[發(fā)明專利]一種玻璃薄化裝置、連續(xù)化生產(chǎn)線及方法

在審

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• 申請日: 2021-11-15
• 公開（公告）號: CN114014555A
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發(fā)明（設計）人: 應悅;應盛榮;周貞鋒;董寒杰;劉昌文;聞濤
• 申請（專利權(quán)）人: 應悅
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;C09K13/08
• 代理公司: 上海洞鑒知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31346
• 代理人: 劉少偉

本發(fā)明涉及一種玻璃薄化裝置、連續(xù)化生產(chǎn)線及方法，其中薄化裝置包括酸液噴淋裝置；清洗噴淋裝置；風力組件；其中，所述酸液噴淋裝置和清洗噴淋裝置均包括若干根噴淋桿，所述噴淋桿可沿所述玻璃物料的前進方向前后擺動，以確保在噴淋過程中酸液或清洗溶劑更加均勻。生產(chǎn)線由若干薄化裝置組成。本發(fā)明的有益效果是無需人工插片，玻璃面板是水平托輪支撐，受力面積增加好幾倍，玻璃面板尺寸增大，支撐面積也增大，消除了自重力作用下破損的情況；不需要這種吊裝和切換，成品率可提升至99.5％以上；實現(xiàn)了玻璃面板蝕刻過程的安全、環(huán)保、高效和無人化操作；可以蝕刻各世代的玻璃面板，適應性大大提升。

技術領域

本發(fā)明涉及玻璃減薄設備領域，尤其是涉及一種玻璃薄化裝置、連續(xù)化生產(chǎn)線及方法。

背景技術

在面板顯示器生產(chǎn)過程中，為了降低顯示器厚度、減輕顯示器重量，往往采用化學蝕刻的方法，通過混合酸液，把玻璃層腐蝕掉，使之薄化，或清除表面異物。

在玻璃生產(chǎn)過程中，也有通過化學蝕刻的方法，來降低玻璃厚度、消除玻璃表面缺陷、減輕玻璃重量。在硅片生產(chǎn)過程中，也有通過化學蝕刻的方法，來清除硅片表面氧化層、消除硅片表面缺陷。

目前，生產(chǎn)中應用的蝕刻設備有二種，一種是浸泡式蝕刻設備，另一種是噴淋式蝕刻設備。

浸泡式蝕刻設備是一個柜式容器，里面可存放蝕刻酸液。把需要蝕刻的物件(玻璃、顯示器面板、或硅片等)在一個插片架上排列整齊，直接浸入蝕刻酸液中；經(jīng)過一段時間后，把物件取出，用水清洗后，獲得經(jīng)過薄化的物件。浸泡式蝕刻設備存在以下缺陷：

1)、物件的尺寸不能太大。太大的物件，插片困難；浸入和取出時難度也大。2)、間歇作業(yè)，生產(chǎn)效率低。3)、勞動強度大。4)、由于操作工要接觸酸液，工作環(huán)境差，安全防護要求高。5)、物件破碎率高。6)、產(chǎn)品質(zhì)量難易保證；因為浸入時，物件下部先接觸到酸液，取出時，物件上部先離開酸液，造成蝕刻時間差，導致物件上下厚薄不均。7)、蝕刻產(chǎn)生的白色粉末狀沉淀易粘附在玻璃基板的下端。

噴淋式蝕刻設備也是一個柜式容器，里面裝有一些酸液噴淋頭。把需要蝕刻的物件(玻璃、顯示器面板、或硅片等)在一個插片架上排列整齊，直接放入柜式容器內(nèi)；開啟酸液噴淋，酸液比較均勻地噴灑在物件上。經(jīng)過一段時間后，把物件取出，用水清洗后，獲得經(jīng)過薄化的物件。噴淋的方式有頂噴淋式、側(cè)噴淋式、頂側(cè)噴淋式。噴淋式蝕刻設備的缺陷與浸泡式蝕刻設備相比，蝕刻質(zhì)量有所提高。但噴淋式蝕刻設備存在以下缺陷：

1)、物件的尺寸不能太大。太大的物件，插片困難；浸入和取出時難度也大。2)、間歇作業(yè)，生產(chǎn)效率低。3)、勞動強度大。4)、由于操作工要接觸酸液，工作環(huán)境差，安全防護要求高。5)、物件破碎率更高。這可能是由于蝕刻后的玻璃太薄(只有0.15～0.3mm)，在噴淋沖擊力的作用下，更容易破碎。6)、采用側(cè)噴式，加工片數(shù)比較少，只可以一次一片或者兩片。7)、采用頂噴式，由于噴液從上往下流的線路不確定，容易在物件表面造成豎條狀的凹凸紋。

在CN 111662014 A中，歐木蘭等人提出了一種玻璃用減薄裝置；包括刻蝕箱，刻蝕箱內(nèi)設有設有化學刻蝕液，刻蝕箱內(nèi)沿長度方向間隔設置多個用于固定玻璃的固定裝置，固定裝置包括對稱設置在刻蝕箱兩側(cè)的固定組件，固定組件至少兩對卡板，至少兩對卡板由上到下間隔布置，每對的卡板的卡持側(cè)對稱設有用于擠壓固定玻璃的彈性件，彈性件外表面涂有防腐層。本發(fā)明中通過間隔布置卡板和設置在卡板上的彈性件固定玻璃基板，可減小與玻璃基板的接觸面積，且同時提高刻蝕液的循環(huán)性，使減薄玻璃兩側(cè)邊緣的厚度基本一致。該裝置屬于浸泡式蝕刻設備，它改良了玻璃插片架；但浸泡式蝕刻設備具有的缺陷依然存在。