[發(fā)明專利]一種用于晶圓測試的高頻探針卡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111390168.4
• 申請日: 2021-11-22
• 公開（公告）號: CN114034895B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鹿時領(lǐng);湯慧敏
• 申請（專利權(quán)）人: 普鑠電子（上海）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;H01L21/66
• 代理公司: 上海博杰專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31358
• 代理人: 朱永梅

本發(fā)明屬于集成電路測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種用于晶圓測試的高頻探針卡，包括連接座，所述連接座上滑動安裝有面板，所述連接座上固定安裝有連接測試機和集成芯片信號接點的探針組，所述探針組貫穿面板并和面板滑動連接在一起，所述面板上可拆卸安裝有矯正組件，所述矯正組件位于探針組的外側(cè)。本發(fā)明當(dāng)探針組的某一檢測部彎曲或者磨損嚴(yán)重而和集成芯片的某一個信號接點無法正常接觸時，指示組件將發(fā)出指示，從而提醒使用者對探針組進行維護，確保整個探針組能夠正常的導(dǎo)通測試機和集成芯片；矯正組件能夠?qū)δp或彎曲嚴(yán)重的檢測部進行矯正，確保自身能夠?qū)y試機和集成芯片起到一個導(dǎo)通的作用，無需整體進行更換，維護成本較低。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于晶圓測試的高頻探針卡。

背景技術(shù)

自智能手機問世以來，移動數(shù)據(jù)流量呈爆炸式增長，隨著日后進一步智能化、以使用者為中心的終端設(shè)備和設(shè)備間通信終端的出現(xiàn)，這種趨勢將進一步加速，不斷追求更快的速度，通信技術(shù)變化對表面聲波濾波器芯片的要求很大，比起手機出貨量，隨著通信時代的發(fā)展變化，要覆蓋的頻段也隨之增加，因此必須搭載表面聲波濾波器芯片，且所需搭載量也成比例增加，表面聲波濾波器是智能手機上搭載的射頻、Wi-Fi、藍(lán)牙、國家間移動通信認(rèn)證等操作中必不可少的部件，而高頻測試探針卡就是用以檢測此類芯片是否存在缺陷的一種裝置。

但是，測試探針卡上的探針在長時間測試操作過程當(dāng)中很容易出現(xiàn)磨損甚至彎曲嚴(yán)重的情況，從而導(dǎo)致探針無法正常的在測試機和集成芯片之間起到一個電性連接的目的，而且探針的體積較小，彎曲和磨損的嚴(yán)重的探針視覺很難檢查出來，很容易對后續(xù)集成芯片測試結(jié)果造成影響，同時現(xiàn)有的測試探針出現(xiàn)損壞時，則需要對整體進行更換，成本較高。

因此，我們提出了一種用于晶圓測試的高頻探針卡用于解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的一種用于晶圓測試的高頻探針卡。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：一種用于晶圓測試的高頻探針卡，包括連接座，所述連接座上滑動安裝有面板，所述連接座上固定安裝有連接測試機和集成芯片信號接點的探針組，所述探針組貫穿面板并和面板滑動連接在一起，所述面板上可拆卸安裝有矯正組件，所述矯正組件位于探針組的外側(cè)，所述矯正組件安裝于面板上端時對探針組工作狀態(tài)檢測，所述矯正組件拆卸時對探針組進行捋直與矯正。

優(yōu)選的，所述矯正組件包括矩形框，所述矩形框內(nèi)固定安裝有對損壞探針組檢測的指示組件，所述指示組件包括矩形板，所述矩形板上固定安裝有能夠?qū)澢奶结樈M進行矯直的多個夾持組件，所述連接座上開設(shè)有凹槽，所述面板和凹槽的內(nèi)壁滑動連接在一起，所述凹槽的底部內(nèi)壁上固定安裝有多個導(dǎo)柱和多個彈簧，多個彈簧的頂端均和面板可拆卸式的連接在一起，所述面板上開設(shè)有和多個導(dǎo)柱相適配的導(dǎo)孔。

優(yōu)選的，所述指示組件完全位于矩形框內(nèi)，所述指示組件的頂部和矩形框的頂部之間形成定位部，所述面板的頂部中心位置開設(shè)有環(huán)狀槽，所述矩形框和環(huán)狀槽可拆卸式的連接在一起。

優(yōu)選的，所述探針組包括和凹槽底部內(nèi)壁固定連接在一起的PCB板，所述PCB板上開設(shè)有多個呈線性分布的矩形槽，所述矩形槽內(nèi)可拆卸式的安裝有探針模組，所述探針模組包括條形板，所述條形板上固定安裝有多個呈線性分布的連接探針。

優(yōu)選的，所述條形板包括和條形板可拆卸式連接在一起的安裝部，所述安裝部上固定安裝有彈性部，所述彈性部遠(yuǎn)離安裝部的一端固定安裝有檢測部，所述檢測部和探針孔的內(nèi)部滑動連接在一起。

優(yōu)選的，所述矩形板上開設(shè)有多個和檢測部相適配的探針孔，所述矩形板上固定安裝有和多個探針孔數(shù)量相等的燈珠，所述燈珠上設(shè)有兩個接線柱，兩個接線柱延伸至對應(yīng)的探針孔內(nèi)，所述連接探針在正常狀態(tài)下與兩個接線柱均接觸，所述連接探針插接于探針孔內(nèi)時與兩個接線柱電性連接，且所述連接探針、兩個接線柱、燈珠形成閉合通路。