[發明專利]立式熱處理設備

在審

• 申請號: 202111348632.3
• 申請日: 2021-11-15
• 公開（公告）號: CN114061316A
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 方洋;閆士泉
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;魏艷新

1.一種立式熱處理設備，其特征在于，包括：

具有爐口的爐體；

爐門組件，所述爐門組件用于開啟或關閉所述爐體的爐口；

具有輸出軸的驅動器，所述驅動器用于驅動所述輸出軸繞自身軸線旋轉；

傳動組件，所述傳動組件與所述驅動器的輸出軸和所述爐門組件固定連接，用于在所述驅動器的驅動作用下，帶動所述爐門組件繞所述輸出軸的軸線旋轉；

導向組件，所述導向組件用于在所述爐門組件旋轉至預設位置時，控制所述傳動組件將所述輸出軸的旋轉運動轉換為升降運動，以帶動所述爐門組件升降。

2.根據權利要求1所述的立式熱處理設備，其特征在于，所述傳動組件包括：

梯形絲杠，所述梯形絲杠沿所述立式熱處理設備的高度方向延伸，所述梯形絲杠的一端與所述驅動器的輸出軸固定連接；

螺母，所述螺母套設在所述梯形絲杠上，并與所述梯形絲杠螺紋連接、與所述爐門組件固定連接。

3.根據權利要求2所述的立式熱處理設備，其特征在于，所述立式熱處理設備還包括基座，所述基座包括：相對設置的第一安裝板和第二安裝板、以及連接在所述第一安裝板與所述第二安裝板之間的支撐柱，所述第一安裝板上設置有安裝孔，所述驅動器固定在所述第一安裝板遠離所述第二安裝板的一側，所述驅動器的輸出軸穿過所述安裝孔，所述螺母位于所述第一安裝板與所述第二安裝板之間。

4.根據權利要求3所述的立式熱處理設備，其特征在于，所述導向組件包括：

導軌，所述導軌的兩端分別固定在所述第一安裝板和所述第二安裝板上；

滑動機構，所述滑動機構滑動設置在所述導軌上，所述滑動機構包括勾塊，所述勾塊具有勾槽，所述勾槽具有朝向所述第二安裝板的槽口；

頂針，所述頂針的一端固定在所述第二安裝板上，另一端用于支撐所述勾塊；

其中，所述勾塊的表面設置有切入面，所述爐門組件上設置有伸出軸，當所述伸出軸與所述切入面接觸時，所述伸出軸能夠隨所述爐門組件的繼續旋轉而沿所述切入面移動，并從所述槽口進入所述勾槽中。

5.根據權利要求4所述的立式熱處理設備，其特征在于，所述滑動機構還包括：

主擋塊，所述主擋塊滑動設置在所述導軌上，所述主擋塊的側面設置有導槽，所述勾塊用于沿所述導槽相對于所述主擋塊移動；

彈性件，所述彈性件設置在所述導槽中，并用于沿所述立式熱處理設備的高度方向伸縮，所述彈性件的一端與所述導槽的內壁連接，另一端與所述勾塊連接；

第一擋塊和第二擋塊，所述第一擋塊和所述第二擋塊固定設置在所述主擋塊上，所述第二擋塊位于所述第一擋塊靠近所述第二安裝板的一側，所述第一擋塊和所述第二擋塊用于限制所述勾塊相對于所述主擋塊的移動范圍；

其中，當所述勾塊與所述第二擋塊抵接時，所述彈性件處于自然狀態或壓縮狀態。

6.根據權利要求5所述的立式熱處理設備，其特征在于，所述彈性件包括彈簧。

7.根據權利要求4所述的立式熱處理設備，其特征在于，所述伸出軸包括：

軸體，所述軸體的一端與所述爐門組件固定連接；

滾柱，所述滾柱設置在所述軸體遠離所述爐門組件的一端，并與所述軸體同軸設置，所述滾柱用于繞所述軸體的軸線旋轉。

8.根據權利要求4所述的立式熱處理設備，其特征在于，所述爐門組件上設置有同軸的兩個所述伸出軸，兩個所述伸出軸的軸線與所述梯形絲杠的軸線相交；

所述立式熱處理設備包括兩個所述導向組件，兩個所述導向組件中的所述勾塊關于所述梯形絲杠的軸線對稱設置。

9.根據權利要求3至8中任一項所述的立式熱處理設備，其特征在于，所述第二安裝板上設置有限位孔，所述梯形絲杠遠離所述驅動器的一端伸入所述限位孔中。

10.根據權利要求1至8中任一項所述的立式熱處理設備，其特征在于，所述爐門組件包括：

爐門，所述爐門用于開啟或關閉所述爐體的爐口；

固定部，所述固定部與所述傳動組件固定連接；

連接臂，所述連接臂固定連接在所述爐門與所述固定部之間。