[發(fā)明專利]電極及其制備方法、發(fā)光器件、顯示面板

在審

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• 申請日: 2021-11-17
• 公開（公告）號: CN114068845A
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 全威
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 王輝;闞梓瑄

1.一種電極，其特征在于，包括：

至少一層第一透明導(dǎo)電膜層；

至少一層第二透明導(dǎo)電膜層，所述第二透明導(dǎo)電膜層與所述第一透明導(dǎo)電膜層的材質(zhì)相同，所述第二透明導(dǎo)電膜層的折射率小于所述第一透明導(dǎo)電膜層的折射率；

所述第一透明導(dǎo)電膜層與所述第二透明導(dǎo)電膜層交替疊設(shè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其特征在于，所述電極的出光面為光散射面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電極，其特征在于，所述光散射面的微觀結(jié)構(gòu)為凹凸不平的起伏結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其特征在于，所述第一透明導(dǎo)電膜層的折射率大于2，所述第二透明導(dǎo)電膜層的折射率小于1.8。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其特征在于，所述第一透明導(dǎo)電膜層和所述第二透明導(dǎo)電膜層均為氧化銦鋅薄膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其特征在于，所述第一透明導(dǎo)電膜層和第二透明導(dǎo)電膜層的層數(shù)相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其特征在于，所述第一透明導(dǎo)電膜層的厚度和所述第二透明導(dǎo)電膜層的厚度均大于10納米小于50納米。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其特征在于，所述電極為陰極。

9.一種電極的制備方法，其特征在于，包括：

形成至少一層第一透明導(dǎo)電膜層；

形成至少一層第二透明導(dǎo)電膜層，所述第二透明導(dǎo)電膜層與所述第一透明導(dǎo)電膜層的材質(zhì)相同，所述第二透明導(dǎo)電膜層的折射率小于所述第一透明導(dǎo)電膜層的折射率；

所述第一透明導(dǎo)電膜層和第二透明導(dǎo)電膜層交替疊設(shè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電極的制備方法，其特征在于，所述方法還包括：利用等離子體轟擊所述電極的出光面，形成的微觀結(jié)構(gòu)為凹凸不平的起伏結(jié)構(gòu)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電極的制備方法，其特征在于，所述等離子體為氬等離子體。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電極的制備方法，其特征在于，所述第一透明導(dǎo)電膜層的形成條件為：功率大于3kw，氣壓小于0.6pa，反應(yīng)氣為Ar；所述第二透明導(dǎo)電膜層的形成條件為：功率小于0.5kw，氣壓大于1pa，反應(yīng)氣Ar和O₂。

13.一種發(fā)光器件，其特征在于，包括：

權(quán)利要求1至8任一項所述的電極，所述電極為第一電極；

第二電極；

發(fā)光層，所述發(fā)光層設(shè)置于所述第一電極與所述第二電極之間。

14.一種顯示面板，其特征在于，包括權(quán)利要求13所述的發(fā)光器件。