[發明專利]立式熱處理設備

在審

• 申請號: 202111348632.3
• 申請日: 2021-11-15
• 公開（公告）號: CN114061316A
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 方洋;閆士泉
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;魏艷新

本發明提供一種立式熱處理設備，包括：具有爐口的爐體；爐門組件，所述爐門組件用于開啟或關閉所述爐體的爐口；具有輸出軸的驅動器，所述驅動器用于驅動所述輸出軸繞自身軸線旋轉；傳動組件，所述傳動組件與所述驅動器的輸出軸和所述爐門組件固定連接，用于在所述驅動器的驅動作用下，帶動所述爐門組件繞所述輸出軸的軸線旋轉；導向組件，所述導向組件用于在所述爐門組件旋轉至預設位置時，控制所述傳動組件將所述輸出軸的旋轉運動轉換為升降運動，以帶動所述爐門組件升降。本發明能夠簡化立式熱處理設備的整體結構，降低成本。

技術領域

本發明涉及半導體生產領域，尤其涉及一種立式熱處理設備。

背景技術

立式熱處理設備是集成電路制造環節中的一種重要設備。立式熱處理設備的爐體在進行升溫、降溫、晶圓裝載等過程中，需要使用爐門對爐體的爐口進行封閉，其目的是為了減少爐體熱量散失、降低爐體向裝載區的熱輻射、保護裝載區元器件等。

當開啟立式熱處理設備的爐門時，需要控制爐門先下降，然后旋轉一定角度，避開爐體的爐口。當關閉爐門時，需要先將爐門旋轉至與爐體同軸，然后上升爐門使之與爐體完全貼合。在爐門關閉后，需要保證爐門不發生松脫。

目前的立式熱處理設備中，使用兩個氣缸分別控制爐門的升降和旋轉。這種控制方式涉及到的零部件較多、結構復雜、控制復雜、成本較高。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中的技術問題之一，提出了一種立式熱處理設備。

本發明提供了一種立式熱處理設備，包括：

具有爐口的爐體；

爐門組件，所述爐門組件用于開啟或關閉所述爐體的爐口；

具有輸出軸的驅動器，所述驅動器用于驅動所述輸出軸繞自身軸線旋轉；

傳動組件，所述傳動組件與所述驅動器的輸出軸和所述爐門組件固定連接，用于在所述驅動器的驅動作用下，帶動所述爐門組件繞所述輸出軸的軸線旋轉；

導向組件，所述導向組件用于在所述爐門組件旋轉至預設位置時，控制所述傳動組件將所述輸出軸的旋轉運動轉換為升降運動，以帶動所述爐門組件升降。

可選地，所述傳動組件包括：

梯形絲杠，所述梯形絲杠沿所述立式熱處理設備的高度方向延伸，所述梯形絲杠的一端與所述驅動器的輸出軸固定連接；

螺母，所述螺母套設在所述梯形絲杠上，并與所述梯形絲杠螺紋連接、與所述爐門組件固定連接。

可選地，所述立式熱處理設備還包括基座，所述基座包括：相對設置的第一安裝板和第二安裝板、以及連接在所述第一安裝板與所述第二安裝板之間的支撐柱，所述第一安裝板上設置有安裝孔，所述驅動器固定在所述第一安裝板遠離所述第二安裝板的一側，所述驅動器的輸出軸穿過所述安裝孔，所述螺母位于所述第一安裝板與所述第二安裝板之間。

可選地，所述導向組件包括：

導軌，所述導軌的兩端分別固定在所述第一安裝板和所述第二安裝板上；

滑動機構，所述滑動機構滑動設置在所述導軌上，所述滑動機構包括勾塊，所述勾塊具有勾槽，所述勾槽具有朝向所述第二安裝板的槽口；

頂針，所述頂針的一端固定在所述第二安裝板上，另一端用于支撐所述勾塊；

其中，所述勾塊的表面設置有切入面，所述爐門組件上設置有伸出軸，當所述伸出軸與所述切入面接觸時，所述伸出軸能夠隨所述爐門組件的繼續旋轉而沿所述切入面移動，并從所述槽口進入所述勾槽中。

可選地，所述滑動機構還包括：