[發(fā)明專利]使用吊架和支撐軌道輸送晶片儲存容器的皮帶輸送系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111342697.7
• 申請日: 2021-11-12
• 公開（公告）號: CN114765119A
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 閔南泓;金基允
• 申請（專利權(quán)）人: 賽米提斯股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 延美花;臧建明

1.一種皮帶輸送系統(tǒng)，其使用吊架和支撐軌道輸送半導(dǎo)體制造工藝中使用的晶片儲存容器，包括：

第1吊架至第n吊架，其分別包括一對垂直框架和一個水平框架，其中所述一對垂直框架中每個垂直框架的一端固定于設(shè)置在執(zhí)行所述半導(dǎo)體制造工藝的潔凈室中輸送所述晶片儲存容器的區(qū)域的天花板上的各模具棒，所述水平框架在所述一對垂直框架的另一端區(qū)域連接所述一對垂直框架，所述n為1以上的整數(shù)；

支撐軌道，其包括至少一對軌道框架、至少一個軌道固定框架以及多個第1對接連接器，所述軌道框架形成為跨過所述第1吊架至所述第n吊架的內(nèi)部區(qū)域，所述軌道固定框架連接所述一對軌道框架，所述多個第1對接連接器以等間隔設(shè)置在所述一對軌道框架中任意一個；以及

第1皮帶輸送裝置至第m皮帶輸送裝置，其包括多個輥?zhàn)印⒖刂破鳌⒅辽僖粋€傳送帶和第2對接連接器，并且設(shè)置在所述支撐軌道的上部以使第2對接連接器結(jié)合到各所述第1對接連接器，其中所述輥?zhàn)友剌斔退鼍瑑Υ嫒萜鞯穆窂皆O(shè)置，所述控制器控制作為所述多個輥?zhàn)又兄辽僖粋€的驅(qū)動輥，所述傳送帶以與所述驅(qū)動輥的外周面的至少一部分緊密接觸的狀態(tài)圍繞所述多個輥?zhàn)樱龅?對接連接器與所述控制器連接，所述m為1以上的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的皮帶輸送系統(tǒng)，其特征在于：

所述第1吊架至所述第n吊架分別以等間隔設(shè)置，或設(shè)置成所述第1吊架至所述第n吊架分別所形成的間隔中至少一個間隔與其他間隔不同，

連接所述第1皮帶輸送裝置至所述第m皮帶輸送裝置的連接部中至少一個連接部形成在不對應(yīng)于所述第1吊架至第n吊架的位置處。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的皮帶輸送系統(tǒng)，其特征在于：

所述支撐軌道設(shè)置成下部與所述第1吊架至所述第n吊架分別包括的各所述水平框架的上部緊密接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的皮帶輸送系統(tǒng)，其特征在于：

在所述支撐軌道的內(nèi)部或外部，沿著各所述第1對接連接器的位置形成有預(yù)定空間，并且連接到各所述第1對接連接器的電源線和通信線設(shè)置于所述預(yù)定空間，

當(dāng)所述第1皮帶輸送裝置至所述第m皮帶輸送裝置中的特定皮帶輸送裝置中包括的特定第2對接連接器與所述多個第1對接連接器中的特定第1對接連接器結(jié)合時(shí)，為所述特定皮帶輸送裝置中包括的特定控制器供電和通信。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的皮帶輸送系統(tǒng)，其特征在于：

所述支撐軌道由具有預(yù)定單位長度的第1單位支撐軌道至第k單位支撐軌道連接形成，其中所述k為1以上的整數(shù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的皮帶輸送系統(tǒng)，其特征在于：

所述電源線和所述通信線分別分為第1部分電源線至第k部分電源線和第1部分通信線至第k部分通信線，并且分別包括在所述第1單位支撐軌道至所述第k單位支撐軌道中，

在作為所述第1單位支撐軌道至第k單位支撐軌道中任意一個的第p單位支撐軌道中，(i)其一面設(shè)有與第p部分電源線和第p部分通信線的一端連接的第1_p接頭連接器，(ii)與所述一面相對的另一面設(shè)有與所述第p部分電源線和所述第p部分通信線的另一端連接的第2_p接頭連接器，其中所述p為大于等于1且小于等于k的整數(shù)，

在所述第p單位支撐軌道中，(1)當(dāng)所述p大于等于1且小于等于k-1時(shí)，所述第p單位支撐軌道的另一面與第(p+1)單位支撐軌道的一面相對應(yīng)地連接，同時(shí)所述第p單位支撐軌道的另一面中包括的所述第2_p接頭連接器與所述第(p+1)單位支撐軌道的一面中包括的第1_(p+1)接頭連接器相對應(yīng)地結(jié)合連接，從而(i)所述第p部分電源線和所述第p部分通信線與(ii)所述第(p+1)單位支撐軌道中包括的第(p+1)部分電源線和第(p+1)部分通信線相連接，(2)當(dāng)所述p大于等于2且小于等于k時(shí)，所述第p單位支撐軌道的一面與第(p-1)單位支撐軌道的另一面相對應(yīng)地連接，同時(shí)所述第p單位支撐軌道的一面中包括的所述第1_p接頭連接器與所述第(p-1)單位支撐軌道的另一面中包括的第2_(p-1)接頭連接器相對應(yīng)地結(jié)合連接，從而(i)所述第p部分電源線和所述第p部分通信線與(ii)所述第(p-1)單位支撐軌道中包括的第(p-1)部分電源線和第(p-1)部分通信線相連接。