[發(fā)明專利]基于可編程輸入電壓的靜電吸附快速釋放方法及系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111364484.4
• 申請(qǐng)日: 2021-11-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114121765A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 谷國(guó)迎;閆沛楠;鄒江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海交通大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 上海段和段律師事務(wù)所 31334
• 代理人: 梁勤偉

本發(fā)明提供了一種基于可編程輸入電壓的靜電吸附快速釋放方法及系統(tǒng)，包括：獲取靜電吸附設(shè)備的靜電吸附電壓，向靜電吸附設(shè)備施加與靜電吸附電壓極性相反的電壓，抵消靜電吸附設(shè)備的殘余電荷；向靜電吸附設(shè)備重復(fù)加載電壓抵消靜電吸附設(shè)備上新生殘余電荷。本發(fā)明申請(qǐng)的基于可編程輸入電壓的靜電吸附快速釋放方法，由于輸入電壓的極性變化，可實(shí)現(xiàn)靜電吸附的快速釋放，輸入電壓的可編程特性提供了豐富的可用波形以及參數(shù)選擇，由于采用輸入電壓控制的方法，因此不附加任何外部機(jī)械裝置，提升了靜電吸附的應(yīng)用潛力。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及靜電吸附領(lǐng)域，具體地，涉及一種基于可編程輸入電壓的靜電吸附快速釋放方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

集成電路以及芯片制造技術(shù)的發(fā)展對(duì)于輕質(zhì)元件的制造提出了更高的要求，而靜電吸附由于其響應(yīng)時(shí)間快，可吸附結(jié)構(gòu)多樣等優(yōu)勢(shì)成為了吸附輕質(zhì)元件的新興技術(shù)。但是同時(shí)由于靜電吸附釋放過(guò)程中會(huì)在物件上產(chǎn)生殘余電荷，因此靜電吸附的釋放過(guò)程在不外加干預(yù)的情況下是相對(duì)緩慢的，也限制了靜電吸附的潛在應(yīng)用價(jià)值。

現(xiàn)有對(duì)于靜電吸附快速釋放的過(guò)程研究聚焦于如何消除靜電，但現(xiàn)有的消除靜電方法大多需要附加額外的機(jī)械裝置，造成了機(jī)構(gòu)本身的復(fù)雜性。例如：

專利CN112897187A公開(kāi)了一種可消除靜電吸附的彩色印刷用紙張輸送裝置，通過(guò)調(diào)節(jié)空氣濕度消除靜電以防止紙張間的靜電吸附；但空氣濕度調(diào)節(jié)對(duì)于靜電吸附成功率影響顯著，限制了其在工業(yè)生產(chǎn)中的應(yīng)用。

專利CN113151950A公開(kāi)了一種防止紡織機(jī)內(nèi)部紡織線靜電吸附裝置，通過(guò)靜電消除棒互相接近，靜電消除棒電離空氣產(chǎn)生正負(fù)離子進(jìn)而消除靜電，但機(jī)構(gòu)零件繁雜，體積較大。

因此，有必要研發(fā)一種靜電吸附的釋放方法，使得在盡可能消除靜電吸附釋放過(guò)程中的殘余電荷從而實(shí)現(xiàn)快速釋放的同時(shí)，又保持整體機(jī)構(gòu)的簡(jiǎn)單性。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本發(fā)明的目的是提供一種基于可編程輸入電壓的靜電吸附快速釋放方法及系統(tǒng)。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種基于可編程輸入電壓的靜電吸附快速釋放方法，包括以下步驟：

步驟S1：獲取靜電吸附設(shè)備的靜電吸附電壓，向靜電吸附設(shè)備施加與靜電吸附電壓極性相反的電壓，抵消靜電吸附設(shè)備的殘余電荷；

步驟S2：向靜電吸附設(shè)備重復(fù)加載電壓抵消靜電吸附設(shè)備上新生殘余電荷。

優(yōu)選的，所述加載的電壓幅值隨時(shí)間而改變，幅值變化方式通過(guò)編程進(jìn)行控制。

優(yōu)選的，所述加載的電壓波形包括正弦波、三角波和方波，輸出的波形通過(guò)編程進(jìn)行控制。

優(yōu)選的，向靜電吸附設(shè)備施加的電壓初始幅值在靜電吸附設(shè)備的工作電壓范圍內(nèi)，且施加的電壓幅值不變或幅值呈衰減的趨勢(shì)。

優(yōu)選的，向靜電吸附設(shè)備施加的電壓波形時(shí)長(zhǎng)通過(guò)編程進(jìn)行控制。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種基于可編程輸入電壓的靜電吸附快速釋放系統(tǒng)，包括以下模塊：

模塊M1：獲取靜電吸附設(shè)備的靜電吸附電壓，向靜電吸附設(shè)備施加與靜電吸附電壓極性相反的電壓，抵消靜電吸附設(shè)備的殘余電荷；

模塊M2：向靜電吸附設(shè)備重復(fù)加載電壓抵消靜電吸附設(shè)備上新生殘余電荷。

優(yōu)選的，所述加載的電壓幅值隨時(shí)間而改變，幅值變化方式通過(guò)編程進(jìn)行控制。

優(yōu)選的，所述加載的電壓波形包括正弦波、三角波和方波，輸出的波形通過(guò)編程進(jìn)行控制。

優(yōu)選的，向靜電吸附設(shè)備施加的電壓初始幅值在靜電吸附設(shè)備的工作電壓范圍內(nèi)，且施加的電壓幅值不變或幅值呈衰減的趨勢(shì)。

優(yōu)選的，向靜電吸附設(shè)備施加的電壓波形時(shí)長(zhǎng)通過(guò)編程進(jìn)行控制。