[發明專利]檢測裝置及其檢測方法

在審

• 申請號: 202111362129.3
• 申請日: 2021-11-17
• 公開（公告）號: CN113899959A
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 項久峻;黃美玉;袁凱;梅文棟
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G01R29/12
• 分類號: G01R29/12;H05F3/04;H01L21/66
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 龔素素

本發明提供一種檢測裝置及其檢測方法，涉及檢測技術領域，為解決在將顯示基板從檢測裝置上取下時，容易產生靜電不良的問題。所述檢測裝置包括：機臺和多個支撐針；支撐針能夠在支撐狀態和非支撐狀態之間切換；在支撐狀態下，所述支撐針伸出所述機臺撐起待測基板，在非支撐狀態下，所述支撐針與所述待測基板分離；所述支撐針包括：支撐臂和放電結構；所述支撐臂限定出第一腔室；所述支撐臂上設置有進氣口和出氣口，所述進氣口和所述出氣口均與所述第一腔室連通，在所述支撐狀態下能夠控制所述出氣口的高度高于所述機臺的表面的高度；所述放電結構的至少部分位于所述第一腔室內，所述放電結構包括放電部，所述放電部的放電端從所述出氣口伸出。

技術領域

本發明涉及檢測技術領域，尤其涉及一種檢測裝置及其檢測方法。

背景技術

在顯示面板制造行業中，靜電是行業內最難解決的問題之一。顯示面板制作過程中，各部件摩擦或者以各種能量，如動能、位能、熱能等形式作用，會使正負電荷不平衡，從而產生靜電現象。

在對顯示基板完成檢測，要將顯示基板從檢測裝置上取下時，檢測裝置中的支撐結構會將顯示基板撐起，實現顯示基板與檢測裝置的機臺表面分離，然后將顯示基板取下。但是整個取下過程中，容易產生靜電不良。

發明內容

本發明的目的在于提供一種檢測裝置及其檢測方法，用于解決在將顯示基板從檢測裝置上取下時，容易產生靜電不良的問題。

為了實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

本發明的第一方面提供一種檢測裝置，包括：機臺和多個支撐針；所述支撐針能夠在支撐狀態和非支撐狀態之間切換；在所述支撐狀態下，所述支撐針伸出所述機臺撐起待測基板，在所述非支撐狀態下，所述支撐針與所述待測基板分離；

所述支撐針包括：支撐臂和放電結構；

所述支撐臂限定出第一腔室；所述支撐臂上設置有進氣口和出氣口，所述進氣口和所述出氣口均與所述第一腔室連通，在所述支撐狀態下能夠控制所述出氣口的高度高于所述機臺的表面的高度；

所述放電結構的至少部分位于所述第一腔室內，所述放電結構包括放電部，所述放電部的放電端從所述出氣口伸出。

可選的，所述出氣口中設置有氣體噴嘴，所述放電部的放電端從所述氣體噴嘴伸出；所述檢測裝置還包括供電單元；所述放電結構還包括：第一信號線和第一連接端子；

所述第一信號線位于所述第一腔室內，所述第一連接端子貫穿所述支撐臂，所述第一信號線的第一端與所述放電部的非放電端耦接，所述第一信號線的第二端與所述第一連接端子耦接，所述第一連接端子與所述供電單元耦接。

可選的，所述檢測裝置還包括供電單元；所述放電結構包括：

殼體，所述殼體內包括氣道，所述氣道的進氣端與所述進氣口連通，所述殼體上設置有電源信號接入端子；

噴頭，所述噴頭的至少部分位于所述殼體內，所述噴頭與所述氣道的出氣端連通，且所述噴頭與所述出氣口連通；所述放電部的放電端從所述噴頭伸出，所述放電部的非放電端與所述電源信號接入端耦接；

第一信號線，所述第一信號線位于所述第一腔室內；

第一連接端子，所述第一連接端子貫穿所述支撐臂；所述第一信號線的第一端與所述電源信號接入端耦接，所述第一信號線的第二端與所述第一連接端子耦接，所述第一連接端子與所述供電單元耦接。

可選的，所述檢測裝置還包括：導氣管和供氣單元，所述導氣管的輸入端與所述供氣單元耦接，所述導氣管的輸出端與所述多個支撐針包括的多個支撐臂上的進氣口分別耦接。

可選的，所述支撐針還包括支撐頭，所述支撐頭可拆卸的設置于所述支撐臂朝向所述待測基板的頂端。

可選的，所述檢測裝置還包括：