上開設(shè)有和多個導(dǎo)柱相適配的導(dǎo)孔；

所述探針組包括和凹槽底部內(nèi)壁固定連接在一起的PCB板，所述PCB板上開設(shè)有多個呈線性分布的矩形槽，所述矩形槽內(nèi)可拆卸式的安裝有探針模組，所述探針模組包括條形板，所述條形板上固定安裝有多個呈線性分布的連接探針；

所述條形板包括和條形板可拆卸式連接在一起的安裝部，所述安裝部上固定安裝有彈性部，所述彈性部遠(yuǎn)離安裝部的一端固定安裝有檢測部，所述檢測部和探針孔的內(nèi)部滑動連接在一起；

所述夾持組件包括對稱固定安裝在探針孔兩側(cè)內(nèi)壁上的矯正塊，兩個矯正塊靠近接線柱的一側(cè)均開設(shè)有斜坡口，且兩個矯正塊之間的間距和檢測部的厚度相等，且兩個矯正塊相互靠近的一側(cè)均均勻的分布有防滑顆粒；

所述矩形板上開設(shè)有多個和檢測部相適配的探針孔，所述矩形板上固定安裝有和多個探針孔數(shù)量相等的燈珠，所述燈珠上設(shè)有兩個接線柱，兩個接線柱延伸至對應(yīng)的探針孔內(nèi)，所述連接探針在正常狀態(tài)下與兩個接線柱均接觸，所述連接探針插接于探針孔內(nèi)時與兩個接線柱電性連接，且所述連接探針、兩個接線柱、燈珠形成閉合通路。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓測試的高頻探針卡，其特征在于，所述指示組件完全位于矩形框內(nèi)，所述指示組件的頂部和矩形框的頂部之間形成定位部，所述面板的頂部中心位置開設(shè)有環(huán)狀槽，所述矩形框和環(huán)狀槽可拆卸式的連接在一起。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓測試的高頻探針卡，其特征在于，所述探針孔靠近面板的兩側(cè)內(nèi)壁下方均開設(shè)有弧形口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓測試的高頻探針卡，其特征在于，所述面板環(huán)狀槽上開設(shè)有穿過口，所述穿過口位于環(huán)狀槽內(nèi)側(cè)，所述穿過口包括矩陣式開設(shè)在面板上的多個通過孔，所述通過孔的內(nèi)壁上固定安裝有柔性墊圈，所述檢測部貫穿柔性墊圈和通過孔并和柔性墊圈的內(nèi)壁滑動連接在一起。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓測試的高頻探針卡，其特征在于，所述面板、矩形框和矩形板均為絕緣材質(zhì)。