[發(fā)明專利]檢測裝置及其檢測方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111362129.3
• 申請日: 2021-11-17
• 公開（公告）號(hào): CN113899959A
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 項(xiàng)久峻;黃美玉;袁凱;梅文棟
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01R29/12
• 分類號(hào): G01R29/12;H05F3/04;H01L21/66
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 龔素素

1.一種檢測裝置，其特征在于，包括：機(jī)臺(tái)和多個(gè)支撐針；所述支撐針能夠在支撐狀態(tài)和非支撐狀態(tài)之間切換；在所述支撐狀態(tài)下，所述支撐針伸出所述機(jī)臺(tái)撐起待測基板，在所述非支撐狀態(tài)下，所述支撐針與所述待測基板分離；

所述支撐針包括：支撐臂和放電結(jié)構(gòu)；

所述支撐臂限定出第一腔室；所述支撐臂上設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口，所述進(jìn)氣口和所述出氣口均與所述第一腔室連通，在所述支撐狀態(tài)下能夠控制所述出氣口的高度高于所述機(jī)臺(tái)的表面的高度；

所述放電結(jié)構(gòu)的至少部分位于所述第一腔室內(nèi)，所述放電結(jié)構(gòu)包括放電部，所述放電部的放電端從所述出氣口伸出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述出氣口中設(shè)置有氣體噴嘴，所述放電部的放電端從所述氣體噴嘴伸出；所述檢測裝置還包括供電單元；所述放電結(jié)構(gòu)還包括：第一信號(hào)線和第一連接端子；

所述第一信號(hào)線位于所述第一腔室內(nèi)，所述第一連接端子貫穿所述支撐臂，所述第一信號(hào)線的第一端與所述放電部的非放電端耦接，所述第一信號(hào)線的第二端與所述第一連接端子耦接，所述第一連接端子與所述供電單元耦接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括供電單元；所述放電結(jié)構(gòu)包括：

殼體，所述殼體內(nèi)包括氣道，所述氣道的進(jìn)氣端與所述進(jìn)氣口連通，所述殼體上設(shè)置有電源信號(hào)接入端子；

噴頭，所述噴頭的至少部分位于所述殼體內(nèi)，所述噴頭與所述氣道的出氣端連通，且所述噴頭與所述出氣口連通；所述放電部的放電端從所述噴頭伸出，所述放電部的非放電端與所述電源信號(hào)接入端耦接；

第一信號(hào)線，所述第一信號(hào)線位于所述第一腔室內(nèi)；

第一連接端子，所述第一連接端子貫穿所述支撐臂；所述第一信號(hào)線的第一端與所述電源信號(hào)接入端耦接，所述第一信號(hào)線的第二端與所述第一連接端子耦接，所述第一連接端子與所述供電單元耦接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的檢測裝置，其特征在于，

所述檢測裝置還包括：導(dǎo)氣管和供氣單元，所述導(dǎo)氣管的輸入端與所述供氣單元耦接，所述導(dǎo)氣管的輸出端與所述多個(gè)支撐針包括的多個(gè)支撐臂上的進(jìn)氣口分別耦接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述支撐針還包括支撐頭，所述支撐頭可拆卸的設(shè)置于所述支撐臂朝向所述待測基板的頂端。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括：

多個(gè)檢測針，所述檢測針能夠在檢測狀態(tài)和非檢測狀態(tài)之間切換；在所述檢測狀態(tài)下，所述檢測針的檢測面的高度高于或等于所述機(jī)臺(tái)的表面的高度，在所述非檢測狀態(tài)下，所述檢測針的檢測面的高度低于所述機(jī)臺(tái)的表面的高度；

所述檢測針包括：檢測臂和靜電檢測模塊；

所述靜電檢測模塊包括：檢測頭，所述檢測頭可拆卸的設(shè)置于所述檢測臂朝向所述待測基板的頂端，所述檢測頭上設(shè)置有靜電傳感器，所述靜電傳感器包括所述檢測面；

所述檢測裝置還包括：控制電路，所述控制電路分別與所述靜電傳感器，所述供氣單元和所述供電單元耦接，用于根據(jù)所述靜電傳感器感測到的信號(hào)，控制所述供氣單元的供氣量以及控制所述供電單元的供電量。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，

所述檢測臂限定出第二腔室；所述檢測臂上設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口，該進(jìn)氣口和該出氣口均與所述第二腔室連通；

所述靜電檢測模塊還包括：第二信號(hào)線和第二連接端子；所述第二信號(hào)線的至少部分位于所述第二腔室內(nèi)，所述第二信號(hào)線的第一端穿過所述出氣口與所述靜電傳感器耦接，所述第二信號(hào)線的第二端與第二連接端子耦接；所述第二連接端子貫穿所述檢測臂，所述第二連接端子還與所述控制電路耦接。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，所述控制電路還與云端服務(wù)器耦接，用于將所述靜電傳感器感測到的信號(hào)傳輸至云端服務(wù)器。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，所述多個(gè)支撐針與所述多個(gè)檢測針均勻分布。