[發(fā)明專利]電極及其制備方法、發(fā)光器件、顯示面板

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111363997.3
• 申請(qǐng)日: 2021-11-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114068845A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 全威
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/52
• 分類號(hào): H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 王輝;闞梓瑄

本公開(kāi)是關(guān)于一種電極及其制備方法、發(fā)光器件、顯示面板，電極包括至少一層第一透明導(dǎo)電膜層和至少一層第二透明導(dǎo)電膜層，第一透明導(dǎo)電膜層與第二透明導(dǎo)電膜層交替疊設(shè)。第二透明導(dǎo)電膜層的折射率小于第一透明導(dǎo)電膜層的折射率，通過(guò)不同折射率的透明導(dǎo)電膜層形成高低折射率的諧振腔，可以提升發(fā)光器件整體的出光效果。第二透明導(dǎo)電膜層與第一透明導(dǎo)電膜層的材質(zhì)相同，不同折射率的透明導(dǎo)電膜的材質(zhì)相同，可以簡(jiǎn)化電極的制備工藝。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開(kāi)涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種電極及其制備方法、發(fā)光器件、顯示面板。

背景技術(shù)

使用OLED器件作為顯示材料的有機(jī)發(fā)光顯示面板具有自發(fā)光、廣視角、高對(duì)比度等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于手機(jī)、電視、筆記本電腦等產(chǎn)品智能產(chǎn)品中。

目前，OLED器件的結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，包含多種功能層，造成光在其中傳播時(shí)會(huì)阻礙光取出。現(xiàn)有發(fā)光器件的電極的光損耗多，出光效率低，影響發(fā)光器件的發(fā)光效果。

需要說(shuō)明的是，在上述背景技術(shù)部分公開(kāi)的信息僅用于加強(qiáng)對(duì)本公開(kāi)的背景的理解，因此可以包括不構(gòu)成對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

發(fā)明內(nèi)容

本公開(kāi)的目的在于克服現(xiàn)有發(fā)光器件的電極的光損耗多，出光效率低的問(wèn)題，提供一種電極及其制備方法、發(fā)光器件、顯示面板。

根據(jù)本公開(kāi)的一個(gè)方面，提供一種電極，包括至少一層第一透明導(dǎo)電膜層和至少一層第二透明導(dǎo)電膜層，第二透明導(dǎo)電膜層與第一透明導(dǎo)電膜層的材質(zhì)相同，第二透明導(dǎo)電膜層的折射率小于第一透明導(dǎo)電膜層的折射率，第一透明導(dǎo)電膜層與第二透明導(dǎo)電膜層交替疊設(shè)。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，電極的出光面為光散射面。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，光散射面設(shè)置為微觀結(jié)構(gòu)為凹凸不平的起伏結(jié)構(gòu)。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，第一透明導(dǎo)電膜層的折射率大于2，第二透明導(dǎo)電膜層的折射率小于1.8。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，第一透明導(dǎo)電膜層和第二透明導(dǎo)電膜層均為氧化銦鋅薄膜。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，第一透明導(dǎo)電膜層和第二透明導(dǎo)電膜層的層數(shù)相同。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，第一透明導(dǎo)電膜層的厚度和第二透明導(dǎo)電膜層的厚度均大于10納米小于50納米。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，電極為陰極。

根據(jù)本公開(kāi)的另一個(gè)方面，提供一種電極的制備方法，包括：

形成至少一層第一透明導(dǎo)電膜層；

形成至少一層第二透明導(dǎo)電膜層，第二透明導(dǎo)電膜層與第一透明導(dǎo)電膜層的材質(zhì)相同，第二透明導(dǎo)電膜層的折射率小于第一透明導(dǎo)電膜層的折射率；

第一透明導(dǎo)電膜層和第二透明導(dǎo)電膜層交替疊設(shè)。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，該方法還包括：利用等離子體轟擊電極的出光面，形成微觀結(jié)構(gòu)為凹凸不平的起伏結(jié)構(gòu)。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，等離子體為氬等離子體。

在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例中，第一透明導(dǎo)電膜層的形成條件為：功率大于3kw，氣壓小于0.6pa，反應(yīng)氣為Ar；第二透明導(dǎo)電膜層的形成條件為：功率小于0.5kw，氣壓大于1pa，反應(yīng)氣Ar和O₂。

根據(jù)本公開(kāi)的又一個(gè)方面，提供一種發(fā)光器件，包括：

本公開(kāi)的一個(gè)方面所述的電極，該電極為第一電極；

第二電極；

發(fā)光層，發(fā)光層設(shè)置于第一電極與第二電極之間。